微传感器

作品数：328被引量：985H指数：15
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基于MEMS的结构监测无线传感器网络研究进展被引量：4
《压电与声光》2010年第4期692-696,共5页魏康林 温志渝 赵新强 张中卫 曾甜玲 
国家"八六三"计划基金资助项目(2005AA404280)
为实现对重大工程结构健康的网络化在线监测,将多功能系统集成的微机电系统(MEMS)微传感器组成分布式无线信息测控网络,基于微机电系统(MEMS)技术的重大工程结构健康监测无线传感器网络是土木工程领域正在发展的技术前沿。该文介绍了国...
关键词：结构健康监测 无线传感器网络 微传感器 微机电系统(MEMS) 微能源 
微机电系统关键技术及其研究进展被引量：26
《压电与声光》2010年第3期513-520,共8页张冬至 胡国清 
华南理工大学优秀博士学位论文创新基金资助项目(200903023);国家留学基金委员会资助项目(2009615035)
微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集约了当今科学技术发展的许多尖端成果,在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔。该文介绍了微机电系统发展的背景...
关键词：微机电系统 微机械加工 微传感器 纳米制造 聚合物微机电系统(MEMS) 
用于微传感器中PZT压电薄膜的制备和图形化被引量：3
《压电与声光》2008年第4期453-455,共3页娄利飞 杨银堂 李跃进 
国家自然科学基金资助项目(90207022);武器装备预研基金资助项目(51411040105DZ0141)
采用溶胶-凝胶法在Si/Si3N4/Poly-Si/Ti/Pt基片上制备PZT压电薄膜,为了选择更适合微电子机械系统(MEMS)器件的压电薄膜,采用一般热处理和快速热处理对锆钛酸铅(PZT)压电薄膜进行干燥和结晶。首先,采用V(H2O):V(HCL):V(HF)=280 mL:120 mL...
关键词：锆钛酸铅(PZT) 压电薄膜 微传感器 湿法化学刻蚀 
微传感器制备中多孔硅牺牲层技术的研究
《压电与声光》2008年第2期187-189,共3页娄利飞 李跃进 杨银堂 汪家友 
国家自然科学基金资助项目(90207022);武器装备预研基金资助项目(51411040105DZ0141)
采用双槽电化学腐蚀法成功的制备了多孔硅,从多孔硅的SEM照片中发现,孔径尺寸小,均匀性好,腐蚀深度大(超过100μm),在极稀的弱碱溶液中就可以得到去除,然后对双槽化学腐蚀法中腐蚀时间及电流对腐蚀速率的影响进行了研究,最后进一步探讨...
关键词：多孔硅 牺牲层 MEMS 双槽电化学腐蚀法 
多孔硅制备方法新进展及在微传感器中的应用被引量：1
《压电与声光》2003年第6期521-524,共4页田斌 胡明 马家志 张之圣 
国家自然科学基金资助项目(60071027);天津市自然科学基金资助项目(02603811;983603711)
对近几年国内外出现的几种多孔硅制备方法和装置,特别是电化学方法如旋转电解槽法、电偶电流法和双电解槽法进行了详细的介绍,并对它们各自的优缺点进行比较和分析,认为电化学刻蚀技术因为其特殊的优势,将在以后的发展中得到更广泛的应...
关键词：多孔硅 制备方法 电化学 微传感器 
三维压电加速度传感器的设计被引量：7
《压电与声光》2003年第5期379-381,共3页黄朋生 任天令 楼其伟 刘建设 刘理天 
国家"九七三"基金(G1999033105);清华大学"九八五"基金
设计了一种基于MEMS的单片三维压电薄膜加速度传感器,传感器采用单一质量块和四方梁的高度对称结构。对传感器结构进行理论分析和计算,研究了传感器设计中几个因素间的相互制约关系。用有限元软件ANSYS进行了不同加速度条件下传感器的...
关键词：三维加速度计 微传感器 压电薄膜 PZT MEMS 
微机械加工技术在微传感器中的应用被引量：7
《压电与声光》2002年第4期268-270,302,共4页胡明 马家志 邹俊 张之圣 
随着微传感器的广泛应用 ,微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中。从微机械加工技术的关键工艺入手 ,分别对体微机械加工技术和表面微机械加工技术加以介绍 。
关键词：微机械加工技术 微传感器 微电子机械系统 MEMS 各向异性腐蚀 多晶硅 
压电微悬臂在原子力显微镜中的应用被引量：3
《压电与声光》1998年第4期245-259,共15页包定华 张良莹 姚熹 
国家自然科学基金
微悬臂是原子力显微镜中最重要的部件之一。用压电微悬臂代替常用的Ｓｉ、ＳｉＯ２或Ｓｉ３Ｎ４微悬臂后的原子力显微镜有一些独特的优点。由于压电微悬臂中的压电薄膜具有压电效应，因此它既可致动微悬臂，又可探测微悬臂的位移量，使...
关键词：压电薄膜 压电微悬臂 原子力显微镜 微传感器 
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