苏才钧

作品数：9被引量：62H指数：4
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供职机构：清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室更多>>
发文主题：多晶硅薄膜多晶硅MEMS微构件单晶硅更多>>
发文领域：一般工业技术机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《机械强度》《摩擦学学报（中英文）》《微纳电子技术》《实验力学》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家杰出青年科学基金清华大学基础研究基金资助更多>>
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大气环境下多晶硅薄膜的疲劳性能被引量：2
《机械强度》2007年第6期919-922,共4页吴昊 孟永钢 苏才钧 郭占社 温诗铸 
国家自然科学基金项目(50525515);中国基础研究项目(2003CB716205);清华大学基础研究基金项目(Jc2003013)资助~~
为评估多晶硅薄膜材料的加载可靠性,发展一种新型多晶硅薄膜疲劳性能测试实验系统,利用片外测试方法研究多晶硅薄膜在大气环境下的拉伸疲劳特性。实验试件采用MEMS(micro-electro-mechanical systems)工艺制造,具有相同的长度、厚度和...
关键词：微机电系统 多晶硅 薄膜 疲劳 
多晶硅薄膜残余应力显微拉曼谱实验分析被引量：7
《机械强度》2007年第2期233-236,共4页吴昊 孟永钢 苏才钧 郭占社 温诗铸 
国家自然科学基金项目(50525515);中国基础研究计划项目(2003CB716205);清华大学基础研究基金项目(Jc2003013)支持~~
利用显微拉曼谱对桥式多晶硅薄膜梁的残余应力进行测量,该多晶硅薄膜采用典型的MEMS(micro-electro-mechanical systems)工艺制造。实验结果表明,多晶硅薄膜梁的中部存在很大的拉伸残余应力(约1GPa),且多晶硅薄膜的残余应力沿梁长方向...
关键词：拉曼谱 多晶硅 薄膜 残余应力 
基于单晶硅材料的微摩擦测试机构及其试验研究被引量：3
《摩擦学学报》2006年第3期193-197,共5页郭占社 孟永钢 吴昊 苏才钧 温诗铸 
国家973项目资助(2003CB716205);国家杰出青年科学基金资助项目(50525515)
设计出1种能够模拟基于单晶硅材料微机电器件侧面摩擦副摩擦磨损状况的试验机，有效模拟可动MEMS器件摩擦副之间磨损的真实状况，介绍了试验机测试机构的工作原理并从理论计算及有限元模拟分析2方面对其结构模态进行分析，在超净间内（...
关键词：单晶硅 模态分析 一阶谐振频率 动态摩擦系数 
连接式微摩擦测试机构及设计
《清华大学学报（自然科学版）》2006年第5期645-648,共4页郭占社 孟永钢 苏才钧 吴昊 温诗铸 
国家杰出青年科学基金资助项目(50525515);国家"九七三"重点基础研究项目(2003CB716205)
为了能够比较真实地模拟微机电器件侧面摩擦副之间的摩擦磨损状况,进而对M EM S器件的摩擦学规律进行研究,设计了一种基于单晶硅材料的片上微摩擦测试机构。利用微机械体硅工艺及键合技术,把系统中的测试机构、加载机构以及力传感器集...
关键词：摩擦磨损 微摩擦测试机构 体硅工艺 键合技术 静摩擦因数 
多晶硅薄膜疲劳特性片外测试方法被引量：5
《哈尔滨工业大学学报》2006年第4期592-594,656,共4页吴昊 孟永钢 苏才钧 郭占社 温诗铸 
国家自然科学基金重点资助项目(50135040);国家重点基础研究规划资助项目(2003CB716205);清华大学基础研究基金资助项目(Jc2003013)
多晶硅是微机电系统(MEMS)表面制造工艺的主要结构材料,其疲劳特性是影响MEMS器件可靠性的一个重要因素,因而,研究多晶硅薄膜材料的疲劳特性具有广泛的实际意义.国外主要采用片上测试方法研究多晶硅薄膜的疲劳特性,本文发展了一种新型...
关键词：MEMS 多晶硅 片外测试 疲劳 
基于Windows的精确定时技术及其在工程中的应用被引量：28
《哈尔滨工业大学学报》2005年第12期1717-1720,共4页郭占社 孟永钢 苏才钧 吴昊 
详细论述了W indows系统各种定时器的特点及其应用.利用VC++编制的测试程序、数据采集卡、和波形发生器对高精度定时器的精确度进行了测试.最后通过其在微力矩测试仪中对微电机转速测试以及在电铸仪中的应用等实例证明了其完全可以应用...
关键词：高精度定时器 VC++ 微力矩测试仪 电铸仪 
单晶硅微构件力学特性片上测试系统被引量：4
《机械强度》2005年第4期456-459,共4页苏才钧 吴昊 郭占社 孟永钢 温诗铸 
国家自然科学基金(50135040);中国基础研究基金(2003CB716205);清华大学基础研究基金(Jc2003013)资助~~
设计一种集成静电梳状驱动器和测试结构,专用于单晶硅微构件断裂、疲劳性能测试的片上测试系统。详细介绍测试系统的结构和工作原理。对静电梳状驱动器的驱动电压—驱动力关系、结构刚度以及谐振频率进行计算。利用MEMS(microelectromec...
关键词：微电子机械系统 单晶硅 片上测试 静电梳状驱动器 疲劳 
微构件材料力学性能测试方法被引量：15
《实验力学》2005年第3期441-447,共7页苏才钧 吴昊 郭占社 孟永钢 温诗铸 
国家自然科学基金项目(50135040);清华大学基础研究基金项目(JC2003013)
随着MEMS的商业化进程,微构件材料力学性能的研究成为越来越重要的一个课题。微小试件的制备、安装、夹持、微驱动、高分辨率的载荷和位移测量等技术问题都是对微构件材料力学性能测试的很大挑战,很多传统的测试方法和装置已经不再适用...
关键词：微构件 力学性能测试 MEMS 片上测试 片外测试 
微加工中的聚焦离子束直接写入技术被引量：1
《微纳电子技术》2003年第11期1-8,共8页Ampere A.Tseng 苏才钧 周兆英 叶雄英 王晓浩 
美国国家科学基金支持项目(DMI-0002466;CMS-0115828)
概述了聚焦离子束直接写入、离子研磨、离子注入及离子沉积技术。介绍了利用聚焦离子束技术在镀金硅片上研磨出的图案及制作出的各种纳米结构。聚焦离子束诱导沉积技术为将在各种科学工程领域应用的多种微结构的实现提供了可能,如聚焦...
关键词：微加工 聚焦离子束 直接写入 蚀刻 微结构 半导体 
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