国家自然科学基金(51135005)

作品数：11被引量：72H指数：5
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相关机构：华中科技大学兰州空间技术物理研究所兰州理工大学更多>>
相关期刊：《中国激光》《科学通报》《激光与光电子学进展》《激光技术》更多>>
相关主题：激光刻蚀激光技术激光微加工刻蚀深度脉冲激光更多>>
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移动脉冲激光刻蚀金属/聚酰亚胺数值模拟被引量：6
《中国激光》2017年第4期29-35,共7页闫晓东 任妮 汤富领 薛红涛 张宏伟 杨建平 刘孝丽 
国家自然科学基金(51135005);兰州空间技术物理研究所开放基金[合同510审支(2015)X07-005号]
为了研究移动脉冲激光刻蚀单/双层金属/聚酰亚胺基复合材料的规律,利用有限元方法建立了移动纳秒脉冲激光刻蚀的通用模型,讨论了移动速度对激光刻蚀深度的影响,分析了金属铝薄膜和双层金属膜在移动脉冲激光作用下的温度变化规律。结果表...
关键词：激光技术 脉冲激光 移动速度 铝薄膜 聚酰亚胺 温度场 刻蚀深度 
聚酰亚胺基底金属薄膜激光刻蚀温度场分布被引量：9
《中国激光》2016年第5期94-101,共8页张宏伟 任妮 薛红涛 汤富领 闫晓东 路文江 刘孝丽 
国家自然科学基金(51135005);兰州空间技术物理研究所开放基金项目(合同510审支(2015)X07-005号)
为研究脉冲激光刻蚀聚酰亚胺基底镀金属薄膜过程,采用有限元软件COMSOL Multiphysics构建高斯脉冲激光辐照复合材料的2维非稳态物理模型,通过求解热传导方程计算不同功率激光辐照金属薄膜的温度场分布,讨论不同激光参数对刻蚀进程的影...
关键词：激光技术 脉冲激光 激光刻蚀 金属薄膜 聚酰亚胺 温度场 刻蚀深度 
一种耐高温紫外正型光刻胶及光刻工艺被引量：2
《科学通报》2016年第6期610-615,共6页艾骏 曾晓雁 刘建国 
国家自然科学基金(51172081,51473058和51135005)资助
光刻胶作为光刻技术中的关键性基础材料,其配方组成和光刻工艺对光刻胶的分辨率等性能有重要影响.以自制的酰胺-酰亚胺聚合物作为成膜树脂,与感光剂2,1,5-磺酰氯的衍生物等其他成分按一定比例配制成光刻胶,通过研究不同配比、不同光刻...
关键词：紫外正型光刻胶 酰胺-酰亚胺树脂 光刻工艺 
激光刻蚀聚酰亚胺基底铝薄膜的温度场模拟被引量：5
《中国激光》2015年第7期112-116,共5页刘孝丽 熊玉卿 杨建平 王瑞 吴敢 任妮 
国家自然科学基金(51135005)
为了研究1064 nm激光刻蚀聚酰亚胺基底镀铝薄膜的作用机理,采用有限元分析软件ANSYS模拟了激光对聚酰亚胺基底上铝薄膜的刻蚀过程,分析了激光脉冲作用于铝薄膜表面时的能量传输及转化过程,获得了铝薄膜及聚酰亚胺基底中的温度场分布,进...
关键词：薄膜 激光刻蚀 铝薄膜 聚酰亚胺 温度场 分离机制 
用于金属薄膜刻蚀的激光束能量分布整形研究
《真空与低温》2015年第1期38-41,共4页杨建平 陈学康 吴敢 王瑞 
国家重点自然科学基金NSFC(51135005)
针对碳纤维复合材料基底上的金属薄膜图形刻蚀需求,研究了一种基于光学波前衍射变换原理的能量/激光功率密度分布整形方法,并设计制作了衍射元件。利用基模(TEM00)和非基模输出的红外激光分别进行了验证实验,用整形后的激光光束进行刻蚀...
关键词：激光刻蚀 能量密度分布 衍射元件 光束整形 
1064nm和355nm激光扫描刻蚀覆铜板工艺及质量研究被引量：11
《激光技术》2014年第4期435-440,共6页傅茜 张菲 蒋明 段军 曾晓雁 
国家自然科学基金重点项目基金资助项目(51135005)
为了研究不同纳秒激光工艺参量(波长、能量密度、扫描速率)以及铜层厚度对激光刻蚀覆铜板质量(包括刻蚀深度及加工面粗糙度)的影响,采用50W的1064nm红外光纤激光器和10W的355nm紫外固体激光器对覆铜板进行了对比刻蚀实验。通过分析红外...
关键词：激光技术 1064nm红外激光 355nm紫外激光 覆铜板 
水辅助激光刻蚀氧化铝陶瓷的研究被引量：12
《激光技术》2014年第3期330-334,共5页孔令瑞 张菲 段军 罗瑞峰 曾晓雁 
国家自然科学基金资助项目(51135005)
为了得到较理想的激光刻蚀结果,采用355nm固体紫外激光,分别在空气与水中进行了氧化铝陶瓷片激光刻蚀实验。对激光主要参量如脉冲能量密度、激光扫描速率、激光重复频率等对水下刻蚀深度和质量的影响进行了对比研究;对激光刻蚀的机理以...
关键词：激光技术 水辅助加工 氧化铝陶瓷 表面刻蚀 
基于紫外激光微加工的微型可变辐射器(英文)
《稀有金属材料与工程》2013年第S2期38-40,共3页曹生珠 王熙元 韩闯 杨建平 陈学康 
NSFC(51135005)
微型星用热开关辐射器因其辐射能力可根据需要主动调节,整体采用薄膜和微结构制造,具有轻小、低功耗等的特点,非常适合于微/纳卫星热控应用。国外同类器件主要采用硅工艺制作,由于材料和工艺限制,器件热性能较差。本文提出了一种基于紫...
关键词：热开关 微型可变辐射器 激光微加工 
金属薄膜/有机材料基体系激光刻蚀研究(英文)被引量：3
《稀有金属材料与工程》2013年第S2期240-242,共3页王瑞 陈学康 任妮 吴敢 杨建平 曹生珠 
NSFC(51135005)
激光刻蚀技术用于卫星天线的制造,用于刻蚀由不同材料体系组成天线表面的金属薄膜,由于金属、有机材料各层对激光的热和光物理特性存在很大的差异,因而每层材料的物理特性对激光刻蚀的结果产生影响。基于在多层材料表面金属薄膜激光刻...
关键词：激光刻蚀 界面效应 金属薄膜过渡层 
石英陶瓷激光刻蚀加工技术研究
《激光与光电子学进展》2013年第11期130-135,共6页孔令瑞 张菲 段军 曾晓雁 
国家自然科学基金重点项目(51135005)
尝试了利用激光进行石英陶瓷刻蚀加工的方法,采用紫外激光器和光纤激光器进行了刻蚀加工实验。加工样品的测试由台阶测试仪以及扫描电镜(SEM)完成,主要观测加工样品的刻蚀深度、刻蚀底面的微观形貌等。实验结果表明,利用激光对石英陶瓷...
关键词：激光技术 激光微加工 石英陶瓷 刻蚀 表面质量 
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