SU-8

作品数：107被引量：206H指数：7
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SU-8胶模去除技术被引量：7
《微细加工技术》2007年第1期1-6,共6页崔峰 靖向萌 赵小林 丁桂甫 张卫平 陈文元 
武器装备预研基金资助项目(9140A09020706JW0314);国家自然科学基金资助项目(60402003)
对各种去胶技术的原理、优缺点及其适用场合进行了综述,并结合本实验室的电铸Ni结构去胶试验,对强碱熔盐浴氧化、强酸氧化等经济有效的去胶方法进行了有益发展。最后介绍了SU-8辅助去胶技术,如辅助剥离牺牲层技术、辅助电铸结构抵抗去...
关键词：微机电系统 SU-8 去胶 高深宽比 桩基 
微流控芯片金属模具制备工艺研究被引量：5
《微细加工技术》2005年第4期56-58,75,共4页李建华 陈迪 刘景全 朱军 
国家863MEMS重大专项资助项目(200211404150);国家863计划资助项目(2004AA404260)
为了解决SU-8光刻胶电铸金属模具中遇到的光刻胶脱落和电铸后去胶难等问题,提出了采用硅橡胶(PDMS)微复制与电铸毛细管电泳芯片金属模具相结合的新工艺。该方法首先用SU-8光刻胶制备微通道阳模,以此为模版浇注PDMS阴模,然后在此PDMS阴...
关键词：SU-8 UV—LIGA PDMS 金属模具 微流控 
铁芯和空芯螺线管型微电感器的性能比较
《微细加工技术》2003年第1期61-64,共4页吴茂松 杨春生 茅昕辉 赵小林 蔡炳初 
为了满足RF电路、电源电路、微执行器和微传感器等领域对高性能和工艺简单的电感器的广泛需求,用正、负胶结合的微加工工艺,在硅基片上制作了有坡莫合金铁芯的和在玻璃基片上没有铁芯的、其它结构和参数均相同的两种螺线管型微电感器,...
关键词：微机电系统 电感器 SU-8 微加工 螺线管 
MEMS螺线管型电感器正负胶结合的加工工艺被引量：3
《微细加工技术》2002年第2期53-57,共5页吴茂松 杨春生 茅昕辉 赵小林 蔡炳初 
MEMS螺线管型电感器由于具有很多优点 ,其用途或潜在用途相当广泛。为了获得高质量的MEMS螺线管型电感器 ,在充分利用SU - 8特点的基础上 ,结合使用正胶AZ - 4 0 0 0系列和负胶SU - 8系列 ,新开发了UV -LIGA多层微加工工艺 ,它主要包括 ...
关键词：MEMS 螺线管型 电感器 正负胶结合 加工工艺 SU-8 微加工 
SU-8 5光刻胶的应用工艺研究被引量：7
《微细加工技术》2001年第2期57-60,共4页朱军 赵小林 倪智萍 
SU 8系列负性光刻胶是一种新品光刻胶 ,它具有良好的光敏性和高深宽比 ,适合于微机电系统 ,UV LIGA和其它厚膜、超厚膜应用[1,2 ] 。介绍了利用SU 85光刻胶 ,采用UV曝光制备LIGA掩模板所涉及的SU 85工艺研究结果。
关键词：微机电系统 SU-8系列 光刻胶 曝光 
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