PLD法

作品数：80被引量：185H指数：7
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不同生长温度下Zn_(1-x)Sb_(x)O薄膜的结构与发光性能研究
《真空》2023年第3期18-23,共6页朱建华 潘婧 岳建明 郝丽萍 支鹏伟 贾哲 
国家卫健委“十三五”规划全国重点课题(NHFPC102018);山西省基础研究计划资助项目(202203021212018和202103021223008);山西省高等学校科技创新项目(2021L574);山西省教育科学“十四五”规划课题(GH-220045);院级课题(2021jg26和jg202214)。
采用固相反应法制备了不同比例的Sb掺杂ZnO靶材,并用脉冲激光沉积(PLD)法在Si(100)基底上制备了Zn_(1-x)Sb_(x)O薄膜。通过XRD、光致发光(PL)谱对所制薄膜进行了结构表征和性能分析,探讨了不同Sb掺杂量和不同生长温度对薄膜结晶质量和...
关键词：PLD法 Zn_(1-x)Sb_(x)O薄膜 光致发光 缺陷复合体SbZn-2VZn 非辐射复合 
PLD法制备ITO导电薄膜及其性能被引量：2
《微纳电子技术》2022年第2期180-186,共7页姚雪 谭秋林 
国家自然科学基金资助项目(U1837209,51875534);国家重点研发计划资助项目(2018YFB2003103)。
为了研制可用于高温环境下进行应变测量的应变层,采用脉冲激光沉积(PLD)法在陶瓷基底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜。研究了PLD法中不同基底温度对ITO薄膜显微结构、电学性能以及阻温特性的影响。采用X射线衍射仪(XRD)测试了薄膜的晶体结构...
关键词：脉冲激光沉积(PLD) 基底温度 氧化铟锡(ITO)薄膜 应变测量 电阻温度系数(TCR) 
不同激光能量和Zr/Ti比对PLD法制备PZT薄膜结晶质量的影响
《昆明冶金高等专科学校学报》2021年第3期7-12,共6页李瑛娟 滕瑜 宋群玲 杨志鸿 蔡川雄 张金梁 
云南省应用基础研究计划项目:稀土掺杂PZT压电陶瓷制备工艺及性能研究(2016FD064);昆明冶金高等专科学校科研基金项目:稀土掺杂PZT压电陶瓷制备工艺及性能研究(2015XJQN002)。
典型的压电材料Pb(Zr0.52Ti0.48)O3因其优异的性能,可用来制备各种类型的压电器件,一直受到许多研究者的关注。采用PLD法在SrTiO3(100)单晶衬底上制备出了不同组分的PZT薄膜,讨论了不同激光能量和Zr/Ti比对Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜结晶...
关键词：PZT薄膜 激光能量 Zr/Ti比 结晶质量 
PLD法硫化物半导体敏化TiO_(2)纳米棒阵列薄膜的研究进展
《当代化工研究》2021年第5期154-155,共2页孔书悦 罗艳花 吴楠 马成 李鹏 冶晓英 余鹏珍 
2020年度西北民族大学本科生科研创新项目(XBMU-BYL20128)。
量子点敏化太阳能电池(QDSSCs)相较于其它电池具有较高的理论转化效率(66%)且其生产成本相对较低,受到太阳能业界的广泛关注[1]。相较于其他太阳能电池,薄膜型电池可以降低太阳能发电的成本和缩小太阳能电池的体积,进而薄膜的制备成为...
关键词：量子点敏化太阳能电池 脉冲激光沉积 硫化物 
氧分压对PLD法生长Bi:YIG薄膜结构性能的影响
《吕梁学院学报》2020年第2期47-49,共3页王娟娟 
钇铁石榴石(YIG)磁光纳米薄膜由于其独特的磁光性能,在光隔离器方面有很广泛的应用前景.鉴于YIG在使用中磁光性能较弱的局限性,采用脉冲激光淀积PLD法,在硅基底上单步淀积生长了Bi掺杂的Bi1.5Y1.5Fe5O12纳米磁光薄膜,从而可以改善YIG在...
关键词：Bi1.5Y1.5Fe5O12纳米磁光薄膜 氧分压 物相结构 
PLD法制备ZnO薄膜的微观结构分析被引量：1
《热加工工艺》2018年第16期146-150,共5页孙彦清 娄本浊 
国家自然科学基金资助项目(41105107);陕西省教育厅科学研究计划基金资助项目(2013JK0617)
采用脉冲激光沉积法在玻璃基板上制备Zn O薄膜。利用XRD与SEM分析脉冲能量与基板温度对薄膜微观结构的影响。结果表明：脉冲强度为100 m J时,轰击下来的颗粒数量与尺寸适于沉积出（002）面结晶强度最大的Zn O薄膜;基板温度为300℃时,Zn ...
关键词：ZNO薄膜 脉冲激光沉积 微观结构 脉冲强度 基板温度 
PLD法制备0-3型xNZF-(1-x)BTO多铁复合薄膜及其极化行为研究（英文）被引量：1
《贵州大学学报（自然科学版）》2017年第6期14-20,共7页张荣芬 郭凯鑫 
贵州科技厅与贵州大学联合基金项目资助(黔科合LH字[2014]7612);贵州大学人才引进项目资助([2014]30)
在采用传统固相烧结工艺制备0-3型x Ni_(0.7)Zn_(0.3)Fe_2O_4-(1-x)BaTiO_3(x=0.00,0.15,0.30,0.45)多铁复合陶瓷靶材和采用PLD技术探索纯相BaTiO_3薄膜溅射工艺的基础上,本文在不同激光能量条件下分别在Pt(111)/Ti/SiO_2/Si、0.5%铌掺...
关键词：脉冲激光沉积 镍锌铁氧体-钛酸钡 极化 过程参数 
PLD法制备半球面均匀DLC膜的装置、仿真与实验被引量：1
《红外与激光工程》2016年第6期114-118,共5页程勇 陆益敏 郭延龙 黄国俊 王淑云 刘旭 曹海源 初华 杨雪 
由于激光烧蚀靶材形成的等离子体羽辉呈高斯分布,导致沉积的大面积薄膜尤其是球面衬底上的薄膜极不均匀,严重限制了脉冲激光沉积法的应用。设计构建了旋转与变速摆动相结合的三维衬底机构,实现对半球面不同区域的连续沉积,保证了膜层的...
关键词：均匀膜层 脉冲激光沉积 类金刚石膜 大口径半球面衬底 
PLD法在c面蓝宝石衬底上制备纤锌矿ZnS外延薄膜被引量：5
《功能材料》2016年第5期224-226,共3页张蕾 方龙 刘攀克 刘越彦 黎明锴 何云斌 
国家自然科学基金资助项目(51002049;61274010);湖北省教育厅优秀中青年人才资助项目(Q20120104)
采用脉冲激光沉积方法以ZnS为靶材c面蓝宝石为衬底制备了一系列的ZnS薄膜,并采用四圆单晶衍射仪研究了薄膜的晶体结构及其与衬底的取向关系。首先研究了沉积温度对ZnS薄膜质量的影响,结果表明,所有制备的ZnS薄膜均为六方纤锌矿结构;在...
关键词：脉冲激光沉积 ZNS薄膜 缓冲层 外延生长 晶体结构 
气压对PLD法在AlN/Si上外延生长的GaN性能的影响
《材料研究与应用》2016年第1期16-21,共6页朱运农 王文樑 杨为家 王海燕 李国强 
国家优秀青年科学基金(51422203);广东省杰出青年科学基金(S2013050013882);广东省重大科技专项(2014B010119001)资助项目
采用脉冲激光沉积（PLD）技术在AlN／Si异质结上外延生长GaN薄膜．研究了气压对GaN薄膜结构性能和表面形貌的影响，利用高分辨X射线衍射仪（HRXRD）、原子力显微镜（AFM）和扫描电子显微镜（SEM）对GaN薄膜的结构性能及表面形貌等进行...
关键词：气压 脉冲激光沉积 GAN 
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