体声波滤波器

作品数：36被引量：59H指数：4
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相关作者：马晋毅刘娅庞慰徐阳蒋平英更多>>
相关机构：诺思(天津)微系统有限责任公司中国电子科技集团第二十六研究所三星电机株式会社电子科技大学更多>>
相关期刊：《真空科学与技术学报》《强激光与粒子束》《Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering)》《中国高新科技》更多>>
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高频薄膜体声波滤波器设计方法
《现代电子技术》2025年第8期25-29,共5页赵睿 刘莹玉 杨宇军 吴道伟 
国家重点研发计划项目(2023YFB4404105)。
针对无线通信系统对高频化和集成化滤波器的需求,提出一种高频薄膜体声波滤波器设计方法。基于空腔型薄膜体声波谐振器(FBAR)结构,在空气腔上方建立有效压电复合薄膜结构模型,通过COMSOL Multiphysics仿真分析FBAR各层结构对频率特性的...
关键词：薄膜体声波谐振器 高频滤波器 多物理场仿真 等效电路模型 先进设计系统 MBVD 
空腔型薄膜体声波滤波器的关键技术进展
《无机材料学报》2025年第2期128-144,共17页陶桂龙 支国伟 罗添友 欧阳佩东 衣新燕 李国强 
国家重点研发计划(2022YFB3604500,2022YFB3604501)。
随着通信技术升级以及5G通信应用的驱动,各种智能设备所需的滤波器数量激增,促进了滤波器市场的繁荣,但对其性能要求也越来越高,例如大带宽、高频率、高功率容量、微型化、集成化以及低成本等指标是学术界与产业界重点关注的方向,而基...
关键词：FBAR滤波器 理论研究 AlN压电薄膜 技术融合 综述 
金锡键合在薄膜体声波滤波器晶圆级封装中的研究
《压电与声光》2024年第3期339-342,共4页金中 张基钦 吕峻豪 阮文彪 刘娅 甑静怡 孙明宝 孙彦红 
薄膜体声波滤波器(FBAR)作为一种无源、体积小和耐功率高的器件,被广泛应用于射频信号处理中。晶圆级气密封装作为小型化封装的代表,在各种高可靠性应用场景中占据重要地位。金-金键合和金-锡键合被广泛应用于薄膜体声波滤波器的气密性...
关键词：薄膜体声波滤波器 晶圆级封装 金锡键合 
三维体声波滤波器芯片电-力-热耦合建模与仿真
《中国高新科技》2024年第8期84-85,94,共3页陈士涛 洪思成 赵烁 汪伟 赖志国 左成杰 
国家自然科学基金青年项目(62001002);安徽省博士后基金(2022A573)。
为了直接、高效地建模和分析实际复杂的三维(3D)体声波(BAW)滤波器结构电-力-热耦合效应,文章采用一种基于有限元方法的电-力-热耦合算法。首先,建模BAW滤波器的3D几何模型,设置几何结构内部的材料属性以及材料参数。其次,构建基于有限...
关键词：BAW滤波器 有限元方法 电-力-热耦合算法 力-热分析 
薄膜体声波滤波器的离子束刻蚀修频工艺
《微纳电子技术》2024年第1期168-174,共7页时鹏程 张智欣 张倩 冯志博 倪烨 于海洋 
薄膜体声波滤波器因设计模型与器件性能存在匹配度问题及制造过程中各工序的累计误差导致频率一致性差,严重影响了产品良率,因此实现晶圆级别的频率修整十分必要。介绍了离子束刻蚀工艺的原理、技术特点与优势,研究了刻蚀电压、刻蚀电...
关键词：薄膜体声波滤波器 离子束刻蚀 频率修整 刻蚀速率 膜厚修整 
高性能温补型薄膜体声波滤波器的研制被引量：1
《压电与声光》2023年第6期795-799,共5页刘娅 陈凤 黄晶 黄龙 吕峻豪 孙明宝 马晋毅 
该文研制了一种高性能温补型薄膜体声波谐振(TC-FBAR)滤波器。采用COMSOL软件对高性能温补型结构的谐振器进行建模和仿真,在常规一维Mason等效电路模型的基础上进行修正,再在ADS中对滤波器进行仿真优化设计,得到阶梯型结构的TC-FBAR滤...
关键词：温补型薄膜体声波谐振器(TC-FBAR) 滤波器 温补层 频率温度系数(TCF) 
基于改进人工蜂群算法的体声波滤波器自动布局
《计算机应用研究》2023年第12期3660-3665,共6页谭鹏辉 郭辉辉 安嘉乐 刘婷婷 
气动噪声控制重点实验室开放基金资助项目(2201ANCL20220305);四川省科技厅应用基础研究项目(2021YJ0105)。
针对体声波(BAW)滤波器布局中芯片面积利用率低、设计周期长、制造成本高等问题,提出了一种基于改进人工蜂群算法的BAW滤波器自动布局方法。首先,构建了自动布局的评价模型,通过结合利用圆形容器的顺序布局和基于旋转角度编码的聚拢布...
关键词：BAW滤波器 改进人工蜂群算法 自动布局 顺序布局 聚拢布局 
大于3 GHz超宽带FBAR滤波器结构设计与仿真被引量：1
《压电与声光》2023年第5期663-666,共4页陈功田 谢若渊 孙景 张伟 杨斌 
湖南省重点研发计划资助项目(2022GK2038)。
该文提出了一种获得相对带宽约为70.61%的基于氮化铝薄膜的超宽带薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器的设计方法,即在中心频率为6.5 GHz下滤波器的带宽为4.835 GHz。仿真分析表明,通过串并联电感的方式,并在电感端串并联电容,可消除因增加电...
关键词：薄膜体声波谐振器 FBAR滤波器 超宽带体声波滤波器 氮化铝 
基于AlN的体声波滤波器材料、器件与应用研究进展被引量：5
《人工晶体学报》2022年第9期1691-1702,共12页欧阳佩东 衣新燕 罗添友 王文樑 李国强 
广东省重点领域研发计划(2019B010129001)。
在5G通信时代,体声波(BAW)滤波器件成为实现高性能射频(RF)滤波的有效解决方案。在当前BAW器件发展最成熟的薄膜体声波谐振器(FBAR)技术和专利被少数几家公司持有的大环境下,对压电薄膜生长、器件的制备工艺等方面进行突破,形成独有的BA...
关键词：ALN薄膜 体声波滤波器 材料生长 设备制造 单晶AlN的体声波谐振器 
温补型体声波滤波器设计与制备
《压电与声光》2022年第2期242-245,共4页张智欣 陈晓阳 陈长娥 闫鑫 林树超 
基于薄膜体声波谐振器(FBAR)技术的滤波器频率温度系数为(-30~-25)×10^(-6)/℃,其电学性能受环境温度影响较大,将降低滤波器在全温工作的性能,限制其应用环境,尤其是对滤波器通带插损与矩形系数要求高的应用场合。该文在常规FBAR滤波...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 滤波器 温补层 SiO_(2) 频率温度系数 
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