徐岚

作品数：9被引量：17H指数：2
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供职机构：中国电子科技集团第二十四研究所更多>>
发文主题：SPC统计过程控制半导体工艺可靠性化学溶液更多>>
发文领域：电子电信经济管理更多>>
发文期刊：《微电子学》《固体电子学研究与进展》更多>>
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评价IC芯片质量与可靠性的关键技术研究被引量：2
《微电子学》2011年第4期617-620,共4页唐昭焕 周铭 徐岚 刘勇 阚玲 梁涛 税国华 
国防基础科研基金资助项目(B1120060466);国家重大基础研究基金资助项目(Y61398)
对CPK、SPC和PPM三项评价IC芯片质量和可靠性的关键技术进行了研究。使用这三项技术,实际评价了芯片制造工艺中的氧化工艺。实践证明,这三项技术在工艺生产能力评估、工艺过程控制和失效分析等方面具有广阔的应用前景,特别是在工艺过程...
关键词：半导体工艺 可靠性 统计过程控制 
一种Nanometrics膜厚测试仪精密度评价方法
《微电子学》2010年第1期132-135,共4页唐昭焕 徐岚 刘勇 税国华 
通过采用PPM、SPC软件和数理统计方法对样本进行处理的方式,对一种Nanometrics膜厚测试仪精密度的评价方法进行研究。讨论了样本在数据收集、分析、处理过程中的难点,得到Nanometrics膜厚测试仪精密度为1.25%的结论;找到了一种适合该膜...
关键词：膜厚测试仪 数理统计 SPC 半导体工艺 
利用分步试验设计表征/优化工艺空间均匀性
《微电子学》2009年第2期285-288,共4页游海龙 贾新章 徐岚 陈亚兰 
模拟集成电路国家级重点实验室基金资助项目(9140C09040206DZ0101)
半导体制造工艺成品率对空间差异越来越敏感,需要表征与优化工艺空间均匀性。利用两步试验设计方法,针对六输入变量的热氧化工艺,仅需31次试验,便建立了表征工艺目标和空间均匀性响应曲面模型。利用该模型优化工艺,得到了满足其他工艺...
关键词：半导体工艺 工艺空间均匀性 分步试验设计 响应曲面模型 
工序能力分析在半导体生产线的应用被引量：3
《微电子学》2008年第4期514-516,共3页徐岚 黄磊 陈亮 贾新章 
在现代电子元器件的生产中,器件失效率已降至几十FIT。为了满足高质量和高可靠性元器件的生产要求,对各工序的工序能力指数的要求也随之提高。文章介绍了工序能力分析在半导体生产线上的实际应用。在工艺过程稳定受控条件下,采取各种措...
关键词：统计过程控制 工序能力指数 半导体生产线 
SPC在多品种小批量生产线的应用研究被引量：5
《微电子学》2007年第5期682-684,共3页徐岚 刘嵘侃 陈亚兰 贾新章 
统计过程控制(SPC)是一种有效的质量管理工具,但由于半导体制造工艺过程的复杂性,常规的SPC模型已经不能对工艺过程状态进行有效的监控。着重论述了SPC在多品种、小批量半导体生产线上的实际应用;根据工艺特点,选取正确的SPC模型,通过...
关键词：统计过程控制 质量控制 控制图 嵌套回归 
100nm超浅结制作工艺研究被引量：1
《微电子学》2007年第2期177-179,184,共4页王学毅 徐岚 唐绍根 
在对深亚微米技术的探索中,通过实践,得到了100 nm以下N型高掺杂浓度超浅结的工艺流程。介绍了采用低能量离子注入技术结合快速热退火技术制作超浅结的方法,并对需要考虑的沟道效应及瞬态增强扩散效应进行了机理分析。
关键词：超浅结 快速热退火 离子注入 沟道效应 瞬态增强扩散效应 
高压大功率器件小电流控制技术研究
《微电子学》2005年第6期587-590,共4页曾莉 税国华 张正元 杨永晖 徐岚 
随着高压大功率双极功率集成电路在各种电源管理、功率驱动等领域中的应用日益广泛,产品的可靠性设计和控制显得尤其重要。介绍了高压大功率器件小电流的控制研究,说明了小电流形成的原理,及其对产品可靠性的影响;对各类曲线进行了详细...
关键词：高压大功率器件 双极集成电路 小电流控制 SPC PCM可靠性设计 
利用试验设计方法表征微电路工艺设备被引量：4
《微电子学》2005年第4期382-385,共4页游海龙 贾新章 徐岚 陈光炳 
模拟集成电路国家重点实验室基金资助项目(51439040103DZ0102)
随着现代微电路工艺技术和设备性能的提高,许多工艺涉及6个或更多的工艺条件输入,而且这些工艺条件之间存在更多的交互效应。为了表征设备特性并优化工艺条件,文章利用部分要因试验设计方法安排试验方案,实现了对实际氧化工艺特定设备...
关键词：试验设计 微电路工艺 工艺模型 
BOX-COX变换与微电路工艺设备表征被引量：2
《固体电子学研究与进展》2005年第3期398-402,共5页游海龙 贾新章 徐岚 陈光炳 
模拟集成电路国家重点实验室基金资助项目(51439040103DZ0102)
(利用部分要因试验设计与数据转换表征微电路工艺设备)。因为试验数据的尺度效应和测量的固有属性,试验数据常违反模型误差的正态和一致性假设。通过BOX-COX数据转换分析,确定热氧化工艺目标值的最优转换形式,针对转换后数据建立的回归...
关键词：部分要因试验设计 微电路工艺 Box—Cox转换 方差分析假设 
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