郝天亮

作品数：6被引量：19H指数：3
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供职机构：浙江大学物理系物理学系更多>>
发文主题：金刚石膜超薄热丝化学气相沉积表面光滑超声波预处理更多>>
发文领域：理学化学工程电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《功能材料》《红外与毫米波学报》《表面技术》《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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SiO_2薄膜的微观结构与驻极体特性的相关性研究被引量：5
《功能材料》2014年第22期22091-22095,共5页郝天亮 陈钢进 
浙江省自然科学基金资助项目(Y407208)
SiO2驻极体具有优异的电荷储存能力,其具有器件制作工艺可与微机械加工技术兼容、适合集成化生产等优点,一直是微器件和传感器领域研究的热点。采用电晕充电和表面电位测试等技术研究了等离子增强化学气相沉积(PECVD)和电子束蒸发两种...
关键词：驻极体 SIO2薄膜 微观结构 PECVD 电子束蒸发 
热丝化学气相沉积法在CH_4/H_2混合气体中低温生长超薄纳米金刚石膜(英文)被引量：7
《红外与毫米波学报》2006年第2期81-85,共5页张衡 郝天亮 石成儒 韩高荣 
The project supported by the Natural Science Foundation of Zhejiang Province,China(No.597083)
用热丝化学气相沉积方法研究了低温（-550℃）和低反应气压（-7 Torr）下硅片上金刚石膜的成核和生长．成核过程中采用2．5％的CH。浓度，在经充分超声波预处理的硅片上获得了高达1．5×10^11cm^-2的成核密度．随CH4浓度的增加所成膜中...
关键词：热丝化学气相沉积 纳米金刚石膜 超声波预处理 低温生长 光吸收系数 
石英玻璃上生长表面光滑高光透射率的金刚石膜
《真空科学与技术学报》2004年第4期283-288,共6页郝天亮 石成儒 韩高荣 
浙江省自然科学基金资助项目 (No.5 970 83 )
石英玻璃衬底在金刚石粉和丙酮形成的悬浮液中超声波预处理 ,有效提高了金刚石成核密度。在最佳预处理和热丝化学气相沉积条件下 ,成核密度高达 10 10 cm-2 以上。采用HFCVD中四步法生长工艺 ,制备出了表面粗糙度小于 10nm、膜厚 30 0n...
关键词：衬底 光透射 生长工艺 金刚石膜 波段 石英玻璃 膜厚 成核密度 表面光滑 热丝化学气相沉积 
氮化硼光电薄膜材料的制备及其性能研究被引量：5
《材料科学与工程》2002年第4期510-512,540,共3页祁英昆 张溪文 郝天亮 董博 沈鸽 杜丕一 翁文剑 赵高凌 韩高荣 
国家自然科学基金资助项目 (60 0 0 60 0 3)
本文通过热丝辅助等离子体增强化学气相沉积法 (HF PECVD)在单晶硅片和石英片衬底上分别成功生长了氮化硼薄膜材料。用X射线衍射 (XRD和傅立叶变换红外光谱 (FTIR)分析了薄膜样品的结构和组成 ,用扫描电镜 (SEM)观察了薄膜样品的表面形...
关键词：光电薄膜材料 制备 性能 氮化硼 热丝辅助等离子体增强化学气相沉积 紫外吸收 衬底预处理 半导体材料 
几种低压气相沉积技术制备立方氮化硼膜的新进展被引量：2
《表面技术》2000年第1期1-5,共5页邱东江 郝天亮 石成儒 
浙江省自然科学基金
介绍了 ｃ－ＢＮ的优异特性及应用前景。评述了 ｃ－ＢＮ膜的几种低压物 理气相沉积（ＰＶＤ）和低压化学气相沉积（ＣＶＤ）制备方法，分析其成膜特点及对ｃ－ ＢＮ形成有显著影响的工艺参数。介绍了当前ｃ－ＢＮ膜研究取得的成果，对...
关键词：PVD CVD 氮化硼薄膜 低压气相沉积 薄膜 镀膜 
金刚石粉悬浮液超声预处理促进金刚石成核特性研究
《杭州大学学报（自然科学版）》1997年第4期322-328,共7页郝天亮 石成儒 曾耀武 邱东江 
浙江省自然科学基金
本工作发展了一种金刚石粉悬浮液超声预处理方法，有效地促进了各种衬底材料特别是绝缘材料上金刚石膜的成核，大大提高成核密度，使硅和石英玻璃上金刚石晶粒密度分别达到1010和109cm－2，并使成核的孕育期缩短到5分钟，获得了连续的...
关键词：金刚石膜 成核密度 超声预处理 金刚石粉 悬浮液 
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