SIMOX

作品数：109被引量：79H指数：4
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SOI在射频电路中的应用被引量：2
《微电子学》2005年第1期67-70,共4页骆苏华 刘卫丽 张苗 狄增峰 王石冶 宋志棠 孙晓玮 林成鲁 
上海市纳米技术专项资助项目(052nm084)国家重点基础研究发展计划资助项目(G2000036506)国家自然科学基金资助项目(90101012)
随着射频电路(RF)工作频率和集成度的提高,衬底材料对电路性能的影响越来越大。 SOI(Silicon-on-Insulator)结构以其良好的电学性能,为系统设计提供了灵活性。与CMOS工艺的 兼容使它能将数字电路与模拟电路混合,在射频电路应用方面显示...
关键词：射频集成电路 高阻SOI FD-SOI CMOS SIMOX 
SIMOX硅片埋氧层垂直方向热导率的测量
《Journal of Semiconductors》2003年第10期1063-1066,共4页何平 刘理天 田立林 李志坚 董业明 陈猛 王曦 
国家自然科学基金 (批准号 :5 9995 5 5 0 1);国家重点基础研究专项经费 (编号 :G2 0 0 0 0 36 5 0 1)资助项目~~
提出了一种简单、有效而且准确的测量SOI硅片埋氧层垂直方向热导率的方法 ,并采用这种方法测量了用SIMOX工艺制作的SOI硅片的埋氧层垂直方向的热导率 .测量结果显示至少在 5 5nm以上的尺度上对于SIMOX硅片的埋氧层垂直方向经典的热导率...
关键词：SOI SIMOX 热导率 边界热阻 
Drain and Source on Insulator MOSFETs Fabricated by Local SIMOX Technology被引量：1
《Journal of Semiconductors》2003年第6期592-597,共6页何平 江波 林曦 刘理天 田立林 李志坚 董业明 陈猛 王曦 
国家自然科学基金 (批准号 :5 9995 5 5 0 -1);国家重点基础研究专项经费 (编号 :G2 0 0 0 0 365 0 1)资助项目~~
To overcome the floating-body effect and self-heating effect of SOI devices,the drain and source on insulator (DSOI) structure is fabricated and tested.The low dose developed recently and low energy local SIMOX techno...
关键词：SIMOX MOS devices silicon on insulator technology floating-body effect 
Investigation of Thermal Property of Novel DSOI MOSFETs Fabricated with Local SIMOX Technique被引量：1
《Journal of Semiconductors》2003年第2期117-121,共5页林羲 何平 田立林 李志坚 董业民 陈猛 王曦 
国家自然科学基金 (批准号 :5 9995 5 5 0 -1);国家重点基础研究专项经费 (编号 :G2 0 0 0 0 3 65 0 1)资助项目~~
DSOI,bulk Si and SOI MOSFETs are fabricated on the same die successfully using local oxygen implantation process.The thermal properties of the three kinds of devices are described and compared from simulation and mea...
关键词：DSOI SOI local SIMOX self  heating effect thermal resistance 
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