国家教育部博士点基金(20030358018)

作品数：13被引量：44H指数：4
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相关作者：褚家如吴亚雷许晓慧鲁健朱龙洋更多>>
相关机构：中国科学技术大学南开大学国家电网公司江西省电力科学研究院更多>>
相关期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》《压电与声光》《微纳电子技术》更多>>
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PZT铁电薄膜介电性能测试研究
《压电与声光》2010年第2期293-296,共4页许晓慧 唐建洪 陈丽娟 
教育部博士点基金资助项目(20030358018);优秀青年教师计划基金资助项目
运用数字锁相技术研究了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)铁电薄膜的介电性能测试技术,随着薄膜微图形化尺寸的缩小,电路寄生参数的影响将逐渐变大并成为主导因素,从而严重影响薄膜介电性能测试的准确性。通过补偿方法,消除了电路寄生参数的影响,准确...
关键词：Pb(Zr  Ti)O3 (PZT) 数字锁相 介电 补偿 
PZT薄膜驱动的全光纤相位调制器数学模型被引量：6
《光学精密工程》2007年第2期230-236,共7页吴亚雷 吴有金 朱龙洋 刘芳 褚家如 
教育部博士点基金(No.20030358018);优秀青年教师资助计划项目;中国科学技术大学研究生创新基金
提出了一种简单、高效的PZT压电陶瓷薄膜覆膜驱动的全光纤相位调制器数学模型,该模型计入了PZT压电陶瓷薄膜侧向压电常数d31对相位调制效率的影响,结果表明,对于PZT压电陶瓷薄膜覆膜驱动的全光纤相位调制器,这种影响是不能忽略的,由侧...
关键词：全光纤相位调制器 频率响应 PZT薄膜 
溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT薄膜被引量：1
《传感技术学报》2006年第05A期1792-1795,共4页吴亚雷 吴建华 褚家如 
教育部博士点基金资助(20030358018);优秀青年教师资助计划项目;中国科学技术大学研究生创新基金
首次提出了使用溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT压电陶瓷薄膜,分析了光纤表面PZT压电陶瓷薄膜的成膜机理与特点,系统的研究了溶胶-电雾化法制备PZT压电陶瓷薄膜的特点,并分析了前驱液浓度、电雾化条件、PZT压电陶瓷薄膜沉积过程温度等...
关键词：溶胶-电雾化法 PZT薄膜 升温控制 
静电雾化技术在纳米薄膜制备中的应用研究被引量：1
《微纳电子技术》2006年第6期284-288,306,共6页许高斌 褚家如 
中国科学院博士点基金资助项目(20030358018);安徽省教育厅自然科学重点科研计划项目资助(2006KJ026A)
对静电雾化的基本概念、原理和典型喷洒模式作了介绍,对静电雾化技术在纳米薄膜制备中的应用进行了阐述,最后对静电雾化技术在薄膜制备中存在的问题和影响薄膜微观结构和性能的因素作了总结。
关键词：静电雾化 纳米材料 工艺参数 薄膜制备 
PZT薄膜电滞回线测试的数值补偿研究被引量：3
《微细加工技术》2006年第1期27-31,共5页许晓慧 褚家如 朱龙洋 吴亚雷 
教育部博士点基金资助项目(20030358018);优秀青年教师资助计划项目(2003)
通过Sawyer-Tower测试电路研究了铁电薄膜的电滞回线,发现薄膜漏电阻以及示波器输入电阻和电容的影响可能会使所测量的电滞回线发生形状扭曲或者使测量结果出现较大偏差,通过数值补偿方法重建了电荷平衡方程,并编制了相应的软件补偿程...
关键词：电滞回线 极化 PZT 数值补偿 
基于数字调谐方法的微悬臂梁品质因数的研究
《纳米技术与精密工程》2005年第4期273-277,共5页朱龙洋 鲁健 吴亚雷 许晓慧 褚家如 
教育部博士点基金资助项目(20030358018)优秀青年教师资助计划项目.
品质因数(Q值)是影响微悬臂梁设备灵敏度的关键因素．针对微悬臂梁在空气中品质因数低的问题,利用基于DSP的数字锁相技术,通过一种正反馈方法,对微悬臂梁的振动能量损耗进行补偿,将微悬臂梁的品质因数从181提高至871．实验表明,使用数...
关键词：品质因数 微悬臂梁 数字调谐 数字锁相 
一种新型微小等离子体发生器被引量：2
《微细加工技术》2005年第4期59-64,共6页王海 文莉 褚家如 
高等学校博士点学科点专项科研基金资助项目(20030358018)
提出了一种基于并行探针技术的扫描等离子体加工新方法,即通过在并行探针针尖上集成微小等离子体发生器,从而实现无掩膜的扫描加工。采用二维流体模型对其中的微小等离子体发生器进行了数值仿真研究。该微小等离子体发生器为微空心阴极...
关键词：扫描等离子体刻蚀 等离子体模拟 微等离子体 
用于扫描刻蚀加工的微小等离子体反应器的设计和实验
《纳米技术与精密工程》2005年第3期222-226,共5页王海 文莉 褚家如 
高等学校博士点学科点专项科研基金(20030358018).
提出了一种新的基于并行探针的扫描等离子体刻蚀加工方法,设计并研制了其中的核心器件——微小等离子体反应器,测量了该器件的伏安特性曲线,分析了其电学性能随工作气压和器件尺寸的变化规律,以及器件损坏的机制,实验结果表明,当放电气...
关键词：微机电系统 扫描刻蚀加工 微小等离子体反应器 伏安特性曲线 
基于激光多普勒技术的PZT薄膜压电性能测试研究被引量：3
《光学精密工程》2005年第6期658-663,共6页许晓慧 鲁健 朱龙洋 褚家如 
教育部博士点基金(No.20030358018);优秀青年教师资助计划项目
应用基于激光多普勒技术的微小形变分析方法,并引入数字锁相技术,成功实现了PZT(Pb(Zr,Ti)O3)铁电薄膜的压电性能测试。对商用压电陶瓷在小信号激励下的压电性能测试表明,数字锁相技术的引入能有效抑制系统噪声,并提高激光多普勒系统的...
关键词：PZT铁电薄膜 激光多普勒技术 数字锁相 
PZT铁电薄膜湿法刻蚀技术研究被引量：9
《压电与声光》2005年第2期209-212,共4页郑可炉 褚家如 鲁健 李恒 
教育部博士点基金(20030358018);优秀青年教师资助计划项目
介绍了一种刻蚀效果良好的PZT薄膜的湿法刻蚀方法。在分析了刻蚀液成分对刻蚀效果影响的基础上,选择体积比为1∶2∶4∶4的BHF/HCl/NH4Cl/H2O溶液作为刻蚀液,刻蚀速率为0.016μm/s。实验表明,刻蚀得到的PZT薄膜图形表面无残留物,侧蚀比小...
关键词：锫钛酸铅PZT薄膜 湿法刻蚀 微图形化 
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