云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 等离子体源

等离子体源: 作品数：252被引量：450H指数：10; 导出分析报告; 相关领域：理学金属学及工艺更多>>; 相关作者：雷明凯李广宇熊紫兰谢锦林王友年更多>>; 相关机构：大连理工大学细美事有限公司东京毅力科创株式会社朗姆研究公司更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金辽宁省自然科学基金更多>>

EAST-CTI测试平台上六硼化镧等离子体源的研制: 《核聚变与等离子体物理》2024年第1期24-29,共6页孟凡卫张小辉胡广海孔德峰叶扬黄艳清齐美彬赵志豪李博董期龙; 国家重点研发计划(2017YFE0300500,2017YFE0300501);国家自然科学基金(11905143);合肥综合性国家科学中心能源研究院(19KZS205,21KZS202);安徽高校协同创新项目(GXXT-2021-014,GXXT-2021-029);中国科学院合肥科学中心卓越用户计划(2020HSC-UE008);中央高校基本科研业务费专项(PA2021GDSK0073)。; 为了更方便和深入研究紧凑环注入(CTI)系统产生的等离子体团在等离子体中的演化过程,特设计了一套大尺寸、均匀的六硼化镧等离子体源,用来产生磁化、高密度等离子体。等离子体源的阴极采用钨丝间接加热的方式来达到工作温度,阴极最高可...; 关键词：EAST-CTI 六硼化镧阴极等离子体源磁化等离子体

PLASMA IMMERSION ION IMPLANTER FOR THE MODIFICATION OF INDUSTRIAL AEROSPACE COMPONENTS: 《核聚变与等离子体物理》2003年第3期186-192,共7页TONGHong-hui CHENQin-chuan HUOYan-feng WANGKe FENGTan-min MULi-lan ZHAOJun PaulKChu; SupportedpartlybyHongKongResearchGrantsCouncilCERG(No.9040498/CityU10 32/00Eand904 0577/CityU1013/0 1E)andCityUniversityofHongKongSRG(No.7001177); A commercial plasma immersion ion implanter has been designed and constructed to enhance the surface properties of parts and components used in aerospace applications. The implanter consists of a vacuum chamber, pumpi...; 关键词：等离子体沉积离子注入薄膜沉积等离子体源

高密度等离子体工艺总体模型初探: 《核聚变与等离子体物理》2001年第1期7-12,共6页杨银堂李爱军; 国防科技预研基金资助项目 !( 99J8 3 2DZ0 137);教育部"跨世纪优秀人才基金"资助项目; 介绍了与高密度等离子体工艺相关的模型和数值模拟方法 ,即连续流和动力学方法。在漂流扩散方程的连续流模型和单元粒子蒙特卡罗碰撞动力学模型的基础上 ,提出了一个等离子体工艺模型。讨论了对等离子体鞘层、等离子体刻蚀和淀积过...; 关键词：等离子体数值模拟等离子体工艺连续流动力学总体模型等离子体源

新型大面积电磁表面波等离子体源被引量：3: 《核聚变与等离子体物理》1999年第2期101-104,共4页吴丛凤朱晓东武帅詹如娟; 国家自然科学基金; 研制了一种新型电磁表面波等离子体源，并对其参数和特性进行了实验研究。实验结果表明，该源在２３０Ｐａ以下的气压范围内成功地产生了直径在１６０ｍｍ以上、电子密度达１０１０－１０１１ｃｍ－３、电子温度只有几电子伏特的大面积...; 关键词：电子温度电磁表面波等离子体源

ECR等离子体源中基本参数的数值模拟被引量：6: 《核聚变与等离子体物理》1998年第2期36-40,共5页刘明海胡希伟吴汉明; 国家自然科学基金;LWTZ-1298经费; 采用混合模型求解了ＥＣＲ等离子体源中的各种物理参量，着重研究了中性气压、微波功率对等离子体参数（如等离子体密度、电子温度、等离子体电势）以及离子能量和方向角分布的影响，并讨论了与之相关的均匀性。; 关键词：ECR 等离子体源粒子模拟参数数值模拟

辉光放电等离子体源离子注入的蒙特卡罗模拟: 《核聚变与等离子体物理》1997年第4期12-18,共7页李百贵; 河北省教委科学研究计划基金; 用蒙特卡罗方法，模拟计算了辉光放电等离子体源离子注入平面靶表面的能量分布和入射角分布。研究了靶室不同气压和不同温度下能量分布和入射角分布的变化。; 关键词：辉光放电离子注入蒙特卡罗方法等离子体源

ECR微波等离子体源离子输运的蒙特卡罗模拟: 《核聚变与等离子体物理》1997年第4期36-40,共5页温晓军宫野王德真邓新绿; 国家自然科学基金; 采用蒙特卡罗方法，模拟了ＥＣＲ微波等离子体源中离子离开放电室后历经中性区、鞘层区，最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程。研究了鞘层边界处的衔接问题，得到了自洽电势分布和鞘层区不同位置处的速度分布、能量分布与角分布。同...; 关键词：蒙特卡罗模拟 ECR 等离子体源离子输运

MEVVA放电在材料表面改性上的应用被引量：1: 《核聚变与等离子体物理》1996年第1期31-35,共5页高玉耿漫黄遇明龚晓荣于毅军唐德礼铁军; 本文描述了金属蒸发真空弧（ＭＥＶＶＡ）放电的特点、阴极弧等离子体的形成过程．以及与加热蒸发电离方式相比ＭＥＶＶＡ放电的优越性。文章还叙述了建造的ＭＥＶＶＡ离子源的实用参数、工作过程及ＭＥＶＶＡ等离子体源在全方位离子注...; 关键词：等离子体源材料表面改性阴极弧放电

等离子体源离子注入鞘层时空演化的研究被引量：8: 《核聚变与等离子体物理》1995年第4期8-13,共6页于炯宫野王德真; 国家自然科学基金;国家"863"高科技青年基金; 本文使用流体动力学模型，研究了平板、柱形和球形靶的无碰撞及碰撞等离子体鞘层的时空演化，得到了鞘层边界演化、靶表面的离子注入电流密度和离子注入平均动能等参量。; 关键词：等离子体源离子注入鞘层数值计算

PSII技术中考虑靶表面二次电子发射的等离子体鞘层演变: 《核聚变与等离子体物理》1995年第3期53-57,共5页童洪辉; 本文建立了ＰＳＩＩ技术中靶表面有二次电子发射的等离子体鞘层演变平板模型。在某些简化下，对随时间变化的鞘层边界位置和速度作了计算。计算表明，靶表面二次电子发射对鞘层演变影响很小，可忽略不计，这跟实验是相符的。; 关键词：二次电子发射鞘层演变等离子体源离子注入

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