国家自然科学基金(60106003)

作品数：9被引量：52H指数：6
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相关期刊：《红外与激光工程》《半导体光电》《红外与毫米波学报》《中国激光》更多>>
相关主题：氧化钒薄膜VO氧化钒电阻温度系数红外探测器更多>>
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具有低噪读出特性的VO_2非致冷焦平面读出电路被引量：6
《红外与毫米波学报》2006年第4期246-250,共5页陈西曲 易新建 王强 
国家自然科学基金(60106003)资助项目
介绍了一种针对二氧化钒敏感材料的CMOS读出电路(RO IC).该电路结构简单,适合大规模焦平面阵列,并具有良好的低噪特性,可以有效地降低焦平面衬底温度波动影响和抑制一些低频噪声.该读出电路已成功地应用于32×32元微测辐射热计焦平面阵...
关键词：非致冷红外焦平面 二氧化钒 读出电路 
相变型VO_2薄膜的制备及其特性的研究被引量：7
《红外与激光工程》2005年第1期27-30,共4页周少波 王双保 陈四海 易新建 
国家自然科学基金资助项目(60106003)
利用反应离子束溅射和后退火工艺制备一种新的相变型VO2薄膜,对该薄膜进行电学测试、XRD和光学透过率的测试。这种工艺制备出的相变型VO2薄膜相变温度更接近室温,XRD显示这种薄膜中有VO2、V2O5成分的存在。对这种薄膜的光学透过率测试表...
关键词：VO2 薄膜 反应离子束溅射 相变特性 薄膜制备 
反应离子束溅射沉积和还原退火工艺制备VO_x多晶薄膜
《材料开发与应用》2004年第6期20-21,29,共3页周少波 王双保 陈四海 易新建 
国家自然科学基金支持(编号:60106003)。
通过反应离子溅射沉积和后退火工艺制备出优质微测辐射热计用的氧化钒薄膜。对薄膜退火前后进行了扫描电子显微镜分析,结果表明,制备的VOx多晶薄膜致密均匀,退火后晶粒尺寸变大。电学测试表明,在室温时薄膜的方块电阻约为50kΩ,电阻温...
关键词：氧化钒薄膜 微测辐射热计 反应离子束溅射 制备参量 
新型VO_2相变薄膜的制备被引量：5
《微纳电子技术》2004年第9期29-31,36,共4页周少波 王双保 陈四海 易新建 熊韬 
国家自然科学基金资助项目(60106003)
采用离子束溅射和退火工艺制备了一种新的相变型薄膜VO2。此种薄膜的方块电阻为120～148kΩ,电阻-温度关系曲线显示该薄膜的相变温度接近室温。SEM分析表明,所制备的薄膜致密均匀。样品的明场透射电子显微图像显示,制备的薄膜是多晶薄膜...
关键词：VO2薄膜 相变 离子束溅射 制备 
128元非致冷氧化钒红外探测器的制作被引量：9
《红外与毫米波学报》2004年第2期99-102,共4页王宏臣 易新建 陈四海 黄光 肖静 
国家自然科学基金重点资助项目 (60 10 60 0 3 )
采用新工艺在氮化硅衬底上制备了室温时电阻温度系数为 - 0 .0 2 1K-1的氧化钒薄膜 ,以此为基础 ,利用光刻和反应离子刻蚀工艺在硅衬底上制作了 12 8元氧化钒红外探测器 .为了降低探测器敏感元与衬底间的热导 ,设计制作了自支撑的微桥...
关键词：红外探测器 微桥结构 微桥阵列 氧化钒薄膜 电阻温度系数 
非致冷红外探测器用氧化钒多晶薄膜的制备被引量：8
《红外与毫米波学报》2004年第1期64-66,共3页王宏臣 易新建 陈四海 黄光 李雄伟 
国家自然科学基金资助项目 ( 60 10 60 0 3 )
采用离子束溅射镀膜和氧化工艺在Si(110 )和石英衬底上制备了用于非致冷红外探测器阵列热敏材料的混合相氧化钒多晶薄膜 .扫描电子显微镜 (SEM)照片显示 :薄膜表面呈针状晶粒状 ,而且薄膜表面光滑、致密 ,均匀性好 .测试结果表明 :氧化...
关键词：非致冷红外探测器 氧化钒多晶薄膜 离子束溅射镀膜 电阻温度系数 半导体材料 薄膜结构 
氧化钒薄膜的制备及其光电特性研究被引量：14
《中国激光》2003年第12期1107-1110,共4页王宏臣 易新建 陈四海 黄光 李雄伟 
国家自然科学基金 (批准号 :6 0 10 6 0 0 3);华中科技大学研究生科技创新基金 (编号 :YCJ 0 2 0 0 3)资助项目
采用一种新工艺在Si和Si3 N4衬底上制备了性能优良的氧化钒薄膜 ,并对其微观结构和光电特性进行了研究。测试结果表明采用新工艺所制备的氧化钒薄膜在相变前后电阻率变化达到 3个数量级 ,红外透过率在相变前后改变达到 6 0 %。
关键词：薄膜技术 氧化钒薄膜 温度相变特性 光电特性 微光开关 
一种制备氧化钒薄膜的新工艺被引量：11
《半导体光电》2003年第4期280-282,共3页王宏臣 易新建 黄光 肖静 陈四海 
国家自然科学基金资助项目(60106003);华中科技大学研究生科技创新基金资助项目 (YCJ- 0 2 - 0 0 3 ).
　采用两步法工艺,即先在衬底上溅射一层金属钒膜,再对其进行氧化的方法,在硅和氮化硅衬底上制备了高电阻温度系数的混合相VOx多晶薄膜。电学测试结果表明:厚度为50nm的氧化钒薄膜的方块电阻和电阻温度系数(TCR)在室温时分别达到50kΩ和...
关键词：红外探测器 氧化钒薄膜 离子束溅射淀积 热敏薄膜 
光电子能谱在钒酸钇晶体生长中的应用
《华中科技大学学报（自然科学版）》2003年第2期30-32,共3页夏峥嵘 杨坤涛 陈四海 
国家自然科学基金资助项目 ( 60 1 0 60 0 3 )
应用光电子能谱分析了钒酸钇 (YVO4)多晶料与单晶之间的关系 ,成功生长出低缺陷的YVO4晶体 ,并对晶体进行检测 .由检测结果得出 ,YVO4晶体的小角晶界 ,散射中心等缺陷与多晶料的Y ,V质量比有密切的关系 ,晶体的外形变形。
关键词：晶体生长 光电子能谱 钒酸钇晶体 晶体缺陷 双折射晶体 晶界 散射中心 
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