许佳佳

作品数：9被引量：30H指数：3
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供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
发文主题：超晶格INAS/GASB长波红外探测器焦平面红外焦平面探测器更多>>
发文领域：电子电信理学交通运输工程轻工技术与工程更多>>
发文期刊：《红外与毫米波学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金上海市自然科学基金上海市青年科技启明星计划更多>>
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InAs/GaSbⅡ类超晶格长波红外探测器的表面处理研究
《红外与毫米波学报》2023年第1期8-13,共6页崔玉容 周易 黄敏 王芳芳 徐志成 许佳佳 陈建新 何力 
国家自然科学基金(61974152,61904183,62222412,62004205,62104237)。
开展了In As/Ga SbⅡ类超晶格长波红外探测器的表面处理研究。通过对不同处理工艺形成台面器件的暗电流分析,发现N2O等离子处理结合快速热退火(RTA)的优化工艺能够显著改善长波器件电学性能。对于50%截止波长12.3μm的长波器件,在液氮温...
关键词：二类超晶格 长波红外探测器 表面处理 暗电流分析 栅控结构 
InAs/GaSbⅡ类超晶格红外探测器光敏元蚀刻表面特性
《红外与毫米波学报》2021年第4期427-431,共5页崔玉容 徐志成 黄敏 许佳佳 陈建新 何力 
国家重点研发计划(2016YFB0402403);国家自然科学基金(61974152,61904183,61534006);中国科学院青年创新促进会会员(2016219);上海市青年科技启明星项目(20QA141500)。
采用刻蚀技术形成台面结构的红外探测器光敏元,其表面漏电流和器件热稳定性与半导体蚀刻表面的特性密切相关。对制备的InAs/GaSbⅡ类超晶格中波红外探测器台面蚀刻区域特性进行了研究报道。通过台面结栅控结构和快速热退火相结合的实验...
关键词：二类超晶格 快速热退火 栅控结构 X射线光电子能谱 
InAs/GaAsSb带间级联中波红外焦平面研究被引量：10
《红外与毫米波学报》2019年第6期745-750,共6页周易 柴旭良 田源 徐志成 黄敏 许佳佳 黄爱波 白治中 陈红雷 丁瑞军 陈建新 何力 
国家重点研发计划(2016YFB0402403);国家自然科学基金(61974152,61904183,61534006,61505237,61505235);中国科学院青年创新促进会会员资助(2016219)~~
针对高工作温度红外探测器的迫切需求,设计并利用分子束外延技术制备了高晶格质量的2级带间级联中波红外探测材料,带间级联单元器件在最高323 K下可以测试到清晰的响应光谱,140 K下暗电流密度达到4×10^-5A/cm^-2.并在此基础上利用干法...
关键词：光电探测器 红外焦平面 带间级联结构 高工作温度 
高灵敏度Ⅱ类超晶格长波红外探测系统研究被引量：3
《红外与毫米波学报》2019年第3期338-344,共7页饶鹏 张磊 赵云峰 陆福星 许佳佳 王芳芳 
预研项目(30502030101)~~
以Ⅱ类超晶格320×256长波红外探测器为核心部件,开发了一套高灵敏度长波红外探测系统.介绍了Ⅱ类超晶格红外探测器的技术指标及系统的主要结构和工作方式.为充分发挥该红外探测器的灵敏度,设计了高灵敏度信息获取系统,并介绍了该信息...
关键词：光电探测系统 长波红外 高灵敏度 Ⅱ类超晶格 
InAs/GaSb Ⅱ类超晶格台面的ICP刻蚀研究被引量：3
《红外与毫米波学报》2019年第2期171-174,共4页许佳佳 黄敏 徐庆庆 徐志成 王芳芳 白治中 周易 陈建新 何力 
国家自然科学基金(61534006)~~
报道了采用Cl_2/N_2电感耦合等离子(ICP)组合体刻蚀工艺在InAs/GaSb Ⅱ类超晶格红外焦平面台面加工过程中的研究结果,实验采用分子束外延技术在GaSb衬底上生长的PIN型超晶格材料。结果表明,气体流量比例直接对刻蚀速率和刻蚀形貌产生影...
关键词：电感耦合等离子 刻蚀 InAs/GaSbⅡ类超晶格 焦平面 
InAs/GaSb Ⅱ类超晶格长波红外探测器的实时γ辐照效应被引量：2
《红外与毫米波学报》2017年第6期688-693,共6页靳川 许佳佳 黄爱波 徐志成 周易 白治中 王芳芳 陈建新 陈洪雷 丁瑞军 何力 
国家自然科学基金项目(61505237;61176082;61290302;61534006);国家重点研发计划项目(2016YFB0402403);上海市自然科学基金项目(15ZR1445600;16ZR1447900)~~
研究了InAs/GaSb Ⅱ类超晶格长波探测器的γ辐照效应.在^(60)Co源γ辐照下器件的电流—电压(I-V)特性并未随辐照剂量的增大而发生显著的变化,100 krad(Si)辐照剂量下的零偏阻抗相较辐照前的减小率仅为3.4%,表明该探测器具有很好的抗辐...
关键词：Γ辐照 实时辐照效应 长波红外探测器 INAS/GASB Ⅱ类超晶格 
320×256元InAs/GaSb Ⅱ类超晶格长波红外焦平面探测器被引量：6
《红外与毫米波学报》2014年第6期598-601,共4页许佳佳 陈建新 周易 徐庆庆 王芳芳 徐志成 白治中 靳川 陈洪雷 丁瑞军 何力 
国家自然科学基金资助项目(61176082)
报道了320×256元In As/Ga SbⅡ类超晶格长波红外焦平面阵列探测器的研制和性能测试.采用分子束外延技术在Ga Sb衬底上生长超晶格材料,器件采用PBIN结构,红外吸收区结构为14 ML(In As)/7 ML(Ga Sb),焦平面阵列光敏元尺寸为27μm×27μm...
关键词：长波红外探测器 INAS/GASB Ⅱ类超晶格 焦平面阵列 
长波InAs/GaSbⅡ类超晶格红外探测器被引量：11
《红外与毫米波学报》2013年第3期210-213,224,共5页周易 陈建新 徐庆庆 徐志成 靳川 许佳佳 金巨鹏 何力 
国家自然科学基金(61176082)~~
报道了50%截止波长为12.5μm的InAs/GaSb Ⅱ类超晶格长波红外探测器材料及单元器件.实验采用分子束外延技术在GaSb衬底上生长超晶格材料.吸收区结构为15ML(InAs)/7ML(GaSb),器件采用PBIN的多层异质结构以抑制长波器件暗电流.在77K温度...
关键词：InAs/GaSbⅡ类超晶格 长波12.5μm 暗电流 
128×128元InAs/GaSb Ⅱ类超晶格红外焦平面探测器被引量：3
《红外与毫米波学报》2012年第6期501-504,共4页许佳佳 金巨鹏 徐庆庆 徐志成 靳川 周易 陈洪雷 林春 陈建新 何力 
国家自然科学基金(61176082)~~
报道了128×128元InAs/GaSb Ⅱ类超晶格红外焦平面阵列探测器的研究成果.实验采用分子束外延技术在GaSb衬底上生长超晶格材料.红外吸收区结构为13 ML(InAs)/9 ML(GaSb),器件采用PIN结构,焦平面阵列光敏元大小为40μm×40μm.通过台面形...
关键词：长波红外探测器 InAs GASB Ⅱ类超晶格 焦平面阵列 
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