掩膜板

作品数:31被引量:19H指数:3
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基于柔性掩膜板制备半导体场效应管
《光学仪器》2023年第1期80-86,共7页靳亚茹 于佳鑫 
国家自然科学基金(12074259)。
为克服传统制备半导体场效应晶体管(FET)过程中存在的材料损伤、对准精度受限、电极转移难度大和成本高昂等缺陷,提出了一种基于柔性掩膜技术的半导体FET制备方法。利用紫外光刻技术制作柔性掩膜板,直接捞取并加热蒸干固定掩膜板,采用...
关键词:半导体 场效应晶体管 掩膜板 
基于掩膜板阵列的消串扰集成成像3D显示方法被引量:4
《液晶与显示》2022年第5期592-597,共6页邓慧 吕国皎 杨梅 赖莉萍 
国家自然科学基金(No.61775151,No.61705022);成都工业学院理工科重点项目(No.2020ZR001)。
随着立体显示技术的不断发展,集成成像三维(three-dimensional,3D)显示技术受到广泛的认可,但普遍存在的视觉串扰现象严重影响其立体观看效果。为了减小集成成像中相邻图像元间的串扰光线,提高观看舒适度,本文提出了一种基于掩膜板阵列...
关键词:三维显示 集成成像 掩膜板阵列 串扰消除 
电射流法沉积的ZrO_(2)织构化表面及其摩擦磨损特性
《中国表面工程》2021年第6期134-142,共9页张志慧 邓建新 王冉 李学木 葛栋梁 吴佳星 
山东省重点研发计划资助项目(2019TSLH0315)
精密器械中的微摩擦零件的增摩需求逐渐被重视,电射流沉积法可以低成本制备出增摩表面。利用溶胶凝胶法制作ZrO_(2)溶液,通过电射流沉积技术结合掩膜板在316L不锈钢表面制备具有仿生图案的二氧化锆(ZrO_(2))织构化表面,测试织构化表面...
关键词:ZrO_(2)表面膜层 电射流沉积 增摩 微织构 掩膜板 
超大规模集成电路倒装焊设计技术研究被引量:1
《中国集成电路》2020年第7期85-89,共5页张磊 王健 
封装是集成电路设计流程中非常重要的一环,是管芯的环境载体,提供了信息交互、电源供给、散热与结构强度。随着集成电路工艺发展,管脚数目越来越多、频率逐年翻番,只有采用管脚集成度更高、速率更快的倒装焊封装技术,才能满足设计要求...
关键词:再分配布线层 柱下金属层 掩膜板数据 高密度封装 
一种在真空室内OLED掩模板与镀膜基片的自动分离机构
《电子测试》2020年第10期94-95,68,共3页王银果 
本机构主要包括磁性掩膜板夹持机构、顶柱嵌套机构、夹持器顶轮机构和掩膜板接受台。主要功能是在真空室内将完成镀膜后的掩膜板从夹持机构中分离,从而达到掩膜板与镀膜基片在真空状态下完成全自动分离动作的工艺要求,提高掩膜板在真空...
关键词:磁性掩膜板 基片 磁力吸板 夹持器 顶柱 顶轮 
波长渐变滤光片的设计与测试探讨被引量:1
《真空》2020年第1期21-25,共5页王忠连 任少鹏 阴晓俊 王瑞生 高鹏 班超 胡雯雯 
基于膜厚渐变-波长渐变的原理设计了波长渐变滤光片,介绍了基于反应磁控溅射镀膜工艺制造波长渐变滤光片的制备工艺,设计了渐变膜厚的修正掩膜板。探讨了波长渐变滤光片的测试技术。
关键词:波长渐变滤光片 渐变掩膜板 磁控溅射 渐变光谱测试 
一种基于泰伯子像的光刻系统并由期望图案设计掩膜板的方法
《集成电路应用》2019年第11期5-7,共3页荣南楠 张宝昊 何张登 刘帅 李凯强 吕俊君 
重庆市科技企业科技创新课题项目
提出一种基于泰伯效应利用泰伯子像实现光刻,并利用反演光刻技术由期望图案设计掩膜板的方 法。泰伯子像是在分数倍泰伯距离上出现的一种像元倍增且呈棋盘状分布的自成像。根据菲涅耳衍射理 论分析可知,泰伯子像是两种泰伯像在同一平面...
关键词:泰伯效应 泰伯子像 掩膜板 Talbot 光刻机 
自动对焦显微镜系统设计及仿真
《测控技术》2019年第7期50-54,共5页刘璐 闫佩正 但西佐 胡慧然 鲍思源 王永红 
国家重点研发计划(2016YFF0101803);国家自然科学基金项目(51805137)
设计了一种基于条纹投影的自动对焦显微镜系统。通过红外光源将光栅掩膜板投射到被测物表面,用于对焦判断。通过白光光源进行系统照明。使用带通滤光片分离出由红外光源投射的光栅像,并由线阵CCD采集,用于离焦量和离焦方向的判断。由白...
关键词:显微镜 自动对焦 清晰度 光栅掩膜板 
多通道信息显示屏设计
《信息通信》2017年第11期35-40,共6页王若诗 
液晶平板显示器,特别TFT-LCD,是现阶段唯一在亮度、对比度、功耗、寿命、体积和重量等综合性能上全面超过CRT的显示器件。设计出满足以上性能的多通道信息显示屏是这个课题的意义,将有助于我们能够尽快掌握TFT-LCD技术发展节奏。根据TFT...
关键词:液晶显示屏 设计 掩膜板 
专利
《中国钼业》2017年第5期57-57,共1页
专利名称:一种钼电极表面局部被银夹具专利申请号:CN201520766794.2公开号:CN204997569U申请日:2015.09.30公开日:2016.01.27申请人:福建省南平市三金电子有限公司本实用新型涉及一种钼电极表面局部被银夹具,包括上掩膜板和下掩膜...
关键词:专利申请号 电极表面 实用新型 稳定可靠 掩膜板 钼电极 专利名称 定位销 
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