戴晓静

作品数：10被引量：20H指数：3
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供职机构：中国工程物理研究院更多>>
发文主题：超精密机床超精密气浮面形精度超精密加工更多>>
发文领域：金属学及工艺机械工程自动化与计算机技术文化科学更多>>
发文期刊：《润滑与密封》《组合机床与自动化加工技术》《机械与电子》《精密制造与自动化》更多>>
所获基金：国家科技重大专项国家自然科学基金中国工程物理研究院预先研究基金国防基础科研计划更多>>
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基于CCD传感器的超精密车床光学精确对刀及其应用被引量：1
《制造技术与机床》2021年第2期134-139,共6页宋颖慧 刘有海 张敏 戴晓静 阳红 陈东生 
国家重点研发计划项目(2018YFB1305400);国家“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项(2017ZX04022001);国家自然科学基金青年基金项目(51705486)。
对刀精度是影响加工工件面形精度的主要因素之一,为了实现平面或球面零件在超精密车削过程中的高精度对刀,设计了一种基于CCD传感器的光学对刀装置。通过LVDT对刀装置粗定位、光学对刀装置精定位的粗精结合的方法,快速准确地测得刀具的...
关键词：超精密车削 CCD传感器 光学精确对刀 面形精度 
三轴超精密单点金刚石车床SGDT350研制被引量：1
《组合机床与自动化加工技术》2020年第2期158-160,共3页阳红 刘有海 张敏 陈东生 戴晓静 宋颖慧 肖虹 
国家自然科学基金(51305413);高档数控机床国家科技重大专项(2017ZX04022001-201-003);中物院超精密加工技术重点实验室基金(K1128)
文章介绍了基于静压支承技术自主研制的三轴超精密单点金刚石车床SGDT350。机床采用模块化设计,构建了开放式控制体系,成功实现了机床的高精度运动。经实测机床主轴回转跳动≤50nm,导轨直线度允差≤0.3μm/250mm,加工φ75mm口径SR250mm...
关键词：超精密 静压支承 单点金刚石车床 
快刀伺服控制器设计中的信号完整性问题研究被引量：1
《电子设计工程》2017年第10期69-73,共5页刘广民 张连新 张敏 戴晓静 黄小津 
国防基础科研计划资助项目(A1520133005);中物院超精密加工技术重点实验室资助项目(ZZ13001)
在快刀伺服(FTS,Fast Tool Servo)控制器设计过程中,其中的核心技术单元包括电压反馈、位移反馈以及高频模拟电压信号控制全部基于具有高速数据总线的ADC或DAC实现,如果信号完整性问题处理不好就会对控制器的性能造成不良影响。为了使...
关键词：快刀伺服控制器 信号完整性 HYPERLYNX FPGA ADS1602 
四极质量分析器陶瓷极座磨床控制系统研制
《制造技术与机床》2016年第8期91-93,共3页唐小会 徐刚 戴晓静 蓝河 张连新 
根据四极质量分析器陶瓷极座的磨削工艺需求、磨床结构和IMAC控制器的开放特性,构建了基于IPC+IMAC的上下位结构磨床控制系统,开发了上位控制软件、下位PLC软件和磨削工艺软件。应用结果表明,该极座磨床控制系统稳定性好、可靠性高、操...
关键词：四极质量分析器 极座 极座磨床 控制系统 IMAC 上下位机结构 PLCC程序 
六自由度离子束抛光设备控制系统关键技术研究
《组合机床与自动化加工技术》2014年第7期88-90,共3页吉方 陈东生 徐敏 戴晓静 
国家科技重大专项课题:复杂结构光学零部件抛光与关键加工技术的特种装备(2011ZX02402-002);上海市科委科研计划项目:上海超精密光学制造工程技术研究中心课题(11D2282200);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室课题:复杂面型柔性抛光多轴联动精确控制技术研究(K813-13-Y)
介绍了六自由度离子束抛光机床控制系统的总体构架。重点对控制系统研制过程中的关键问题进行探讨,包括特殊真空环境下的驱动控制措施、高真空抽取及稳定性控制方法以及离子源参数的稳定性控制策略。
关键词：离子源 高真空环境 驱动控制 稳定性 
直驱系统中检测元件对驱动性能影响的实验分析被引量：1
《制造技术与机床》2014年第5期71-74,共4页陈东生 岳晓斌 陈华 戴晓静 
国家“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项:强激光光学元件超精密制造关键装备研制(2013ZX04006011)
在直驱系统中,位置反馈是非常重要的一环,位置信号作为控制的反馈输入,其优劣直接影响到驱动的性能。通过实验从信号类型、分辨率、刻线精度、信号的检测、检测元件的安装等方面详细分析了检测元件对直驱系统驱动性能的影响。
关键词：检测元件 直接驱动 性能分析 
基于ARM和CPLD平台的微细电加工电源脉冲控制技术被引量：4
《机械与电子》2013年第9期24-27,共4页刘广民 吉方 戴晓静 张勇斌 
介绍了微细电火花脉冲电源关键技术,并且讨论了在ARM-LINUX平台下,基于CPLD(复杂可编程逻辑器件)的放电脉冲参数及时序控制电路设计,以及CPLD的linux设备驱动设计。最后通过实验验证了设计的可行性和有效性。
关键词：微细电火花脉冲电源 ARM— LINUX CPLD 设备驱动 
离子束抛光热效应研究被引量：5
《现代制造工程》2013年第9期83-86,共4页张云飞 吉方 蓝河 朱建平 戴晓静 肖虹 王亚军 陈东生 
中国工程物理研究院重点发展基金项目(2009A0203012)
离子束加工时工件温升较高,由此会产生热应力和热变形,影响加工精度。基于实际抛光测试了离子束加工过程中工件表面温度场分布,利用ANSYS软件对工件热变形进行了仿真分析,采用均匀抛光的方法研究了热应力和热变形对工件面形精度的影响...
关键词：离子束抛光 热效应 热变形 装夹应力 
Ta-W合金的化学机械抛光实验研究被引量：4
《精密制造与自动化》2006年第2期28-30,共3页舒行军 何建国 陶继忠 戴晓静 刘玉岭 
针对Ta-W合金材料圆薄片零件化学机械抛光工艺,设计了Ta-W合金材料CMP抛光液。采用单因素法,试验改变抛光液内组份的含量对抛光速率和抛光件表面质量的影响,以确定抛光液中各组分的最佳含量区间。找到化学作用与机械作用的最佳结合点,...
关键词：化学机械抛光 CMP抛光液 抛光速率 
Ta-W合金的化学机械抛光实验研究被引量：3
《润滑与密封》2006年第3期78-80,83,共4页舒行军 何建国 陶继忠 戴晓静 刘玉岭 
中国工程物理研究院预研项目
针对Ta-W合金材料圆薄片零件化学机械抛光工艺，设计了Ta-W合金材料化学机械抛光抛光液，并探讨了抛光液各组分的含量及抛光工艺参数对抛光速率和抛光件表面质量的影响。结果表明，当抛光液中磨料SiO2溶胶质量分数为40％-65％时，抛光...
关键词：化学机械抛光 抛光液 抛光速率 
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