微机械陀螺仪

作品数：117被引量：355H指数：9
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基于改进PSO优化LSSVM的MEMS陀螺随机漂移预测被引量：5
《传感技术学报》2016年第6期854-858,共5页孙田川 刘洁瑜 康莉 杨浩天 
提出一种基于改进粒子群算法(PSO)优化最小二乘支持向量机(LSSVM)的MEMS陀螺随机漂移的预测模型建立方法。该方法首先应用最小二乘支持向量机对MEMS陀螺随机漂移建立预测模型,然后应用改进粒子群算法对该模型进行优化,最后应用参数优化...
关键词：微机械陀螺仪 最小二乘支持向量机 改进粒子群优化算法 随机漂移 
电容式微机械陀螺仪信号检测电路被引量：6
《传感技术学报》2013年第6期878-882,共5页张云福 吕梦琴 罗亮 李荣宽 
提出了一种电容式微机械陀螺仪信号检测方案。该方案与将信号调制到高频后再检测的方案不同,所提方案只需在质量块上加一稳定直流电压,然后与敏感前端CV转换电路相连接,完成电容变化信号到电压信号的检测,因此,简化了电路结构,并且可以...
关键词：微机械陀螺 检测电路 仿真 电容分辨率 
介观压阻效应电磁驱动微机械陀螺仪的设计与测试
《传感技术学报》2010年第12期1700-1703,共4页王瑞荣 杜康 石云波 刘俊 
国家自然科学基金资助(50675212);重点实验室基金资助(9140C1204021008)
将共振隧穿二极管具有的介观压阻效应与哥氏效应结合应用于陀螺的设计中,提出了一种新型的采用回折型正交梁的陀螺结构。结合现在的工艺水平,设计了合理的加工工艺方案,并进行了加工与封装。通过对封装后的陀螺进行驱动方向测试,得到了...
关键词：介观压阻效应 微机械陀螺 驱动测试 检测测试 
硅微机械陀螺仪模拟信号检测技术研究被引量：9
《传感技术学报》2009年第4期495-498,共4页钟舟 黄丽斌 杨波 
国家自然科学基金资助(40804015);面向惯性重力组合导航的海洋重力信息处理方法研究基金资助(200802861060);硅微陀螺仪的芯片级温控技术研究基金资助(200802861063);总装备部"十一五"预研课题资助(6922002055)
在陀螺测控中,信号的检测电路具有非常重要的地位,其性能直接影响着陀螺的精度。分析了几种微机械陀螺仪的模拟信号检测技术,指出了其中的不足。设计了一种针对硅微机械陀螺仪的信号检测电路,给出了设计方案的原理框图,详细分析了方案...
关键词：微机械陀螺仪 信号检测 同步解调 带通 载波 
一种双线振动硅微机械陀螺仪驱动检测电路设计被引量：2
《传感技术学报》2008年第12期2009-2013,共5页张祺炜 杨波 李宏生 
国防预研基金资助项目(9140A09020807JW06)
以一种双线振动硅微机械陀螺仪为研究对象,设计了驱动、检测电路,达到了一定的性能要求。驱动模态使用自激振荡的闭环控制方式,使陀螺稳定工作在其固有频率上。在载波和驱动环节使用了一种AGC技术,实现了载波信号和驱动模态的幅度的高...
关键词：硅微机械陀螺仪 闭环 自激驱动 AGC 相位修正放大电路 
对称解耦硅微陀螺仪结构设计研究被引量：5
《传感技术学报》2008年第3期435-438,共4页刘梅 周百令 夏敦柱 
硅微机械陀螺仪的驱动模态和敏感模态间的交叉耦合制约了其性能的提高。设计了一种对称解耦硅微机械陀螺仪,它的驱动机构与检测机构都做线性滑膜阻尼振动且完全解耦,使得驱动和敏感模态之间的耦合小、结构振动平稳性好、品质因数高。该...
关键词：硅微机械陀螺仪 对称解耦 结构设计 有限元仿真 
振动式微机械隧道陀螺仪的制备工艺
《传感技术学报》2008年第3期439-442,共4页王凌云 孙道恒 刘益芳 
国家自然科学基金资助(50675184);福建省科技计划重点项目资助(2002H022);回国留学人员基金资助;厦门大学新世纪优秀人才基金资助
振动梁式微机械隧道陀螺仪是一种以悬臂梁作为换能构件,以电子隧道效应为输出敏感方式的高精度和高灵敏的角振动传感器,解决了传统机械陀螺仪因尺寸减小而导致的灵敏度降低的缺点。结合微机械隧道陀螺仪的尺寸特点:硅尖与下电极的距离为...
关键词：微机械陀螺仪 隧道效应 DDSOG工艺 硅尖 
水平轴硅微机械陀螺仪机电接口模型的电容分析
《传感技术学报》2008年第3期480-482,共3页叶甫 王寿荣 程龙 
国家863项目资助(2002AA812038)
以水平轴硅微机械陀螺仪结构为对象,建立了陀螺仪机电接口的理论模型,分析了模型中杂散电容对输出信号的影响,并用电路分析软件对模型进行仿真。结果表明,陀螺仪活动结构与衬底、引线间的电容对输出信号的影响很大,最后提出了减小杂散电...
关键词：硅微机械陀螺仪 机电接口模型 杂散电容 仿真 
正交梁式隧道效应微机械陀螺仪的设计与仿真被引量：2
《传感技术学报》2007年第2期317-320,共4页罗源源 刘俊 李锦明 
武器装备预研基金项目资助(51409030405BQ0402);新世纪优秀人才支持计划资助(NCET-04-0259);山西省高等学校青年学术带头人资助项目
针对传统的角速率陀螺仪存在的缺点与不足,根据电子隧道效应的特点,设计了一种新型基于隧道效应的微机械陀螺仪,运用计算机辅助软件ANSYS对其进行了建模和仿真.把电子隧道原理应用到微机械振动陀螺中对振动位移进行检测,结构简单,功耗低...
关键词：微机械 电子隧道效应 隧道陀螺仪 仿真分析 
三轴微机械陀螺仪的结构设计与仿真被引量：6
《传感技术学报》2006年第05B期2212-2214,2219,共4页唐群 王寿荣 
提出了一种适应国内加工条件的三轴微陀螺仪,依据三轴陀螺的结构和工作原理,利用ANSYS有限元仿真软件对三轴陀螺的设计进行了计算和仿真.在此基础上,通过调节结构参数实现各轴驱动模态与敏感模态固有频率的匹配以提高各轴的灵敏度.最后...
关键词：三轴 微机械陀螺 ANSYS仿真 
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