国家自然科学基金(60777016)

作品数：23被引量：99H指数：5
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相关作者：李以贵杉山进杨春生刘景全张俊峰更多>>
相关机构：上海交通大学日本立命馆大学上海应用技术大学上海应用技术学院更多>>
相关期刊：《压电与声光》《强激光与粒子束》《传感器与微系统》《传感技术学报》更多>>
相关主题：声表面波英文微机电系统悬臂梁高深宽比更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>
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隔膜式压电驱动器的制备及其在微泵中的应用被引量：4
《微纳电子技术》2019年第2期145-150,156,共7页张成功 李以贵 王欢 
国家自然科学基金资助项目(60777016);上海市联盟计划资助项目(LM201712)
利用块材钛酸锆铅(PZT)材料的逆压电效应设计并制备了可用于微泵驱动的压电驱动器,通过5种结构模型的仿真分析确定了压电驱动器的隔膜式结构,在获取较大中心位移的同时有效提高了结构强度,增加了驱动器的适用性。工艺上通过键合、减薄...
关键词：块材钛酸锆铅(PZT) 压电驱动器 微泵 微加工技术 微电子机械系统(MEMS) 
基于块材压电陶瓷的悬臂梁式压电微驱动器被引量：3
《微纳电子技术》2018年第8期571-576,605,共7页王欢 李以贵 蔡金东 吴文渊 吕瞳 何易德 
国家自然科学基金资助项目(60777016);上海市联盟计划资助项目(LM201712)
为了获得高性能、较低成本的压电微驱动器,设计了悬臂梁式压电微驱动器。利用压电性能优良的块材压电陶瓷（PZT）材料和硅（Si）基板通过共晶键合工艺接合,结合硅片切割、PZT减薄和激光烧蚀及硅的湿法刻蚀工艺完成了微驱动器的制备。对...
关键词：压电微驱动器 共晶键合 准分子激光加工 微电子机械系统(MEMS) 悬臂梁 
共晶键合与减薄技术的压电能量采集器（英文）被引量：1
《强激光与粒子束》2016年第6期62-66,共5页李以贵 颜平 黄远 杉山进 
supported by National Natural Science Foundation of China(60777016);Lian-meng Plan Foundation of Shanghai(LM201441);Shanghai Institute of Technology Foundation(YJ 2014-03,10210Q150005)
采用微硅-锆钛酸铅(Si-PZT)悬臂梁结构并在悬臂梁末端附加镍质量块,构成可以工作于低频环境(小于1 000Hz)的微压电能量采集器,一种利用压电效应将环境振动能转换为电能的器件。利用金薄膜作为中间层的共晶键合技术和PZT研磨减薄技术制...
关键词：微制造 能量采集器 减薄技术 共晶键合 锆钛酸铅 
微压电复合材料超声波探测器的制备及应用被引量：1
《传感技术学报》2016年第6期947-951,共5页黄远 李以贵 毕贞法 颜平 王欢 山杉进 
国家自然科学基金课题项目(60777016);国家自然基金课题项目(51405303);上海联盟计划项目(LM201441);上海应用技术学院重点学科项目(10210Q150005);上海应用技术学院人才引进基金项目(YJ2014-03)
基于微细加工工艺,设计并制备了一种指向性良好的压电复合材料的超声波探测器。该探测器由压电振子、阻尼器、中继板和特高频(UHF)连接器构成。压电振子由4×4个(80μm×80μm×130μm)(长×宽×高)的锆钛酸铅(PZT)压电柱状阵列及阵列...
关键词：超声波探测器 压电复合材料 微细加工工艺 超声波指向性 
利用体块PZT制备膜片式压电微泵被引量：6
《光学精密工程》2016年第5期1072-1079,共8页李以贵 黄远 颜平 王欢 杉山进 
国家自然科学基金资助课题(No.60777016);上海联盟计划资助项目(No.LM201441);上海应用技术学院重点学科项目(No.10210Q150005);上海应用技术学院人才引进基金资助项目(No.YJ2014-03)
利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵。通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成;微驱动器主要为液体流动提供驱动力,单向微阀则用于精确控制液体的流动方向。通过对...
关键词：微流控分析系统 膜片式压电微泵 锆钛酸铅(PZT) 单向微阀 逆压电效应 驱动仿真 微加工工艺 
基于微细加工技术的高精度荧光检测生物芯片被引量：2
《微纳电子技术》2015年第11期707-712,共6页李以贵 黄远 颜平 杉山进 
国家自然科学基金资助项目(60777016);日本京都纳米资助项目
荧光检测生物芯片在生命科学研究及诸多相关领域已经得到了广泛应用。利用荧光修饰核酸探针可以在液相态中检测到c-fos mRNA致癌基因信息或病毒性核糖核酸(RNA)。通过微细加工技术分别制造了变深度微沟道和变宽度微沟道,目的是找到微生...
关键词：微细加工技术 液相荧光检测 生物芯片 变深度微沟道 变宽度微沟道 检测灵敏度 
一种宽频的磁式压电振动能量采集器被引量：18
《传感器与微系统》2011年第4期66-68,共3页马华安 刘景全 唐刚 杨春生 李以贵 
国家自然科学基金资金项目(60777016);科技部国际合作项目(2009DFB10330);航空重点实验室基金资金项目(20080857002);上海市浦江人才计划资助项目(09PJ1406200);上海市科委科技计划资助项目(08230705500)
基于环境能量采集的压电振动能量采集器为无线传感器和微机电系统的长期供能提供了一种有效解决方案。目前研制的压电式振动能量采集器存在工作频率高,且频带窄的问题。给出了一种通过磁力的引入使其在低频下工作的、宽频的压电振动能...
关键词：压电悬臂梁 振动 能量采集 宽频 永磁铁 
微型压电能量采集器的仿真、制造与测试被引量：2
《压电与声光》2010年第6期981-984,共4页孙健 李以贵 刘景全 杨春生 何丹农 
国家自然科学基金资助项目(60777016);航空重点实验室基金资助项目(20080857002);科技部国际合作项目基金资助项目(2009DFB10330);上海市科委基金资助项目(08230705500)
理论分析得到微悬臂梁式压电能量采集器的设计准则。采用一种新颖的制造工艺,将高性能压电陶瓷锆钛酸铅(PZT)块材与硅片在540℃高温下键合1 h后,减薄并切割成形成压电悬臂梁。使用ANSYS软件进行仿真,得到了器件的固有频率、尖端位移和...
关键词：悬臂梁 压电 能量采集器 键合 固有频率 
基于准分子激光工艺制作X射线光掩膜
《半导体技术》2010年第4期349-351,共3页陈少军 李以贵 
国家自然科学基金(60777016);科技部国际合作项目(2009DFB10330);航空重点实验室基金(20080857002);上海市浦江人才计划(09PJ1406200)
LIGA工艺是一项能够应用于制造三维微机械结构的微细加工技术,但制作掩膜版工艺复杂、成本高。为了解决商用的微光学系统制造成本问题,在Au薄膜上用准分子激光直写的方法制作掩膜,这样既能够很快得到雏形,同时也能够降低制作的掩膜版的...
关键词：准分子激光 掩膜版投影 LIGA掩膜版 PMMA基板 
用同步辐射光刻直接在有机玻璃板上制备高深宽比亚微米光栅被引量：6
《光学学报》2010年第5期1451-1454,共4页李以贵 杉山进 
国家自然科学基金(60777016);上海市浦江人才计划(09PJ1406200);科技部国际合作项目(2009DFB10330);航空重点实验室基金(20080857002)资助课题
为了将平面金属膜紧密耦合到纳米光栅形成的表面等离子体共振传感器,以提高灵敏度,以及利用亚微米光栅调整共振反射波长,需要制备亚微米结构光栅。介绍了一种基于X光光刻的亚微米结构光栅的制造技术。该结构光栅是利用日本立命馆大学的...
关键词：光栅 同步辐射光刻 亚微米光栅 高深宽比 纳米制造 
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