国家自然科学基金(90207006)

作品数：10被引量：14H指数：2
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相关期刊：《微纳电子技术》《电子器件》《Journal of Semiconductors》《传感器与微系统》更多>>
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两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用被引量：2
《Journal of Semiconductors》2006年第9期1672-1675,共4页叶超 陈贤祥 彭春荣 陶虎 夏善红 
国家自然科学基金资助项目(批准号:90207006)~~
设计并制备出两种新型电热驱动微型静电场传感器.一种利用了V型梁阵列作为驱动结构,另一种引入了位移放大机构.针对传感器的弱电流输出信号,建立了基于锁相放大器的测试系统对两种传感器的输出信号进行检测.测试结果表明,两种传感器都...
关键词：热驱动结构 V型梁阵列 位移放大机构 电场传感器 
基于氮化硅的压力传感器以及算法补偿被引量：1
《电子器件》2006年第3期726-729,共4页王奇 赵湛 曾欢欢 方震 张博军 
国家自然科学基金课题资助(90207006);中国科学院微系统创新项目资助
MEMS技术制造的传感器具有体积小、重量轻、成本低等特点。用于测量大气气压的传感器,主要材料是硅、氮化硅和铂金,氮化硅薄膜形成了传感器的主要结构。这种压力传感器与一般传感器相比具有结构简单、工艺易于实现以及精度高等优点。设...
关键词：MEMS 压力传感器 氮化硅 温度 补偿 
一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造被引量：5
《电子器件》2006年第3期639-642,共4页陶虎 彭春荣 陈贤祥 白强 陈绍凤 夏善红 
国家自然科学基金课题资助"多功能微传感器芯片系统集成技术研究"(90207006)
一种新型的,以压电陶瓷条为驱动、硅为屏蔽和感应电极的微型电场传感器。此种传感器利用了新型的电场感应模式,采用微加工技术制造,使其具备体积小、重量轻、功耗低、便于与其它器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低。本文阐述了...
关键词：电场传感器 微加工技术 压电陶瓷 
毛细作用驱动的MEMS流体自组装模拟仿真被引量：1
《微纳电子技术》2006年第5期228-232,250,共6页吕曜 夏善红 刘梅 张建刚 
国家自然科学基金资助项目(90207006)
介绍了毛细作用驱动的MEMS流体微器件自组装技术的研究和发展概况,并对组装中的自对准过程进行了模拟仿真。通过仿真模拟,证明即使在器件与衬底组装区域形状大小不同时,仍可能实现自对准。这说明自组装对组装器件和衬底粘合层的形状尺...
关键词：自组装 微机电系统 毛细作用 模拟仿真 
基于Si_3N_4薄膜的压力传感器被引量：2
《传感器与微系统》2006年第3期71-73,共3页王奇 赵湛 耿照新 方震 曾欢欢 张博军 
国家自然科学基金资助项目(90207006);中国科学院微系统创新项目
采用微机电系统（MEMS）技术制造的传感器具有体积小、重量轻、成本低等特点。基于Si3N4压力敏感膜，利用MEMS技术，设计了一种用于测量气压的传感器。采用应变电阻原理对压力进行测量，进行了理论分析计算，设计了工艺过程，制作出了...
关键词：微机电系统 压力传感器 氮化硅 
MEMS中的微组装技术被引量：2
《新技术新工艺》2005年第1期24-27,共4页孙红光 夏善红 张建刚 
国家自然科学基金项目(90207006)
随着微机电系统(MEMS)的迅速发展,对微组装技术的需求日益迫切。介绍了微器件组装技术的研究和发展概况,包括顺行和并行微组装技术,并对各种微组装技术进行了比较。对未来微组装技术的发展和应用前景进行了讨论。
关键词：组装技术 微机电系统(MEMS) 微器件 并行 需求 迅速发展 发展概况 未来 
基于MEMS技术的温湿压集成传感器
《中国机械工程》2005年第z1期166-168,共3页王奇 赵湛 曾欢欢 方震 张博军 
国家自然科学基金资助项目(90207006);中国科学院微系统创新项目
介绍了一种具有新结构的温湿压集成传感器,分别采用了热敏电阻法测量温度、导热检测法检测湿度、应变电阻法检测压力.这种集成传感器主要是采用硅、氮化硅和铂金为材料制作的.测量温度和湿度的铂金电阻都在悬空氮化硅薄膜上,测量压力的...
关键词：MEMS 温湿压集成传感器 氮化硅 薄膜 
探空温湿压系统研制
《中国机械工程》2005年第z1期61-63,共3页方震 赵湛 王奇 曾欢欢 王溢仲 张博军 
国家自然科学基金资助项目(90207006);中国科学院微系统创新资助项目
介绍了用于测量大气湿度、温度和气压探空集成传感器系统.利用集成温湿压传感器采集信号,测量采用24位AD精度MCU,借助CC1000将信号调制,MAX2235将信号功率放大无线发送.给出了集成温湿压传感器结构、测量系统的原理、测量系统的硬件框...
关键词：集成温湿压传感器 MEMS F350 CC1000 MAX2235 
聚酰亚胺电容式湿度传感器的研制及改进被引量：1
《中国机械工程》2005年第z1期196-199,共4页曾欢欢 赵湛 王奇 方震 张博军 
国家自然科学基金资助项目(90207006);中国科学院微系统创新资助项目
聚酰亚胺(PI)电容式湿度传感器的新型设计简化了工艺流程,避免引线台阶式引出时可能出现的脱落、断裂等问题;改进了温度补偿电极的位置及结构;分析了平板式电容式传感器的等效电路及简化条件,以及PI薄膜的厚度与亚胺化温度对吸湿性能的...
关键词：湿度传感器 聚酰亚胺(PI) 电容式 反应离子刻蚀(RIE) 边缘效应 
微型器件的自装配技术被引量：2
《微纳电子技术》2003年第1期25-29,共5页邓凯 夏善红 
国家自然科学基金的资助项目(90207006)
自组装技术起源于生物化学领域。20世纪90年代以来,这种新型的装配技术得到了关注并且经历了较快的发展,同时在微机电系统(MEMS)等研究领域显示了潜在的应用前景。本文阐述了自组装技术的发展,介绍了多种自组装方法,包括利用毛细力、重...
关键词：微型器件 自装配技术 微机电系统 毛细作用 重力 亲水力 
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