国家高技术研究发展计划(2004AA404042)

作品数：15被引量：50H指数：4
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三维相位展开算法在精密运动测试中的应用被引量：4
《光学学报》2007年第1期68-72,共5页胡春光 胡晓东 栗大超 郭彤 胡小唐 
国家863计划重大专项基金(2004AA404042);国家自然科学基金(50505031)资助课题
三维相位展开算法将基于空间的相位展开算法拓展到时间轴上,包含了一维时间和二维空间信息,适合于运动测试。通过建立一维时间相位展开算法的数学模型,分析了该算法运动测试的基本原理,讨论了在精密测试中的使用方法和适用范围,并对微...
关键词：光学测量 运动测试 相位展开算法 三维形貌测量 频闪成像 
基于光流技术MEMS平面微运动特性的测量被引量：2
《纳米技术与精密工程》2006年第3期240-244,共5页张少婧 胡晓东 栗大超 胡小唐 
"863"计划重大专项资助项目(2004AA404042);天津市重大科技项目(043185911).
实现MEMS动态测试技术中平面微运动特性的测量,关键是记录MEMS运动过程中的瞬间运动状态,并恢复MEMS面内的运动历程．为此,介绍了光流技术,并提出利用邻域优化法进行微结构运动的光流计算．组建了基于频闪成像的MEMS平面运动测试系统,...
关键词：光流 邻域优化 频闪成像 MEMS谐振器 运动特性 
MEMS显微干涉测量系统中相移器性能的研究被引量：2
《传感技术学报》2006年第05A期1500-1503,1508,共5页郭彤 胡春光 陈津平 傅星 胡小唐 
国家863计划资助(2004AA404042);博士后科学基金资助项目
显微干涉测量方法是一种被广泛使用的高精度表面测量方法,其中相移器的性能直接影响到系统测量的精度.对MEMS测量系统中使用的压电陶瓷相移器的主要误差源,包括迟滞、非线性和蠕变等进行了分析,并对开环条件下的相移器运动进行了标定....
关键词：微机电系统 显微干涉术 相移器 误差分析 
基于时间平均干涉法的微结构离面运动测量被引量：2
《天津大学学报》2006年第B06期125-128,共4页陈津平 郭彤 胡春光 栗大超 胡晓东 傅星 胡小唐 
国家863计划项目(2004AA404042);博士后科学基金项目资助.
微机电系统(MEMS)动态特性的测量在MEMS研发过程中具有极为重要的地位．提出一种用于微结构离面运动快速测量的光学测试系统及方法．该系统基于Mirau显微干涉技术,以时间平均干涉法实现可动微结构离面动态特性的测量．系统采用4步相移...
关键词：微结构 时间平均干涉法 离面运动 快速测量 
利用微运动分析仪研究MEMS器件的运动特性被引量：3
《光电子．激光》2006年第4期386-391,共6页郭彤 胡春光 胡晓东 栗大超 傅星 胡小唐 
国家"863"计划资助项目(2004AA404042);博士后基金项目资助
介绍了一种计算机控制的微运动分析仪(MMA),用来研究微机电系统(MEMS)中可动部件的运动特性。它采用了2种光学无损测量方法:计算机微视觉方法用于面内运动测量;相移干涉方法用于离面运动测量。这个高度集成的系统包括了高性能成像系统...
关键词：微机电系统(MEMS) 微运动分析仪(MMA) 相移干涉 计算机微视觉 频闪照明 运动特性 
微结构振动特性的自由衰减测试方法
《天津大学学报》2006年第3期338-342,共5页胡晓东 宋孝勇 栗大超 傅星 胡小唐 
国家863计划MEMS重大专项资助项目(2004AA404042)天津市重大科技资助项目(043185911).
为准确快速地对微结构的谐振频率和阻尼比进行测试和分析,组建了以激光多普勒测振仪为核心的微结构瞬态离面运动特性测试系统．附有压电驱动的微悬臂梁和微振动薄膜在斜波脉冲激励信号作用下产生自由衰减振动,通过激光多普勒测振仪将瞬...
关键词：微机电系统 振动特性 自由衰减 谐振频率 阻尼比 
微机电系统动态特性的光学检测方法被引量：3
《电子测量与仪器学报》2006年第2期30-34,共5页陈津平 郭彤 胡小唐 
国家"863"计划资助项目(编号:2004AA404042);博士后科学基金资助项目。
微机电系统(MEMS)的动态表征是为可动MEMS器件的设计和加工过程提供可靠的实验数据反馈。文中构建了一个MEMS动态测试系统,它采用了光学检测方法,具有非接触、快速、高精度等优点。系统分别采用光流技术和显微干涉技术,结合频闪照明的方...
关键词：微机电系统 光学检测 动态特性 光流技术 显微干涉 频闪照明 
复杂微结构三维形貌测量方法的研究被引量：9
《光电子．激光》2006年第1期98-101,共4页胡春光 胡晓东 徐临燕 郭彤 胡小唐 
国家"863"计划重大专项资助项目(2004AA404042);天津市重大科技资助项目(043185911)
微结构三维形貌测量是研究微加工工艺和微尺寸特性的重要测试内容。本文提出一种基于相移显微干涉术、利用干涉图建立二维结构模板指导相位展开的新方法,它不仅适用于静态测量,而且能应用于在动态测量中,特别是微机电系统(MEMS)器件的...
关键词：微结构 三维形貌测量 相移显微干涉术 二维结构模板 生长算法 
利用Mirau显微干涉仪测量微器件的纳米级运动被引量：8
《光子学报》2005年第10期1542-1545,共4页郭彤 胡春光 胡晓东 栗大超 金翠云 傅星 胡小唐 
国家863计划资助项目(2004AA404042)
描述了一种用于微机电系统(MEMS)纳米级微运动测量的Mirau显微干涉系统.该系统利用商业化的Mirau显微干涉仪,它直接安装在光学显微镜上,用于测量一个表面微加工水平谐振器的三维运动.面内运动取决于亮场在最佳焦平面处的图像,而离面运...
关键词：微机电系统 Mirau显微干涉仪 面内运动 离面运动 频闪照明 
利用光切方法测量微结构的三维微运动
《光学技术》2005年第4期568-571,574,共5页郭彤 胡春光 胡晓东 栗大超 金翠云 傅星 胡小唐 
国家863计划资助项目(2004AA404042)
微结构动态特性的测试方法对研发可靠的、能市场化的微机电系统(MEMS)是必需的。开发出了一种测试系统,能使微结构的三维运动可视化。系统包括:利用光学显微镜来实现微结构的放大,并将图像投影到CCD摄像机上;利用光切方法来获取一系列图...
关键词：微机电系统 微运动 光切技术 频闪照明 
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