云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家重点基础研究发展计划(G1999033101)

国家重点基础研究发展计划(G1999033101): 作品数：30被引量：106H指数：6; 导出分析报告; 相关作者：王跃林熊斌车录锋焦继伟黄小振更多>>; 相关机构：中国科学院中国科学院上海冶金研究所浙江大学复旦大学更多>>; 相关期刊：《传感技术学报》《中国机械工程》《光学学报》《仪器仪表学报》更多>>; 相关主题：微机械陀螺光读出热成像MEMS微机电系统微电子机械系统更多>>; 相关领域：自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术电子电信更多>>

Modified Reynolds Equation for Squeeze-Film Air Damping of Slotted Plates in MEMS Devices: 《Journal of Semiconductors》2006年第3期473-477,共5页孙远程鲍敏杭杨恒黄宜平; 国家重点基础研究发展规划(批准号:G1999033101);国家自然科学基金(批准号:69876009)资助项目~~; A differential equation for calculating squeeze-film air damping in slotted plates is developed by modifying the Reynolds equation. A term is added to account for the effect of airflow through the slots on the air dam...; 关键词：squeeze-film air damping MEMS slotted plate Reynolds equation

偏置电压极性对差分电容微传感器可靠工作条件的影响分析: 《机械强度》2005年第4期465-469,共5页董林玺孙玲玲王跃林; 国家重点基础研究规划973项目"集成微光机电系统"资助(G1999033101)~~; 为了测得电容式传感器的电容变化,一般需要有直流偏置电压的交流驱动信号加到传感器上,然而驱动信号产生的静电力会干扰传感器的测量和可靠工作条件。文中分析差分电容传感器受到阶跃加速度信号作用时,不同偏置电压极性对可靠工作条件...; 关键词：电容式传感器惯性传感器可靠工作范围阶跃信号偏置电压极性

梳齿的不平行对电容式微机械传感器阶跃信号响应的影响被引量：5: 《传感技术学报》2005年第3期525-530,共6页董林玺孙玲玲车录锋王跃林; 国家重点基础研究规划973项目"集成微光机电系统"资助(G1999033101); 分析了梳齿电容式传感器在三种电容驱动方式下,梳齿电容极板的不平行对传感器受到阶跃加速度信号作用时可靠工作条件的影响。得到了梳齿倾斜效应对传感器阶跃加速度响应影响的分析模型。结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下,若电容极板...; 关键词：电容式传感器惯性传感器可靠工作范围阶跃信号

原子力显微镜中微悬臂梁/探针横向力的标定被引量：3: 《测试技术学报》2005年第1期4-10,共7页鲍海飞李昕欣王跃林; 国家973重大基础研究资助项目(G1999033101);国家863计划资助项目(2004AA404045); 　利用微加工制造的微悬臂梁/探针尖已经广泛应用在微观表面性质测试和微纳米尺度加工等领域,成为微纳米研究领域中不可缺少的重要工具.为了能够定量研究原子力显微镜中探针与表面的相互作用力,需要对微悬臂梁/探针的力学性能进行表征....; 关键词：原子力显微镜微悬臂梁横向力探针相互作用力纳米尺度表面性质加工制造定量研究研究领域标定方法反射原理力学性能度理论

梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响被引量：8: 《Journal of Semiconductors》2005年第2期373-378,共6页董林玺车录锋王跃林; 国家重点基础研究发展计划资助项目 (批准号 :G19990 3 3 10 1)~~; 分析了梳齿电容式传感器梳齿极板间的不平行在三种电容驱动下 ,对传感器的可靠工作范围的影响 .结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下 ,当电容极板间的倾斜角由 0 1°变到 0 5°时 ,单边电容结构和双边电容结构的可靠工作范围变为电容...; 关键词：电容式传感器惯性传感器可靠工作范围脉冲信号

大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性被引量：6: 《Journal of Semiconductors》2005年第1期148-152,共5页陈永焦继伟王惠泉金仲和张颖熊斌李昕欣王跃林; 国家重点基础研究发展规划资助项目 (批准号 :G19990 3 3 10 1)~~; 设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺 .该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼 ,有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度 ,同时降低了陀螺的热机械噪声 .对陀螺噪声特性进行的分析表明 ,该陀螺具有相对很低...; 关键词：陀螺微机械加工噪声滑膜阻尼

等离子体沉积碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦性能研究被引量：3: 《摩擦学学报》2004年第4期304-307,共4页鲍海飞熊斌陆德仁李昕欣王跃林; 国家973重大基础研究集成微光机电系统项目资助(G1999033101).; 利用原子力显微镜研究了感应等离子体刻蚀加工过程中单晶硅表面形成的不同厚度的碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦特性,并针对几种不同的摩擦模式探讨了原子力显微镜探针在不同厚度的碳氟聚合物薄膜表面的摩擦行为.结果表明,同硅基体相比,聚合...; 关键词：碳氟聚合物薄膜纳米摩擦特性微机电系统

光读出热成像焦平面阵列的光学与热学设计被引量：1: 《光学学报》2004年第11期1543-1546,共4页冯飞焦继伟熊斌王跃林; 国家 973计划集成微光机电系统研究项目(G19990 3310 1)资助课题; 针对提出的一种光读出热成像系统 ,对其焦平面阵列的光学和热学特性进行了详细的分析 ,主要涉及法布里珀罗微腔两个反射面的反射率、可动微镜的温度响应、噪声等效温差以及响应时间四个方面。理论分析表明 :当法布里珀罗微腔两个反射面...; 关键词：光读出热成像噪声等效温差微腔焦平面阵列微镜反射面响应时间光学反射光光强

光读出热成像芯片的优化设计与ANSYS模拟被引量：1: 《Journal of Semiconductors》2004年第5期552-556,共5页冯飞焦继伟熊斌王跃林; 国家重点基础研究发展规划资助项目 (批准号 :G19990 3 3 10 1)~~; 利用一种近似理论——悬臂梁理论对光读出热成像芯片进行了优化设计 ,所采用的 Al/ Si O2 双材料体系 ,其关键性能指标——热 -机械灵敏度可达 6 .6 0× 10 - 8m/ K,与之相对应的最优厚度比为 0 .6 .同时 ANSYS模拟表明 ,可动微镜热 -...; 关键词：微机电系统(MEMS) 光读出热成像可动微镜阵列热-机械灵敏度热响应时间常数

基于法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件设计与制作被引量：4: 《光学学报》2004年第10期1375-1380,共6页冯飞焦继伟熊斌王跃林; 国家 973计划集成微光机电系统研究 (G19990 3310 1)资助课题; 提出了一种新颖的基于硅基法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件 ,该器件利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其焦平面阵列 (FPA)是一个基于微机电系统 (MEMS)制作的法布里珀罗微腔阵列。阐明了器件的工作原理 ;完...; 关键词：光读出热成像法布里-珀罗微腔微机电系统热-机械灵敏度

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