国家自然科学基金(60371030)

作品数：18被引量：53H指数：5
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基于微结构参数建模的多孔硅绝热层热导率研究被引量：1
《物理学报》2010年第12期8794-8800,共7页许路加 胡明 杨海波 杨孟琳 张洁 
国家自然科学基金(批准号:60371030;60771019);先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室研究基金(批准号:ACMT-2008-05)资助的课题~~
多孔硅由于具有较低的热导率,因而可以将其作为半导体器件中的绝热层.与其他从边界散射等复杂微观热传导机制出发建模研究多孔硅的热导率不同,将多孔硅热导率影响机制更表观地归结到孔洞的存在和分布等结构因素上,把整个多孔硅视为由硅...
关键词：多孔硅 热导率 绝热层 孔隙率 
基于微拉曼光谱技术的氧化介孔硅热导率研究被引量：7
《物理学报》2008年第1期103-110,共8页房振乾 胡明 张伟 张绪瑞 
国家自然科学基金(批准号:60371030);天津市自然科学基金(批准号:043600811)资助的课题~~
利用基于有效介质理论的介孔硅传热机理,提出一个用于分析氧化介孔硅热导率的理论模型,对影响氧化介孔硅有效热导率的因素进行了理论分析,得出用于计算氧化介孔硅有效热导率的计算公式.采用双槽电化学腐蚀法制备介孔硅,利用微拉曼光谱...
关键词：理论模型 氧化介孔硅 微拉曼光谱 有效热导率 
非制冷红外微测辐射热计有限元模型的构建
《微纳电子技术》2007年第7期45-47,共3页甄志成 胡明 杨海波 吕宇强 
国家自然科学基金(60371030);天津市自然科学基金(043600811)
根据微加工条件能够制造的单层和双层结构的非制冷红外微测辐射热计的尺寸,进行了有限元建模与分析,寻找出在可接受的性能与成本之间折衷的设计方案,指出气体热导是影响探测单元热导的一个主要因素,并对其进行了理论分析,给出减小气体...
关键词：微机电系统 微桥结构 微测辐射热计 红外成像 
非制冷红外探测器多孔硅绝热层的研究
《微纳电子技术》2007年第7期68-71,共4页杨海波 胡明 吕宇强 甄志成 张绪瑞 张伟 
国家自然科学基金(60371030);天津市自然科学基金项目(043600811)
以多孔硅作为绝热层材料,采用超高真空对靶磁控溅射镀膜法,在多孔硅样品表面和硅基底表面沉积氧化钒薄膜。实验采用电化学腐蚀法制备多孔硅,利用场致发射扫描电子显微镜观测了孔隙率为50%,60%,70%三个多孔硅样品的微观形貌。利用显微喇...
关键词：非制冷红外探测器 氧化钒 多孔硅 绝热层 力学性能 
基于纳米压痕法的多孔硅硬度及杨氏模量与微观结构关系研究被引量：5
《物理学报》2007年第7期4032-4038,共7页杨海波 胡明 张伟 张绪瑞 李德军 王明霞 
国家自然科学基金(批准号:60371030)资助的课题.~~
采用电化学腐蚀制备多孔硅,利用场致发射扫描式电子显微镜(field emission scanning electron microscope,FESEM)观测多孔硅的二维微观形貌,利用Nano Indenter XP中的纳米轮廓扫描仪组件(nano profilometry,NP)得到其三维拓扑分析图像,...
关键词：多孔硅 微观结构 硬度 杨氏模量 
双槽电化学腐蚀法制备介孔硅的热导率
《Journal of Semiconductors》2007年第3期420-424,共5页房振乾 胡明 张伟 张旭瑞 杨海波 
国家自然科学基金(批准号:60371030;60071027);天津市自然科学基金(批准号:023603811)资助项目
提出了一个基于有效介质理论分析介孔硅层传热机理的理论模型,对影响介孔硅有效热导率的因素包括孔隙率、硅的恒容热容和硅的声子平均自由程进行了理论分析,得出用于计算介孔硅有效热导率的计算公式.采用双槽电化学腐蚀法制备孔隙率分别...
关键词：理论模型 介孔硅 微喇曼光谱 有效热导率 微传感器 微电子机械系统 
采用原电池法制备纳米多孔硅被引量：1
《纳米技术与精密工程》2007年第1期28-32,共5页宗杨 胡明 窦雁巍 刘志钢 
国家自然科学基金资助项目(60371030).
利用原电池法在硅片表面制备了纳米多孔硅层；用扫描电镜SEM和原子力显微镜AFM观察了多孔硅表面形貌：原电池法与电化学法得到的多孔硅孔径均在10～20nm范围．研究结果表明：铂膜电极厚度的增大以及铂膜电极与暴露硅片面积比的增大，会...
关键词：原电池法 纳米多孔硅 绝热 
MEMS技术在非制冷热红外探测器中的应用被引量：2
《传感器与微系统》2007年第1期90-92,96,共4页胡明 吕宇强 颜海洋 吴淼 
国家自然科学基金资助项目(60371030);天津市自然科学基金资助项目(043600811)
微机电系统(MEMS)技术是以实现机电一体化为目标的一项新兴技术,它在红外器件制作中的引入为非制冷红外探测器的实用化开辟了新的途径。目前,应用MEMS技术制作的主要有微测辐射热计微桥结构和微悬臂红外探测器双层悬臂结构2种。对它们...
关键词：微机电系统 红外探测器 微桥 微悬臂 
热红外探测器的最新进展被引量：14
《压电与声光》2006年第4期407-410,共4页吕宇强 胡明 吴淼 张之圣 刘志刚 
国家自然科学基金资助项目(60371030);天津市自然科学基金资助项目(043600811)
对基于热敏电阻的微测辐射热计和基于热释电效应的热释电红外探测器在探测元材料、焦平面阵列(FPA)结构和读出电路(ROIC)3个方面进行了分析对比,讨论了这两种非制冷探测器热电材料的选取原则,FPA单元的热绝缘构造和读出电路的组成方式,...
关键词：红外探测器 微测辐射热计 热释电 焦平面阵列 热绝缘 
常温直流对靶溅射制备高TCR氧化钒薄膜被引量：2
《天津大学学报》2006年第7期806-809,共4页吴淼 胡明 吕宇强 刘志刚 
国家自然科学基金(60371030);天津市应用基础研究计划资助项目(043600811).
常温下用直流对靶磁控溅射的方法在玻璃基片上制备出了高电阻温度系数(TCR)氧化钒薄膜.通过设计正交试验,系统分析了Ar和O_2的标准体积比、溅射功率、工作压强和热处理时间对氧化钒薄膜TCR的影响.对最佳工艺条件下制得的薄膜进行电阻温...
关键词：直流对靶磁控溅射 氧化钒薄膜 电阻温度系数 正交试验 
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