片子

作品数：214被引量：55H指数：4
导出分析报告
相关领域：艺术文化科学更多>>
相关作者：宋骏张伟朱晓敏徐海波王骏更多>>
相关机构：海宁市倍世环保科技有限公司吉莱特公司字节跳动有限公司平凉市老兵科技研发有限公司更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家电网公司科技项目河南省自然科学基金国家中医药管理局中医药标准化项目国家科技基础性工作专项更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=电子工业专用设备x
共 条 记 录，以下是1-5
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
双面刷洗将成为下一代器件片子清洗工艺的主流
《电子工业专用设备》1998年第3期20-22,共3页谢中生 
阐述ＰＶＡ双面刷洗的机理、性能特点和应用领域，同时指出其在０３５μｍ器件圆片清洗工艺中的发展前景。
关键词：圆片清洗 PVA双面刷洗 半导体器件 
用于计量片子工作台线性和角位移的激光干涉仪被引量：1
《电子工业专用设备》1997年第4期54-56,共3页
用于硅片台计量的二维测量干涉仪已被开发出来。它能同时测量线性位移和角位移，它被设计成置于密闭的环境中，减少了工作台质量，消除了热源，并能提供高分辨率和偏转速率。
关键词：激光干涉仪 干涉仪 工作站 硅片 
片子自动传输机械手被引量：4
《电子工业专用设备》1997年第1期39-42,共4页胡耀臻 
本文扼要介绍了几种半导体最新精密机械手的性能和用途
关键词：机械手 硅片 无振动传输 光刻技术 
半导体片子清洗技术及设备被引量：1
《电子工业专用设备》1996年第4期1-6,共6页杨顺 
本文概述了在ＩＣ制造中，半导体片子清洗的重要性、发展历史和现状。对湿法清洗与干法清洗进行比较，并着重介绍清洗技术和设备的发展趋势。
关键词：IC 制造工艺 清洗 
Surfscan系列片子表面质量检查仪器
《电子工业专用设备》1989年第4期38-42,50,共6页杨建忠 
本文概述了美国TENCOR仪器公司近年来推出的Surfscan系列片子表面质量检查仪器,及其适用范围和主要技术特点。
关键词：检查仪 表面质量 片子 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部