云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家重点基础研究发展计划(2003CB716206)

国家重点基础研究发展计划(2003CB716206): 作品数：54被引量：277H指数：9; 导出分析报告; 相关作者：陈学东周云飞李群明段吉安严思杰更多>>; 相关机构：华中科技大学中南大学广西大学郑州轻工业学院更多>>; 相关期刊：《组合机床与自动化加工技术》《武汉理工大学学报》《电气传动》《光学精密工程》更多>>; 相关主题：磁悬浮超精密模态试验有限元分析PID控制更多>>; 相关领域：自动化与计算机技术机械工程理学一般工业技术更多>>

电磁力的精确建模及参数辨识被引量：3: 《现代制造工程》2010年第10期115-118,126,共5页丁征宇周海波郭宁平; 国家973重点基础研究发展计划项目(2003CB716206); 传统磁悬浮平台电磁铁的电磁力模型一般是在理想情况下建立的,如果需要建立精确的模型,漏磁通、气隙边缘效应等影响不能理想化。在考虑漏磁通、气隙边缘效应等因素的情况下,对某一具体磁悬浮平台进行精确建模。基于此模型,对平台进行悬...; 关键词：气隙边缘效应漏磁通卡尔曼滤波参数辨识

输入整形信号控制柔性机构残余振动被引量：2: 《噪声与振动控制》2009年第2期42-45,共4页马西良毛瑞卿; 国家973重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716206); 以单级直线摆为实验对象,设计ZV、ZVD及EI型整形器,并把输入整形算法应用到单级直线摆的点到点运动中,研究柔性机构作点到点运动到达指定位置时残留振动的抑制。通过整形前后运动终点的摆杆摆角的对比,ZV、ZVD及EI型整形都有效的抑制了...; 关键词：振动与波输入整形残余振动直线摆柔性机构

直线驱动系统中前馈质量与电机常数校准研究被引量：5: 《电气传动》2009年第5期43-46,共4页滕伟周云飞朱庆杰; 国家自然科学基金项目(50245011);国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716206); 针对直线驱动系统,提出一种新的加速度前馈控制策略及前馈质量与电机常数的校准算法。首先,对传统前馈控制与新的控制策略之优缺点进行了对比,又介绍了直线驱动中的运动控制系统,提出一种精确计算前馈质量与电机常数的校准算法,以补偿...; 关键词：直线驱动前馈控制前馈质量电机常数

新型磁悬浮运动平台力学分析与控制被引量：6: 《控制工程》2009年第2期151-153,158,共4页段吉安齐斌廖平; 国家973计划基金资助项目(2003CB716206); 为了设计最佳控制参数对两级磁悬浮运动系统进行稳定可靠的悬浮控制,运用动力学时域和频域分析理论对系统进行分析。经理论推导将系统差动式结构电磁力模型等效为质量-弹簧-阻尼二阶系统。并运用ANSYS软件对等效模型进行刚度和瞬态响应...; 关键词：磁悬浮 PID控制力学分析

步进扫描投影光刻机同步机制研究被引量：9: 《中国机械工程》2009年第1期20-23,43,共5页杨亮亮周云飞潘海鸿罗福源; 国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716206); 分析了步进扫描投影光刻机的同步运动过程,将各个分系统分为同步主系统和同步从系统,采用串行同步总线实现了同步主系统的状态发布;分析了分系统与自身数据采集系统的同步通信,采用高速串行传输链路实现了分系统与远程数据采集系统的数...; 关键词：步进扫描投影光刻机同步控制状态同步高速高精运动控制

存在匀速段的三阶轨迹规划及运动重叠实现被引量：7: 《机械科学与技术》2009年第1期111-116,共6页滕伟周云飞穆海华; 国家自然科学基金项目(50245011);国家重点基础研究发展计划973项目(2003CB716206)资助; 针对半导体加工行业中高精度、高效率的特点,提出两类运动模式,一类是存在匀速段加工操作的工作运动,一类是为加工操作服务的准备运动。研究一种针对工作运动的三阶轨迹规划算法,确保被控对象能精确的以指定速度到达指定位置进行加工操...; 关键词：准备运动工作运动轨迹规划切换时间运动重叠

二维高精度磁悬浮定位平台的研究被引量：9: 《西安交通大学学报》2008年第11期1377-1381,共5页景敏卿刘恒梁金星虞烈; 国家重点基础研究发展规划资助项目(2003CB716206); 为了解决传统精密机械支承平台由于传动副的间隙、摩擦以及传动杆件弹性变形等引起的运动与定位误差问题,研制了具有"近零摩擦"运动副的高精度磁悬浮二维定位平台样机.该定位平台采用两层结构,最大行程500 mm,每层平台均采用结构相同的...; 关键词：磁悬浮定位平台 PID控制磁悬浮

The multi-motion-overlap algorithms for minimizing the time between successive scans of wafer stage: 《High Technology Letters》2008年第3期282-288,共7页潘海鸿 Chen Lin Li Xiaoqing Zhou Yunfei; the National Basic Research Program of China(No.2003CB716206);the National Natural Science Foundation of China(No.50605025); In order to optimize the transitional time during the successive exposure scans for a step-and-scan lithography and improve the productivity in a wafer production process, an investigation of the motion trajectory pla...; 关键词：multi-motion-overlap algorithm minimizing time successive exposure scans wafer stage step-and-scan lithography

新型挤压膜气体轴承的研究被引量：3: 《西安交通大学学报》2008年第7期799-802,共4页景敏卿刘恒沈园虞烈; 国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716206); 为了有效地克服传统气体轴承的缺点,利用超声波悬浮以及压电效应,研制了一种新型的挤压膜气体轴承.通过对弯曲振动模式下挤压膜轴承可悬浮质量与影响参数的关系讨论,选用硬铝金属外壳、锆钛酸铅压电陶瓷来设计挤压膜轴承的核心——压电...; 关键词：挤压膜气体轴承压电弯曲换能器悬浮支承

磁悬浮运动平台的PID控制被引量：9: 《现代制造工程》2008年第6期79-82,共4页戴利明齐斌周海波秦克利; 国家973重点基础研究发展计划项目(2003CB716206); 磁悬浮运动平台采用磁悬浮技术将运动部件悬浮在运行导轨之上,从而实现平台的近零摩擦高速高精密运动。运用比例、积分、微分(PID)控制算法,通过选用合理的增益系数,对平台实现了精确悬浮控制和稳定性控制。实验结果与分析表明,基于PID...; 关键词：磁悬浮 PID控制稳定精度

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