国家自然科学基金(50135040)

作品数:72被引量:296H指数:9
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相关机构:大连理工大学清华大学上海大学南昌大学更多>>
相关期刊:《润滑与密封》《传感技术学报》《光学精密工程》《哈尔滨工业大学学报》更多>>
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不同型式支撑的静电硅微谐振器的性能比较被引量:1
《机械设计与研究》2009年第3期40-43,55,共5页沈雪瑾 
国家自然科学基金重点资助项目(50135040)
针对直脚型、蟹脚型、之字型和弓型四种支撑梁结构型式的静电梳状谐振器,介绍了符合问题实质的五次超静定力学模型,给出了横向谐振频率、弹性系数和位移随谐振器结构参数和材料参数变化的函数关系。经与试验结果对比,各类谐振器横向谐...
关键词:微型机械(MEMS) 性能分析 静电横向微谐振器 支撑梁型式 
静电梳状硅微单侧直脚谐振器的力学性能
《机械工程学报》2009年第5期49-56,共8页沈雪瑾 
国家自然科学基金重点资助项目(50135040)
建立单侧支撑直脚型静电梳状硅微谐振器的三次超静定简化力学模型,给出该模型中谐振频率、弹性系数和横向最大位移的计算公式。与五次超静定系统的双侧支撑直脚型静电梳状硅微谐振器的各力学性能参数的计算公式对比发现它们有显著差别...
关键词:微型机电系统 静电硅微谐振器 单侧支撑 性能分析 
MEMS动平板的切向静电阻力
《摩擦学学报》2008年第6期517-523,共7页沈雪瑾 侯利程 
国家自然科学基金重点资助项目(50135040)
由于微机械的表面积与体积之比远大于宏机械,所以微机械中的表面阻力难以忽略,为了改善MEMS器件的性能和可靠性,必须对其影响进行研究.基于能量守衡法,本文建立了光滑平板和正方形、四棱锥两种微凸体粗糙表面平板的切向静电阻力模型,讨...
关键词:MEMS 微摩擦 静电阻力 表面粗糙度 
EFFECT OF ELECTROSTATIC RESISTANCE ON THE SHUTTLE OF MICRORESONATOR
《Chinese Journal of Mechanical Engineering》2008年第5期55-58,共4页SHEN Xuejin HOU Licheng 
National Natural Science Foundation of China(No.50135040);Science Foundation of Shanghai Municipality Education Commission through the Key Discipline Program(No.970104).
To improve the performance and reliability of microelectromechanical system's devices, it is necessary to understand the effect of friction which exists in the majority of microelectromechanical systems (MEMS) with...
关键词:Microresonator Microtribology Electrostatic resistance Surface roughness 
V型电热硅微致动器动态频率特性被引量:2
《传感技术学报》2008年第4期615-618,共4页张永宇 陈晓阳 杜向阳 
国家自然科学基金资助(50135040)
提出了V型电热硅微致动器的弯曲振动力学模型。考虑到微米尺度上的硅梁难以简化为质量块、弹簧振动模型,采用了连续体建模,据此可进行其模态分析及动态频率特性的理论研究。利用自行设计制造的在线动态测试机构,测试了V型电热硅微致器...
关键词:微致动器 电热 多晶硅 动态特性 MEMS 
微间隙液体粘性阻力分析
《功能材料与器件学报》2008年第1期121-124,共4页戚伟俊 沈雪瑾 侯利程 吴文蕾 李科委 
国家自然科学基金重点项目(No.50135040)
微谐振器是微机电系统中应用最广泛的器件之一,由于加工工艺和环境潮湿等原因,在微间隙结构中常常会有液体存在,从而产生液体粘性阻力,对可动部件的运动、微器件性能的发挥产生影响。通过液体粘性阻力的分析,建立了上平板做简谐振动的...
关键词:微机电系统 微间隙平板 液体粘性阻力 
基于柔性铰链支承的热驱动硅微机械手的力学模型及性能分析被引量:3
《传感技术学报》2008年第2期284-287,共4页沈雪瑾 王旭 戚伟俊 李科委 吴文蕾 
国家自然科学基金重点项目资助(50135040);上海市教委重点学科科研项目资助(970104)
微机械手是一种典型的微型执行器,是微型机电系统(MEMS)的重要研究内容之一。以基于柔性铰链的电热驱动硅微机械手为研究对象,建立了微夹钳的二次超静定力学模型,导出了钳口处输出位移的解析式,并在此基础上对硅微机械手的性能进行了分...
关键词:微型机电系统 微机械手 V型梁电热致动器 柔性铰链 
PSII法制备DLC膜的纳米摩擦性能研究
《真空》2007年第5期29-31,共3页李新 唐桢安 徐军 鲍海飞 
自然科学基金重点项目(编号:50135040)
微机电系统(MEMS)的研究引起了人们的极大关注,摩擦行为是影响MEMS性能的关键因素之一。本文采用等离子源离子注入(PSII)技术在硅衬底上制备薄膜,利用Raman光谱表征制备薄膜的类金刚石特性。详细介绍了采用原子力显微镜(AFM)进行纳米摩...
关键词:类金刚石膜 原子力显微镜 纳米摩擦 等离子源离子注入 
硅微机械动平板表面粘附阻力被引量:1
《润滑与密封》2006年第7期64-67,共4页沈雪瑾 侯利程 刘谨 
国家自然科学基金重点资助项目(50135040)
以MEMS动平板模型为研究对象,建立了微间隙动平板表面粘附阻力的理论模型,利用界面化学中表面能和粘附功的概念,推导出了光滑平板和开孔平板的表面粘附阻力公式,并探讨了影响表面粘附阻力的诸多因素。在此基础上还设计了拉簧-平板-弯簧...
关键词:微机械 微间隙平板 表面力 表面粘附阻力 
自适应光学系统中高精跟踪回路性能在线分析被引量:1
《光电工程》2006年第6期1-3,9,共4页吴碧琳 饶长辉 
国家自然科学基金(50275023);国家自然科学基金重点项目(50135040)
在自适应光学系统中,高精跟踪回路的闭环误差由未完全补偿的跟踪残余误差和倾斜噪声误差组成。利用高精跟踪回路闭环残余倾斜数据和电压数据,可以计算高精跟踪回路的跟踪残余误差、倾斜噪声以及开环倾斜误差。基于此种方法对1.2m望远镜6...
关键词:自适应光学 精密跟踪 误差分析 噪声误差 
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