压阻式压力传感器

作品数：187被引量：755H指数：14
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固支结构对压阻式压力传感器的输出影响研究
《仪表技术与传感器》2023年第10期7-14,共8页王宇峰 赵妍琛 雷程 梁庭 
山西省重点研发计划项目(202102030201001,202102030201009);山西省科技重大专项计划“揭榜挂帅”项目(202201030201004)。
针对MEMS压阻式压力传感器微型化发展过程中精度难以保证的问题,通过有限元仿真分析方法,研究固支结构、封装约束方法等变量对压力传感器输出的影响。结果表明,固支结构的引入会导致压敏电阻所处路径出现24.93%的应力偏差,不同封装方法...
关键词：MEMS压力传感器 压阻式压力传感器 有限元仿真 固支结构 
压敏电阻的热应力分析及结构优化被引量：2
《仪表技术与传感器》2023年第2期44-49,共6页王婧 雷程 梁庭 王丙寅 陈国锋 
山西省重点研发计划项目(202102030201001,202102030201009)。
为解决SOI压阻式压力传感器敏感芯片上电阻条因热应力堆积导致的断裂问题,通过在电阻条上容易堆积应力的弯折处建立平滑倒角的方式来降低热应力堆积,提高电阻条的热稳定性。利用多物理场耦合分析软件对有无倒角的2种结构进行仿真分析,...
关键词：压阻式压力传感器 热应力 敏感芯片 电阻条 耦合仿真 优化设计 
燃油蒸汽压力传感器的封装研究
《仪表技术与传感器》2022年第8期15-19,共5页杜奋豪 王冰 薛立伟 刘雨墨 张雯霞 陈立国 
为了实现面向汽车燃油蒸汽压力检测的压阻式微压传感器封装,应对其油污、振动的使用环境,减小封装结构应力对压敏芯片的影响,采用芯片背面承压,与电路集成在一块陶瓷基板上,再同塑料外壳组装成完整传感器的封装方式。通过仿真软件辅助设...
关键词：燃油蒸汽 压阻式压力传感器 有限元仿真 传感器封装 
基于信噪比的MEMS压力传感器设计与分析被引量：1
《仪表技术与传感器》2022年第2期1-6,20,共7页冒晓莉 吴其宇 张加宏 李敏 赵雪伟 
国家自然科学基金项目(41605120);江苏高校优势学科Ⅲ期建设工程资助项目(PAPD)。
为了研制高精度MEMS压阻式压力传感器,基于信噪比对其压敏结构进行了设计与分析。首先运用ANSYS有限元模拟仿真获得了不同压敏电阻结构芯片的应力分布,并对其噪声和信噪比进行了理论分析,发现在低频区闪烁噪声是传感器噪声的主要来源。...
关键词：MEMS压阻式压力传感器 噪声 信噪比 传感器结构分析 
单晶硅高温压阻式压力传感器被引量：6
《仪表技术与传感器》2020年第10期1-3,7,共4页吴沛珊 刘沁 李新 张治国 郑东明 
2019年辽宁省科技重大专项项目(2019JH1/10100022)。
适于高温环境应用的压力传感器的相关研究工作备受关注。以注氧隔离(SIMOX)技术SOI晶圆为基础,探讨了单晶硅高温压阻式压力传感器芯片和封装结构设计,在传感器国家工程中心OEM压力传感器制作工艺的基础上,完成传感器研制与测试。结果表...
关键词：高温压力传感器 注氧隔离 压阻效应 
一种改进型梁-岛-膜压力传感器的研究与设计被引量：5
《仪表技术与传感器》2019年第4期10-14,19,共6页郝建红 范宗皓 李艺 
国家自然科学基金项目(61372050);科技部区及科技合作项目(2011DFR00780)
研究了一种量程为800kPa的改进型梁-岛-膜结构MEMS压阻式压力传感器,通过与常见的C型和E型结构进行仿真对比,证明这种改进型结构的传感器灵敏度得到了很大提高。采用Intel liSuite仿真分析最大等效应力、挠度和输出电压,得出在中心膜尺...
关键词：压阻式压力传感器 压敏电阻 IntelliSuite 改进型梁-岛-膜结构 MEMS 灵敏度 
压阻式压力传感器灵敏度的仿真方法被引量：5
《仪表技术与传感器》2019年第2期4-8,共5页杨娇燕 梁庭 李鑫 林立娜 李奇思 赵丹 雷程 熊继军 
国家自然科学基金(51405454)
为了实现对压阻式压力传感器灵敏度的准确预估,针对传统中心点算法的不足,采用了一种基于对敏感薄膜应力分布的有限元仿真分析和路径积分的仿真方法。通过对电阻所在路径线积分计算电阻平均变化率,计算出不同压力下的输出电压。对2种不...
关键词：灵敏度 压阻式压力传感器 有限元仿真分析 敏感薄膜 路径积分 
一种压阻式压力传感器的温度补偿方法被引量：17
《仪表技术与传感器》2018年第6期1-4,10,共5页李冀 胡国清 周永宏 邹崇 吴翩卉 
国家科技重大专项项目(2015ZX03003010)
针对压阻式压力传感器的温度补偿问题,提出一种将样条插值与最小二乘拟合相结合的补偿算法,并结合传感器标定实验数据进行仿真试验。结果表明该方法相比曲面拟合方法、BP神经网络和RBF神经网络,补偿最大相对误差和平均补偿时间分别为0.1...
关键词：硅压阻式压力传感器 温度补偿 样条插值 最小二乘拟合 
无引线封装的SOI压阻式压力传感器设计被引量：9
《仪表技术与传感器》2017年第12期20-24,共5页李俊龙 朱平 
在SOI晶圆材料的基础上,设计了压力敏感结构,提高了传感器的高温稳定性;采用敏感芯片背孔引线技术,将硅敏感芯片的正面和硼玻璃进行气密性阳极键合,通过在硼玻璃对应位置加工电极连接孔,实现芯片电极与外部管脚的电气连接,形成无引线封...
关键词：无引线封装 绝缘体上硅(SOI) 压阻式压力传感器 背孔引线 有限元分析(FEA) 耦合仿真 
SOI压阻式压力传感器敏感结构的优化设计被引量：11
《仪表技术与传感器》2016年第6期15-18,共4页李旺旺 梁庭 张迪雅 张瑞 姚宗 贾平岗 
国家自然科学基金项目(51405454)
为提高SOI压阻式压力传感器的灵敏度,对传感器敏感结构的弹性膜片和压敏电阻的形状、尺寸等结构参数进行了优化设计。利用COMSOL Multiphysics多物理场耦合分析软件对优化后的敏感结构进行了静力学仿真与分析,完成了敏感芯片的制备和加...
关键词：SOI压阻式压力传感器 敏感结构 COMSOL Multiphysics分析 优化设计 
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