云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- ZNO:AL薄膜

ZNO:AL薄膜: 作品数：57被引量：179H指数：7; 导出分析报告; 相关领域：理学电子电信更多>>; 相关作者：邓宏孙超裴志亮薛书文闻立时更多>>; 相关机构：电子科技大学东北师范大学中国科学院金属研究所南开大学更多>>; 相关期刊：《中国陶瓷》《功能材料》《无机材料学报》《兰州大学学报（自然科学版）》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家教育部博士点基金更多>>

不同氮氧比对N掺杂ZnO:Al薄膜结构及光电性能的影响: 《新乡学院学报》2019年第12期16-18,26,共4页高立华高松华陈礼炜; 国家自然科学基金项目(11804189);福建省自然科学基金项目(2017J01714); 采用射频磁控溅射技术,在不同氮氧比条件下,经过退火处理制备了N掺杂ZnO∶Al薄膜。对样品进行X射线衍射(XRD)、探针扫描显微镜(FAM)、透过率和电阻测试。结果表明:薄膜表面呈现柱状结构,当氮氧比为9∶1时,c轴择优取向最强。在可见光(500...; 关键词：氮氧比施主受主光电性能

柔性FEP基底修饰对ZnO:Al薄膜透明导电与附着力性能的影响研究被引量：1: 《中国陶瓷》2019年第1期44-51,共8页马德福王刚王慧芬张亚非; 航天先进技术联合研究中心技术创新项目(USCAST2013-28); 采用O_2等离子体对柔性氟化乙烯丙烯共聚物(FEP)进行表面处理,然后,利用射频磁控溅射法在柔性氟化乙烯丙烯共聚物(FEP)上沉积修饰一层超薄SiO_2,再沉积生长ZnO:Al薄膜。主要研究探讨柔性FEP基底修饰对ZnO:Al薄膜结构、薄膜界面结合状态...; 关键词：TCO 柔性透明导电薄膜表面修饰薄膜附着力射频磁控溅射

溶胶凝胶法制备透明导电ZnO:Al薄膜的研究被引量：1: 《宿州学院学报》2017年第5期110-113,共4页罗鹏朱光; 宿州学院自旋电子与纳米材料安徽省重点实验室开放课题资助"静电纺丝制备TiO2/ZnO壳核结构及其在光伏器件的应用"(2014YKF50); 以乙酸锌、乙醇胺、九水合硝酸铝为原料,对溶胶凝胶方法制备AZO薄膜的方法进行了改进,利用提拉浸渍法制备薄膜,得到了成膜效果良好的多层AZO透明导电薄膜,采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)、电...; 关键词：AZO薄膜溶胶凝胶法光电性能

靶基距对低温直流射频耦合磁控溅射制备ZnO：Al薄膜的影响: 《中国玻璃》2016年第5期7-10,共4页王平; 本文采用直流与射频耦合磁控溅射的方法，低温下制备高性能的AZO薄膜，并着重研究靶基距对薄膜结构晶相、表面形貌以及光电性能影响，为AZO薄膜实际应用提供技术指导。; 关键词：直流射频耦合磁控溅射 AZO薄膜靶基距

辉光功率对柔性衬底ZnO:Al薄膜性能的影响: 《材料保护》2016年第3期12-14,6,共3页杨恢东王河深李姗李心茹吴浪; 广东省科技计划(2014A010106014)项目;广东省教育部产学研结合(2012B091000111)项目;中央高校基本科研业务费专项基金(21612412)资助; 目前，磁控溅射制备ZnO：Al薄膜时的溅射压强较低，若氩气流量不稳或腔室排气口处气流扰动会对溅射压强产生较大影响，影响成膜质量。为提高溅射薄膜质量，采用直流磁控溅射技术，在较高溅射压强下，以不同辉光功率在柔性衬底聚酰亚胺...; 关键词：直流磁控溅射 ZNO:AL薄膜柔性衬底辉光功率方块电阻相对透射率

热处理工艺对溶胶-凝胶法制备ZnO:Al薄膜光电性能的影响被引量：3: 《硅酸盐学报》2015年第4期451-457,共7页彭寿金良茂王芸汤永康甘治平王东石丽芬单传丽; 国家"973"计划(2012CB724608)资助项目; 采用溶胶-凝胶法以提拉的方式在普通玻璃基底上制备出ZnO:Al(AZO)薄膜。通过X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、方块电阻测试仪、Hall效应测试仪、紫外-可见-红外分光光度计研究了薄膜物相、微观结构、光电性能;分析了不同热处理方式...; 关键词：铝掺杂氧化锌薄膜热处理光电性能溶胶-凝胶法

退火温度对溶胶-凝胶法制备ZnO:Al薄膜的影响被引量：4: 《陶瓷学报》2015年第2期147-151,共5页郭胜利胡跃辉胡克艳陈义川刘细妹徐斌张志明; 国家自然基金项目(编号:61066003);江西省科技支撑计划资助项目(编号:2010BGA01100);江西省对外合作资助项目(编号:20111BDH80031;20132BDH80025);江西省自然基金资助项目(编号:20111BAB202005;20132BAB202001);江西省主要学科学术和技术带头人培养计划项目(编号:20123BCB22002);江西省高等学校科技落地计划(编号:KJLD12085);江西省教育厅科技资助项目(编号:GJJ12494;GJJ13643;GJJ13625); 采用溶胶-凝胶旋涂法在石英玻璃衬底上生长了ZnO:Al薄膜,对所制备的薄膜在空气中用450℃、550℃和650℃的环境中进行退火,并研究不同退火温度对薄膜样品形貌和性能的影响。用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、X射线衍射仪(XRD)、紫外—可...; 关键词：ZNO薄膜溶胶-凝胶法退火温度光学性能

背电极ZnO:Al薄膜与n-a-Si:H膜接触特性的研究: 《真空》2015年第1期31-33,共3页吴芳王伟; 河南省重点科技攻关项目(142102210043);河南省基础与前沿研究项目(132300410415);河南省教育厅科学技术研究重点项目(14A140017); 本文分别采用电子束蒸发和磁控溅射的方法在n型掺杂(n-Si:H)膜上沉积了不同掺杂量和不同厚度的掺Al的Zn O(Zn O:Al)薄膜。通过I-V测试仪测试了两种方法制备的Zn O:Al薄膜与n-Si:H膜的接触特性,结果显示对于电子束蒸发制备的Zn O:Al薄膜...; 关键词：Zn O:Al膜 n-Si:H膜 I-V特性电接触特性

氩气压强对柔性衬底ZnO∶Al薄膜性能的影响被引量：2: 《材料导报》2014年第20期6-9,共4页李姗杨恢东汪文明雷飞闵文骏; 广东省教育部产学研结合项目(2012B091000111);硅材料国家重点实验室开放课题(SKL2012-11);中央高校基本科研业务费专项资金(21612412); 采用直流磁控溅射技术在柔性衬底聚酰亚胺（PI）上制备ZnO：Al透明导电薄膜，研究氩气压强对样品薄膜结构、形貌和光电性能的影响，并与玻璃衬底进行了对比。结果表明：所有制备的ZAO薄膜都是六方纤锌矿结构且具有高度的C轴择优取向；...; 关键词：氩气压强柔性衬底 ZNO:AL薄膜直流磁控溅射

超声喷雾热解法制备ZnO:Al薄膜及其光电性能研究被引量：3: 《材料导报》2013年第24期30-33,共4页杨玲韦帅张婷婷许积文王华; 广西信息材料重点实验室研究基金(桂科能0710908-05-Z); 摘要以乙酰丙酮锌、乙酰丙酮铝为锌和铝的原料，乙醇和水为溶剂，采用超声喷雾热解法在玻璃衬底上制备了Zn0：Al透明导电薄膜，研究了Al添加量为O％～20％（原子分数，下同）对ZnO：Al薄膜光电性能的影响。使用XRD、SEM、DSC、FTIR、四...; 关键词：喷雾热解法 ZNO Al 方块电阻透光率

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