杨辅强

作品数：7被引量：11H指数：2
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发文主题：光刻机工件台振动厚板隔振平台更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《工具技术》《航空精密制造技术》《电子工业专用设备》更多>>
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步进扫描式光刻机隔振试验平台主动减振系统试验研究被引量：4
《噪声与振动控制》2008年第4期3-5,共3页杨辅强 吴运新 邓习树 
国家自然科学基金委项目重大项目课题(编号:50390064);上海市科委联合资助项目<精密机械减振隔振技术研究>
根据步进扫描式光刻机的振动特点,设计隔振试验平台的减振系统,并对试验平台的主动减振系统进行测试研究。测试结果表明,步进扫描式光刻机隔振试验主动减振系统,能有效降低光刻机工作过程中运动部件对工作平台的冲击,具有良好的减振效果。
关键词：振动与波 步进扫描式光刻机 主动减振 试验研究 
基于遗传算法的步进式扫描光刻机路径规划被引量：2
《机械科学与技术》2007年第12期1545-1547,共3页杨辅强 吴运新 
国家自然科学基金委重大项目(50390064);上海市科委联合项目资助
根据步进式扫描光刻机硅片曝光过程的特点,建立了光刻机路径规划问题的数学模型。采用遗传算法对光刻机路径规划模型进行了合理的规划。规划结果表明,规划后的扫描路径能有效地提高光刻机的生产效率。
关键词：步进式扫描光刻机 遗传算法 路径规划 
光课机隔振试验平台定位系统的轨迹规划
《工具技术》2007年第11期64-67,共4页王建平 刘矿陵 杨辅强 
国家自然科学基金委项目重大项目课题(项目编号:50390064);上海市科委联合资助项目<精密机械减振隔振技术研究>
介绍了微制造隔振试验平台定位系统运动轨迹的规划。为了减小运动部件加减速过程中对整个平台的冲击,在进行运动轨迹规划时,采用了S形曲线对定位系统的运动轨迹进行了平滑处理,有效降低了运动部件对系统的冲击,有利于系统的减振。
关键词：隔振平台 轨迹规划 S形曲线 光刻机超精密工件台 
光刻机试验运动装置振动信号的时频分析被引量：1
《微细加工技术》2007年第5期18-21,共4页邓习树 吴运新 隆志力 杨辅强 
国家自然科学基金委项目重大项目课题资助;上海市科委联合资助项目<精密机械减振隔振技术研究>(50390064)
步进扫描光刻机在工作状态下振动特性的好坏对其性能起着重要作用。为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,设计了一种步进扫描光刻机模拟试验运动装置,它能够完全再现步进扫描光刻机的运动特点。在此基础上,对试验装置的关键部件...
关键词：光刻机 模拟装置 振动 时频分析 
光刻机模拟隔振试验装置内部世界动力学模型分析被引量：2
《制造技术与机床》2007年第10期77-81,共5页邓习树 吴运新 李宝童 杨辅强 
国家自然科学基金委项目重大项目课题(编号:50390064);上海市科委联合资助项目<精密机械减振隔振技术研究>
为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机掩模台、工件台由于高速运动而引起光刻机工作核心部分——工作平台的振动问题,根据工业应用中步进扫描光刻机的运动特点和工作要求,设计了一种内部世界和外部世界用精密6自由度减...
关键词：光刻机 隔振 试验装置 内部世界 模型 
微制造隔振试验平台定位系统的轨迹规划
《航空精密制造技术》2007年第4期13-16,共4页王建平 杨辅强 
国家自然科学基金委项目重大项目课题(50390064);上海市科委联合资助项目<精密机械减振隔振技术研究>
为减小运动部件加减速过程中对整个平台的冲击,在进行运动轨迹规划时,采用了S形曲线对定位系统的运动轨迹进行了平滑处理,有效地降低了运动部件对系统的冲击,有利于系统的减振。
关键词：隔振平台 轨迹规划 加减速 S形曲线 
用于光刻机模拟运动的精密工件台宏动定位系统研制被引量：2
《电子工业专用设备》2007年第2期39-43,62,共6页邓习树 吴运新 杨辅强 王永华 
国家自然科学基金委项目重大项目课题(编号:50390064);上海市科委联合资助项目"精密机械减振隔振技术研究"。
为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机工件台宏动定位平台的设计和控制问题,根据工业应用中步进扫描光刻机的运动特点和工作要求,设计了一种H型精密工件台宏动定位系统和同步控制方案。试验结果表明,其各项性能指标均...
关键词：光刻机 工件台 定位 研制 
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