云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家自然科学基金(19835030)

国家自然科学基金(19835030): 作品数：23被引量：112H指数：6; 导出分析报告; 相关作者：马腾才詹如娟梅显秀张家良王友年更多>>; 相关机构：大连理工大学中国科学技术大学复旦大学三束材料改性国家重点实验室更多>>; 相关期刊：《光谱学与光谱分析》《大连理工大学学报》《物理学报》《核聚变与等离子体物理》更多>>; 相关主题：类金刚石薄膜等离子体类金刚石强流脉冲离子束AU更多>>; 相关领域：理学电子电信核科学技术一般工业技术更多>>

HIPIB烧蚀等离子体沉积DLC薄膜结构及性能被引量：3: 《大连理工大学学报》2004年第4期469-473,共5页梅显秀徐卫平马腾才谭畅; 国家自然科学基金资助项目(重点项目19835030).; 利用强流脉冲离子束(HIPIB)烧蚀等离子体在Si(100)基体上快速沉积类金刚石(DLC)薄膜.电压为250keV,束流密度为250A/cm2,脉宽为70ns的离子束(主要由碳离子和氢离子组成)聚焦到石墨靶材上,使石墨充分电离产生稠密的烧蚀等离子体,在石墨靶...; 关键词：强流脉冲离子束类金刚石薄膜 HIPIB 烧蚀等离子体 DLC薄膜结构残余应力快速沉积类金刚石薄膜

直流辉光和磁控增强放电等离子体的空间分辨发射光谱技术被引量：3: 《真空科学与技术学报》2004年第4期255-259,共5页于红张家良任春生王友年马腾才; 国家自然科学基金 (No .1983 5 0 3 0 )资助项目; 光学发射光谱 (OES)方法是等离子体诊断的有力工具之一 ,可以定量地给出等离子体的多种重要参数 ,如等离子体中的物种成分、粒子能态分布、激发温度、粒子相对密度等。本文介绍了一种用于电子回旋共振 (ECR)微波等离子体磁控溅射靶附近...; 关键词：发射光谱直流辉光放电激发态原子激发温度类似行空间微波等离子体空间分辨光发射电子回旋共振

射频偏置ECR-PECVD等离子体参数测量被引量：6: 《核聚变与等离子体物理》2004年第1期63-66,共4页许沭华任兆杏沈克明; 国家自然科学基金项目(19835030); 利用双探针对ECR PECVD装置中基片在射频偏置下的等离子体参数进行了测量。同时测量了在射频偏置下微波功率、磁场电流、进气量等参数对ECR PECVD等离子体参数的影响。结果表明,在ECR PECVD等离子体装置中,基片射频偏置对电子温度有影响...; 关键词：射频偏置 ECR-PECVD 双探针电子温度等离子体密度微波功率磁场电流

Synthesis and Characteristics of Diamond-like Carbon Films Deposited on Quartz Substrate被引量：2: 《Plasma Science and Technology》2004年第2期2255-2258,共4页黄卫东丁鼎詹如娟; The project supported by the National Natural Science Foundation of China (No. 19835030 and 19875053); Diamond-like carbon (DLC) films are deposited on quartz substrate using pure CH4 in the surface wave plasma equipment. A direct current negative bias up to -90 V is applied to the substrate to investigate the bias eff...; 关键词：diamond like carbon (DLC) Raman spectrum infrared absorption spectroscopy optical band gap

基片温度对强流脉冲离子束烧蚀等离子体沉积类金刚石薄膜结构和性能的影响被引量：2: 《真空科学与技术》2003年第4期226-230,234,共6页梅显秀刘振民马腾才; 国家自然科学基金重点项目资助课题 :低气压等离子体合成功能薄膜的部分机理研究 ( 198350 30 ); 利用强流脉冲离子束 (High intensitypulsedionbeam HIPIB)烧蚀等离子体技术在Si(1 0 0 )基体上沉积类金刚石 (Dia mond likecarbon DLC)薄膜 ,基片温度的变化范围从 2 5℃ (室温 )到 40 0℃。利用Raman谱、X射线光电子谱 (XPS)、X射线...; 关键词：强流脉冲离子束烧蚀等离子体沉积类金刚石薄膜结构和性能基片温度

衬底温度对强流脉冲离子束烧蚀沉积类金刚石薄膜化学结构的影响被引量：2: 《高等学校化学学报》2003年第7期1262-1265,共4页梅显秀马腾才; 国家自然科学重点基金 (批准号 :19835 0 30 )资助; 采用强流脉冲离子束 (High-intensity pulsed ion beam,HIPIB)烧蚀技术在 Si(1 0 0 )基体上沉积类金刚石 (Diamond-like carbon,DLC)薄膜 ,衬底温度的变化范围为 2 98～ 6 73K.利用 Raman光谱和 X射线光电子谱 (XPS)对 DLC薄膜的化学结...; 关键词：衬底温度强流脉冲离子束烧蚀沉积技术类金刚石薄膜化学结构化学结合状态

Incorporation of Nitrogen Into Amorphous Carbon Films Produced by Surface-Wave Plasma Chemical Vapor Deposition: 《Plasma Science and Technology》2003年第6期2063-2070,共8页吴玉祥朱晓东詹如娟; Natural Science Foundation of Anhui Province(No.03044702);National Natural Science Foundation of China(No.19835030); In order to study the influence of nitrogen incorporated into amorphous carbon films, nitrogenated amorphous carbon films have been deposited by using surface wave plasma chemical vapor deposition under various ratios...; 关键词：nitrogenated amorphous carbon film incorporation of nitrogen optical emission spectroscopy surface wave plasma RAMAN

表面波等离子体沉积类金刚石膜结构的Raman光谱和XPS分析被引量：12: 《光谱学与光谱分析》2003年第3期512-514,共3页黄卫东詹如娟; 国家自然科学基金重点项目资助 (No. 1 98350 30 ); 本文使用Raman光谱和X 射线光电子能谱 (XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究。采用 4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行处理 ,并由此对膜中sp3键的百分含量PD 进行了定量计算 ;...; 关键词：表面波等离子体沉积类金刚石膜结构 XPS 类金刚石 RAMAN光谱 X-射线光电子能谱

Ions Bombardment in Thin Films and Surface Processing: 《Plasma Science and Technology》2003年第3期1841-1848,共8页许沭华任兆杏; The project supported by the National Nature Science Foundation of China(No.19835030); Ions bombardment is very important in thin films and surface processing. The ion energy and ion flux are two important parameters in ion bombardment. The ion current density mainly dependent on the plasma density give...; 关键词：low temperature plasma ion bombardment plasma sheath RF bias ion beam source

粒子束对玻姆鞘层判据的影响被引量：4: 《物理学报》2003年第5期1196-1202,共7页谷云鹏马腾才; 国家自然科学基金 (批准号 :19835 0 30 )资助的课题~~; 在一维平板鞘层中应用双流体模型在有无碰撞两种情况下分别研究了定向离子束和定向电子束的存在对玻姆鞘层判据的影响 .研究所涉及的碰撞主要有电荷交换碰撞、电离碰撞和总能量损失碰撞 .工作气体是氩气 ,气压是常压 .通过采用四阶龙格 ...; 关键词：玻姆鞘层判据双流体模型粒子束定向离子束定向电子束碰撞等离子体物理

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