张正元

作品数:6被引量:2H指数:1
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供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所更多>>
发文主题:微电子机械系统硅薄膜多晶硅电路键合更多>>
发文领域:自动化与计算机技术电子电信文化科学医药卫生更多>>
发文期刊:《重庆医学》《微纳电子技术》《微电子学》更多>>
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应用于柔性电子的超薄硅基芯片研究进展被引量:1
《微电子学》2023年第4期695-706,共12页唐新悦 洪敏 罗婷 陈仙 张静 王鹏 张培健 张正元 
模拟集成电路国家级重点实验室稳定支持项目(JCKY2021210C003)
柔性电子技术在近些年得到了快速发展,越来越多的柔性电子系统需要柔性、高性能的集成电路来实现数据处理和通信。通过减薄硅基芯片可以获得高性能的柔性集成电路,但是硅基芯片减薄之后的性能有可能发生变化,并且在制备、转移、封装的...
关键词:柔性电子 超薄芯片 芯片减薄 柔性封装 
高压大功率器件小电流控制技术研究
《微电子学》2005年第6期587-590,共4页曾莉 税国华 张正元 杨永晖 徐岚 
随着高压大功率双极功率集成电路在各种电源管理、功率驱动等领域中的应用日益广泛,产品的可靠性设计和控制显得尤其重要。介绍了高压大功率器件小电流的控制研究,说明了小电流形成的原理,及其对产品可靠性的影响;对各类曲线进行了详细...
关键词:高压大功率器件 双极集成电路 小电流控制 SPC PCM可靠性设计 
NH_4^+敏传感器的研制及初步应用
《第三军医大学学报》2004年第9期774-777,共4页蒲晓允 李招权 黄辉 邓均 张正元 李俊 
目的 结合平面半导体技术及生物化学原理 ,制作NH+4敏感的尿素传感器 ,并对其检测性能进行评价。方法 采用平面半导体技术制作ISFET ,在栅上固化脲酶得到NH+ 4敏尿素传感器 ,并在ISFET自身稳定性、传感器响应时间、检测范围及保存时...
关键词:ISFET NH4^+ 尿素 传感器 
增强型场效应管NH_4^+敏尿素传感器的实验研究被引量:1
《重庆医学》2004年第4期565-567,共3页蒲晓允 李招权 黄辉 邓均 潘静 张正元 李俊 
目的 结合平面半导体技术及生物化学原理 ,制作NH+ 4 敏感的尿素传感器 ,并对其检测性能进行评价。方法 采用平面半导体技术制作ISFET ,在栅上固化脲酶得到NH+ 4 敏尿素传感器 ,并在ISFET自身稳定性、传感器响应时间、检测范围及保存...
关键词:ISFET NH4^+ 尿素 传感器 
一种适合SOI全介质隔离电路的平坦化技术
《微电子学》2003年第6期531-533,共3页杨国渝 税国华 张正元 吴健 
国家高技术研究发展专项经费资助(2002AA404080)
 介绍了一种适合制作SOI全介质隔离电路的平坦化技术。该技术采用外延多晶硅回填隔离槽,并结合化学机械抛光,使SOI全介质隔离完成后形成的表面能达到单晶硅抛光材料的水平。该工艺适合制作某些具有特殊要求的集成电路、MEMS器件构件以...
关键词:SOI 全介质隔离电路 多晶硅 平坦化 化学机械抛光 MEMS 
真空键合技术制作三层结构的MEMS器件的研究
《微纳电子技术》2003年第7期120-121,共2页杨国渝 税国华 张正元 温志渝 
国家 8 63资助项目 (2 0 0 2AA40 40 80 )
采用真空键合技术 ,成功地将表面具有深度不同的硅槽或框架结构的硅圆片与另外两个硅圆片贴合形成三层夹心结构 ,经高温退火处理 ,得到一种粘合牢固的硅“三明治”体。这种“三明治”体的上下两个硅片仍可进行IC加工 。
关键词:真空键合 三层结构 MEMS器件 IC工艺 退火 硅基微电子 
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