多孔硅

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多孔硅负极的化学腐蚀制备
《稀有金属材料与工程》2015年第S1期213-216,共4页李抒威 伍晖 李勃 
国家自然科学基金(51302141)
锂离子电池因为具有较高的能量密度,良好的动力性能,较长的循环周期而被广泛应用于可充电便携设备,混合动力电动汽车,以及需要稳定电压的大型电子设备之中。这种能量来源在未来的发展中显示出了独有的优势。硅因为具有比碳高十倍的能量...
关键词：锂离子电池 硅负极 多孔结构 
粗糙表面的可控润湿性研究被引量：12
《传感技术学报》2006年第05A期1709-1712,共4页朱亮 冯焱颖 叶雄英 武雁斌 周兆英 
国家自然科学基金资助(50405001);传感技术联合国家重点实验室基金资助(skt0502);清华大学博士生科研创新基金资助
本文利用微机械加工技术,通过改变材料表面微观几何结构,研究材料表面微结构对于表观润湿性的影响规律.我们在以前工作的基础上,分别研究了不同设计尺寸的表面微柱阵列结构的亲水表面的表观接触角的变化,研究结果表明,通过改变材料表面...
关键词：超疏水表面 粗糙度 润湿性 微机械加工 多孔硅 
面向膜电极的选择性生成纳米级多孔硅技术的研究
《传感技术学报》2006年第05A期1477-1480,共4页王温静 王晓红 姜英琪 胡小龙 刘理天 
国家自然科学基金项目资助(90207023)
研究了面向微型燃料电池膜电极的多孔硅薄膜的制备工艺.多孔硅刻蚀工艺高效便宜,与标准CMOS工艺兼容.通过选择不同的衬底掺杂浓度和适当的电解液浓度能控制纳米(或微米)级多孔硅的孔径大小,得到适用于膜电极的纳米级孔径的多孔硅薄膜,...
关键词：多孔硅 微型燃料电池 膜电极 
用于RF无源器件的氧化多孔硅隔离层技术
《清华大学学报（自然科学版）》2005年第4期561-564,共4页陈忠民 刘泽文 刘理天 
国家"九七三"重点基础研究项目(G1999033105)
为了提高片上射频(RF)无源器件的性能,可以利用氧化多孔硅厚膜隔离硅衬底来降低硅衬底的高频损耗。通过采用SerenadeSV建模对共面波导传输性能的分析,计算了不同厚度的氧化多孔硅隔离层硅衬底的损耗。结果表明氧化多孔硅(OPS)隔离层能...
关键词：氧化多孔硅技术 电感 多孔硅 射频器件 损耗 
氧化多孔硅上制作Cu电感的研究被引量：1
《微细加工技术》2004年第4期50-55,共6页陈忠民 刘泽文 刘理天 李志坚 
国家973重点基础研究发展资助项目(G1999033105)
给出了一种厚膜氧化多孔硅(OPS)层上制作Cu电感的新型工艺技术。由于OPS是一种低损耗的材料,铜的电阻率很低,采用OPS隔离硅衬底和Cu线圈能够降低电感的寄生损耗,提高电感Q值。实验过程中将孔隙度>56%的多孔硅厚膜利用两步氧化法氧化为OP...
关键词：氧化多孔硅 电镀 电感 射频 
基于微机械的多孔硅牺牲层技术被引量：4
《固体电子学研究与进展》2004年第1期73-76,116,共5页周俊 谢克文 王晓红 刘理天 
国家 973基础研究项目 (G19990 3 3 10 5 )
多孔硅作为一种牺牲层材料 ,在表面硅微机械加工技术中有着重要的应用。文中综合讨论了三种不同的多孔硅牺牲层技术 ,并用后两种“在低掺杂衬底上的多孔硅牺牲层技术”,制作了良好的悬空微薄膜结构 ,同时对多孔硅表面的薄膜淀积 ,和制...
关键词：多孔硅 牺牲层 微机电系统 薄膜淀积 掩膜材料 
一种用于RF技术的厚绝缘层上的铜电感
《仪器仪表学报》2004年第z1期300-301,共2页陈忠民 刘泽文 刘理天 
国家973计划(G1999033105)资助项目。
提出了一种基于氧化多孔硅厚膜隔离技术的Cu电感。厚膜隔离层降低了电感的衬底损耗,提高了电感的Q值。实验中通过多孔硅氧化和电镀Cu制备了电感样品。微波测试显示,电感在2.8GHz的频率下Q值达到了4.5,电感值约为5nH,电感的自谐振频率为9...
关键词：电感 氧化多孔硅 射频 
多孔硅技术在硅基微型燃料电池中的应用被引量：1
《Journal of Semiconductors》2003年第B05期198-201,共4页王晓红 谢克文 周俊 刘理天 
多孔硅作为一种新型材料，利用其疏松多孔的特性及与IC加工的兼容性，将其用于硅微质子交换膜燃料电池的研究中，作为其电极扩散层，对多孔硅膜的性能、制备工艺及多孔硅膜表面金属淀积工艺进行了研究，提出一套基于MEMS加工技术和薄膜...
关键词：微型质子交换膜燃料电池 多孔硅 MEMS 
用于衬底隔离的选择性氧化多孔硅厚膜的制备被引量：1
《仪器仪表学报》2003年第z2期280-281,共2页陈忠民 刘泽文 刘理天 李志坚 
国家973计划资助项目(No.G1999033105)
对N^+型硅衬底上用于衬底隔离的选择性氧化多孔硅厚膜的制备进行了研究。实验过程中通过控制阳极氧化反应中HF溶液的浓度、电流密度和反应时间形成了不同厚度和孔隙度的多孔硅厚膜,并采用两步氧化的方法得到氧化多孔硅厚膜。实验得到的...
关键词：多孔硅 氧化多孔硅 射 频 
硅基法布里-珀罗微腔的室温发光
《Journal of Semiconductors》2003年第1期68-71,共4页王燕 但亚平 岳瑞峰 刘理天 
国家自然科学基金资助项目 (批准号 :60 1760 3 1)~~
提出了一种新型基于法布里 -珀罗 (F- P)微腔的发光器件结构 .它采用 PECVD方法制备的非晶硅 /二氧化硅结构作为微腔中的布拉格反射腔 ,非晶碳化硅薄膜作为中间光发射层 ,通过对一维方向光子的限制 ,使发光层荧光强度增强 ,谱线变窄 ....
关键词：硅基 法布里-珀罗微腔 室温发光 碳化硅 光致发光 多孔硅 
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