真空微电子压力传感器

作品数：8被引量：20H指数：3
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：夏善红陈绍凤温志渝陶新昕徐世六更多>>
相关机构：中国科学院电子学研究所重庆大学中国电子科技集团第二十四研究所安徽工程大学更多>>
相关期刊：《压电与声光》《微纳电子技术》《液晶与显示》《电子与信息学报》更多>>
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真空微电子压力传感器的研制被引量：7
《光学精密工程》2004年第6期603-607,共5页温志渝 温中泉 徐世六 刘玉奎 张正元 陈刚 杨国渝 
"863"MEMS重大专项(2002AA404080)资助课题;教育部科学技术研究重大项目(0216)资助课题;重庆市"十五"攻关项目资助课题;微米/纳米加工技术国家重点实验室基金资助课题;国防科技模拟集成电路实验室资助课题。
提出了一种带过载保护功能的真空微电子压力传感器。对传感器的压力敏感膜尺寸、阴阳极间距等结构参数进行了分析计算;针对过载保护的问题,在结构上设计了过载保护环,实现了真空微电子压力传感器的过载自保护功能。采用硅的干、湿法结...
关键词：压力传感器 过载保护 场致发射阴极锥尖阵列 各向异性腐蚀 
一种新型的锥尖制作方法研究
《压电与声光》2003年第4期344-346,共3页欧益宏 温志渝 周民来 
主要介绍利用反应离子腐蚀和等离子腐蚀相结合的方法制作真空微电子压力传感器中锥尖阵列。探讨合理选择制作材料,优化锥尖形状,锐化锥尖尖度,以提高传感器灵敏度,增大阴极锥尖的发射电流。测试结果表明:优化的锥尖发射电流在电压为3V...
关键词：真空微电子压力传感器 阴极锥尖 反应离子腐蚀 等离子腐蚀 发射电流 制作方法 
真空微电子压力传感器阵列数据采集研究
《微纳电子技术》2003年第7期435-437,共3页潘银松 温志渝 梁玉前 蒋子平 
国家高技术研究发展计划 (863计划 )(2 0 0 2AA43 10 80 )资助项目;国家教育部(0 2 16)资助项目
阐述了真空微电子压力传感器阵列的工作原理和工作波形。设计了一种供真空微电子压力传感器阵列器件使用的 12位A/D数据采集系统。系统采用微机为主控单元 ,地址发生和时序控制部分采用可编程逻辑器件 (CPLD)实现 ,提高了设计的灵活性 ...
关键词：真空微电子 压力传感器阵列 数据采集 MEMS 工作原理 可编程逻辑器件 电路板设计 
硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试被引量：1
《液晶与显示》2002年第1期34-38,共5页陈绍凤 夏善红 
国家自然科学基金资助项目 ( 6 9871 0 2 9);"86 3"计划资助项目 ( 5 1 2 0 5 1 0 0 1 9);"973"国家重大课题资助项目 (G1 9990 331 0 2 )
封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ,在计算机模拟计算的基础上 ,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ,得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ,电压 45...
关键词：真空微电子压力传感器 压力特性 测试 硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极 计算机模拟 
一种新型真空微电子压力传感器的研制被引量：6
《微电子学》2001年第2期97-99,120,共4页张正元 徐世六 温志渝 张正璠 黄尚廉 
采用各向异性腐蚀与各向同性腐蚀相结合的技术和特殊的硅 -硅键合技术 ,成功地研制出了一种新型真空微电子压力传感器。测试分析结果表明 ,该传感器反向击穿电压达到 1 0 0 V;在加 3V正向电压时 ,其单个锥尖发射电流为 0 .2 n A;在 2 5...
关键词：微电子传感器 真空压力传感器 各向异性腐蚀 
阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究被引量：2
《电子与信息学报》2001年第1期81-84,共4页陶新昕 夏善红 苏杰 陈绍凤 
国家863计划;国家自然科学基金
该文提出了“阴极-敏感薄膜复合”结构的新型真空微电子压力传感器,并研制出了“阴极-敏感薄膜复合”结构,对硅薄膜在外力作用下产生的形变及其应力分布进行了计算机模拟计算,并讨论了薄膜结构参数对其敏感特性的影响。
关键词：真空微电子 压力传感器 阴极-敏感膜 
新型真空微电子压力传感器特性研究和实验制作被引量：5
《Journal of Semiconductors》1997年第12期901-906,共6页夏善红 刘加 陈绍凤 韩泾鸿 崔大付 
中国科学院院长基金;国家自然科学基金!69674030
本文提出并研究了新型的“台阶阴极”和“曲面阴极”真空微电子压力传感器，与普通的真空微电子压力传感器相比，新型传感器的阴极发射电流大大提高，使得输出信号易于检测，抗噪声能力增强，并在改善输出信号线性、提高灵敏度和扩展量...
关键词：压力传感器 真空微电子器件 VME 
台阶阵列阴极真空微电子压力传感器研究
《功能材料与器件学报》1996年第3期182-186,共5页夏善红 崔大付 韩泾鸿 陈绍凤 王利 
本文提出并研究了一种新型台阶阵列阴极真空微电子压力传感器。与平面阵列阴极真空微电子压力传感器相比，该传感器在扩展量程和提高灵敏度方面有较大的潜力。作者展示了计算机模拟计算结果和部分实验结果。
关键词：真空微电子 压力传感器 台阶阵列阴极 传感器 
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