国家重点基础研究发展计划(2011CB302101)

作品数:15被引量:67H指数:5
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相关作者:褚金奎褚家如马剑强李保庆张然更多>>
相关机构:大连理工大学中国科学技术大学郑州轻工业学院宁波大学更多>>
相关期刊:《压电与声光》《物理学报》《微纳电子技术》《仪表技术与传感器》更多>>
相关主题:SU-8胶MEMS透射特性放大器电荷放大器更多>>
相关领域:电子电信机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
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基于偏振光的导航定姿自适应滤波算法被引量:2
《上海航天》2019年第5期115-120,132,共7页金仁成 谢林达 蔚彦昭 魏巍 
国家重点基础研究发展计划(2011CB302101,2011CB302105);中央高校基本科研业务费专项资金(DUT19LAB11)
针对小型无人机三维空间内姿态解算问题,基于惯性测量单元与偏振光传感器组成的航姿参考系统,提出了一种自适应滤波姿态估计算法。在常规互补滤波算法基础上,为解决实际飞行过程中存在的运动加速度干扰以及天空中水汽分布异常等问题,建...
关键词:偏振光 惯性测量单元 组合导航 自适应滤波 姿态解算 
一种用于仿生导航无人机航姿求解的混合滤波方法被引量:1
《导航定位与授时》2019年第5期74-81,共8页金仁成 谢林达 魏巍 蔚彦昭 
国家重点基础研究发展计划(973计划)(2011CB302101,2011CB302105);中央高校基本科研业务费专项基金(DUT19LAB11)
针对现有组合导航系统易被干扰欺骗以及姿态求解精度不足的问题,设计了惯性测量单元(IMU)与偏振光传感器组成的航姿参考系统(AHRS)。同时,考虑到传统的姿态求解方法精度不高,提出了一种用于仿生导航无人机航姿求解的混合滤波方法。将Mah...
关键词:组合导航系统 偏振光传感器 混合滤波 无人机 姿态求解 
SU-8胶光弹性性能显微测试被引量:2
《光学精密工程》2016年第3期547-552,共6页褚金奎 李双亮 张然 
国家自然科学基金(No.51175056);国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2011CB302101);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(DUT14RC(3)006);中国博士后科学基金(2014M561226)资助课题
考虑获知SU-8胶的光弹性性能有利于拓展其在微纳米领域中的应用范围,本文设计了材料应力光学系数显微测量光路,完成了SU-8胶应力光学系数的测量实验。首先,基于光弹性原理设计了测量光路,推导了求解应力光学系数的计算公式;然后,根据所...
关键词:光学测量 显微测量 光弹性分析 SU-8胶 应力光学系数 
双层金属纳米光栅的TE偏振光异常透射特性被引量:3
《物理学报》2015年第16期270-276,共7页褚金奎 王倩怡 王志文 王立鼎 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2011CB302101;2011CB302105)资助的课题~~
根据在亚波长金属光栅表面添加电介质会引起TE偏振光的透射异常性,应用严格耦合波理论和时域有限差分方法,研究了双层金属纳米光栅在TE偏振光入射时产生的异常透射现象.利用等效折射率方法建立了双层金属光栅的等效模型,得到了TE偏振光...
关键词:双层金属纳米光栅 TE偏振光异常透射 类Fabry—Perot腔谐振 
基于刚度矩阵法的V型电热微驱动器模型与性能分析被引量:5
《机械设计与研究》2014年第4期51-54,58,共5页张段芹 王辉 刘建秀 
国家重点基础研究发展规划项目(No.2011CB302101);河南省国际科技合作项目(N0.134300510019);河南省科技攻关项目(N0.132102110057);郑州轻工业学院博士科研基金项目(000153)
采用单元刚度矩阵法推导并建立V型电热微驱动器的静态力学模型,获得电热微驱动器的输出位移随温度载荷与外力载荷变化的关系表达式。根据此模型,电热微驱动器的输出位移随着温度载荷、梁的长度、宽度的增大均呈现单调上升趋势,而随着负...
关键词:电热微驱动器 刚度矩阵法 力学模型 MEMS 
低维纳米材料的力学性能测试技术研究进展被引量:6
《微纳电子技术》2014年第7期451-457,共7页张段芹 刘建秀 褚金奎 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2011CB302101);河南省国际科技合作项目(134300510019)
低维纳米材料作为纳机电系统(NEMS)中重要的结构层材料,其力学性能与变形失效机理的研究直接影响NEMS的功能实现、可靠性分析与寿命预测。首先,介绍了现有低维纳米材料力学性能测试技术,如纳米压痕法、基于原子力显微镜(AFM)的纳米力学...
关键词:低维纳米材料 力学性能 测试技术 片上测试 纳机电系统(NEMS) 
微加工工艺制作的静电吸片及其切向吸附力
《微纳电子技术》2014年第2期99-104,共6页张段芹 褚金奎 刘建秀 
国家重点基础研究发展规划项目(2011CB302101);河南省国际科技合作项目(134300510019)
针对静电吸附在微电子机械系统(MEMS)器件装配线中的潜在应用,试图研制一种单位面积上吸附力大和自身面积小的低工作电压静电吸片。通过介绍静电吸附现象的应用与传统静电吸盘,提出一种采用表面微加工工艺制作的双极性静电吸片。在分析...
关键词:静电吸附 介质薄膜 微加工工艺 剪切压强 静电吸片 微电子机械系统(MEMS) 
低噪声压电电荷放大器的设计与实验研究被引量:16
《压电与声光》2013年第6期833-837,共5页孙颖奇 李保庆 马剑强 张天磊 褚家如 
国家重点基础研究发展计划基金资助项目(2011CB302101);中央高校基本科研业务费专项基金资助项目(WK2090090008)
压电悬臂梁以其优越的性能在微纳米领域得到广泛应用。为了降低压电悬臂梁信号采集中的噪声,该文针对一种冷放电电荷放大器进行了详细的理论与仿真分析。设计实现了电荷-电压灵敏度为23.4mV/pC的冷放电电荷放大器,并将其应用于压电悬臂...
关键词:压电悬臂梁 电荷放大器 低噪声 
三层亚波长光栅结构的透射特性(英文)被引量:2
《纳米技术与精密工程》2013年第5期442-446,共5页褚金奎 张英杰 王志文 金仁成 
supported by National Basic Research Program of China (Grant No.2011CB302101,2011CB302105);the Fundamental Research Funds for the Central Universities (DUT10ZD104)~~
设计了一种具有三层结构的亚波长金属光栅,采用时域有限差分(FDTD)法对所设计的三层光栅结构进行仿真计算.与单层金属光栅相比,这种三层的光栅结构具有更好的滤波效果,其透射光谱中峰值可达77%,且能很好地抑制高波段的透射率.分析了各...
关键词:三层亚波长光栅 偏振滤波器 透射增强 
微拉伸测试系统中PZT微驱动器的设计与实现被引量:1
《仪表技术与传感器》2013年第7期23-25,48,共4页张国庆 褚金奎 高佳丽 
国家重点基础研究发展规划项目(2011CB302101,2011CB302105);国家自然科学基金项目(51175056)
为了实现微拉伸测试系统中微位移的精密进给,首先设计了一种压电陶瓷微驱动器,然后在LabVIEW平台上利用PID控制算法对其进行了闭环控制。控制后的微驱动器输出精度达到10 nm,响应时间较开环时缩短了近10倍,明显改善了输出特性并达到了...
关键词:微拉伸测试 压电陶瓷 PID SU-8光刻胶 
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