国家重大技术装备创新研制项目(ZBYZ2008-1)

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相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院中国科学技术大学中国科学院大学更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《光学学报》《长春工业大学学报》《湖南大学学报（自然科学版）》更多>>
相关主题：光栅刻划机衍射效率中阶梯光栅光谱仪中阶梯光栅双频激光干涉仪更多>>
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新型便携式中阶梯光栅光谱仪光学设计与消杂散光研究被引量：21
《光学学报》2015年第8期121-128,共8页杨晋 尹禄 姚雪峰 巴音贺希格 唐玉国 朱继伟 
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2014YQ120351);国家自然科学基金(60478043);国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1);中国科学院重大科研装备研制项目(YZ200804);国家重大科学仪器设备开发专项项目(11YQ120023);吉林省重大科技攻关项目(09ZDGG005)
中阶梯光栅光谱仪凭借着高分辨率、小体积、全谱瞬态直读等优异特性成为了现代光谱仪器研究的热点和重点。为了进一步缩小它的体积,提高仪器信噪比和检出限,设计了一种新型结构的中阶梯光栅光谱仪,其折叠主光路的设计可以在不改变成像...
关键词：光学设计 中阶梯光栅光谱仪 优化 杂散光 消杂光设计 
大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析被引量：2
《中国激光》2015年第4期258-264,共7页宋楠 冯树龙 于海利 齐向东 巴音贺希格 唐玉国 
国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1)
尝试在大型衍射光栅刻划机中使用气浮导轨承载金刚石刻划刀具系统运行。气浮导轨同时承担刀具系统的承重与导向任务,由于使用气体作为润滑剂而接近零摩擦状态,可以避免触点磨损及低速爬行现象。分析了气浮导轨工作过程中产生的误差及该...
关键词：光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统 
光栅刻划机导向导轨支撑结构刚度优化设计
《长春工业大学学报》2014年第5期495-499,共5页姚雪峰 糜小涛 宋楠 
国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1);吉林省科技发展计划项目(20140204075GX)
运用有限元手段对刀桥导轨的刚度进行了有限元分析,得到了刚度方面的分析结果和模态分析结果,并在不同位置加40N载荷进行实验验证。在此基础上,对原有的结构进行一体式结构优化设计。有限元分析结果表明,刀桥底座刚度有了大幅度的提高,...
关键词：光栅刻划机 刚度 有限元分析 模态 
应用等效规则优化法设计光通信光栅被引量：1
《红外与毫米波学报》2014年第2期158-163,共6页张善文 潘明忠 
国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1);吉林省科技发展计划重大专项(20126012);长春市科技计划项目(Y3B43HU140)~~
基于光栅电磁场理论,应用光栅等效规则计算光栅槽形初始值、结合衍射效率等高线法优化设计光栅槽形,给出了具有几何对称中心的任意槽形光栅.以全息工艺上易于制作的正弦、矩形和两种梯形典型槽形光栅为例进行优化设计,结果表明,正弦槽...
关键词：等效规则 WDM 高衍射效率 C波段 全息光栅 
光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究被引量：1
《湖南大学学报（自然科学版）》2014年第3期43-48,共6页申远 王俊杰 竺长安 齐向东 
'十一五'国家科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02);国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(WK2090090010);安徽省自然科学基金资助项目(1308085QE92);合肥师范学院人才基金资助项目(2013RCJJ04)
针对大面积衍射光栅刻划机在宏观尺度下进行微纳加工的工作特点以及纳米级刻线检测困难的问题,提出了一种光机电集成优化方法.此方法采用计算傅里叶光学和弦振动理论进行光栅刻线误差分析,结合振动实验及光学测量进行验证,最后采用智能...
关键词：光栅刻划机 光机电集成优化 计算傅里叶光学 智能优化 
光栅刻划机超精密定位系统定位控制研究被引量：5
《中国科学技术大学学报》2014年第2期165-170,共6页申远 王怡影 竺长安 齐向东 
国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1);安徽省自然科学基金(1308085QE92);中央高校基本科研业务费专项资金(WK2090090010);合肥师范学院人才基金(2013RCJJ04)资助
对光栅刻划机超精密定位系统的定位控制以及实验进行探索研究.鉴于控制模型和实验分析验证出光栅刻划机超精密定位系统具有较强的非线性和时变性,提出将基于BP神经网络的PID控制方法用于光栅刻划机定位系统控制,利用神经网络的自学习实...
关键词：光栅刻划机 精密定位 BP神经网络 PID控制 
紫外全息凹面光栅离子束刻蚀技术
《长春工业大学学报》2013年第6期640-644,共5页王长庚 
"863"重大项目(2010AA1221091001);国家重大科研装备开发专项(2011YQ120023);国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1);中国科学院重大科研装备研制项目(YZ201005);吉林省科技发展计划项目(20070523;20086013)
通过对引出的平行离子束流外加可控磁场,可以实现离子束流偏转。该方法实现IV型凹面光栅沿曲面不同闪耀角离子束刻蚀,能够获得高衍射效率的IV型凹面光栅。经过理论设计计算出理想的IV型凹面光栅闪耀角,利用全息曝光-弯转离子束刻蚀工艺...
关键词：束流控制 衍射效率 离子束刻蚀 凹面光栅 
光栅刻划刀架系统参数对光栅刻线弯曲影响被引量：2
《长春工业大学学报》2013年第6期635-639,共5页冯树龙 
国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1)
研究了光栅刻划刀架系统结构、重量及其稳定性对光栅性能指标的影响。有限元分析表明,对刻划刀架系统中的刻划刀架进行减重或使刻划刀架系统两侧的重量对称,均可降低光栅刻线弯曲。光栅刻划对比实验结果表明,配重侧有配重块的刻划刀架...
关键词：光栅刻划机 刀架系统 刻线弯曲 
大型衍射光栅刻划机刀架系统的设计被引量：9
《光学精密工程》2013年第11期2900-2905,共6页陈科位 于宏柱 张善文 齐向东 于海利 冯树龙 
国家重大科研装备研制项目(No.ZBYZ 2008-1)
设计了一套光栅刻划机刀架系统。该系统将刻划刀具部分安装于能绕鞍形滑块自由转动的安装板上,利用铰链机构来实现了刀架刻划部分与承重部分的分离,降低运动中鞍形滑块的变形、偏移等对金刚石刻刀的影响。分析了刀架运动中产生的误差以...
关键词：光栅刻划机 刀架系统 双频激光干涉仪 检测光路 
中阶梯光栅金刚石刻划刀具受力分析被引量：1
《长春工业大学学报》2013年第4期369-372,共4页吉日嘎兰图 
国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1);吉林省重大科技攻关基金资助项目(09ZDGG005)
以刻划线密度为79gr/mm的中阶梯光栅金刚石刻划刀具为例,采用DEFORM有限元分析软件分析计算了金刚石光栅刻划刀具在光栅刻划过程中的3个刃口及刃尖点的受力分布情况,与实际光栅刻划刀具磨损情况进行对比研究,为金刚石刀具刃口晶体取向...
关键词：中阶梯光栅 光栅刻划刀 受力分析 
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