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国家自然科学基金(50390060): 作品数：55被引量：250H指数：9; 导出分析报告; 相关作者：雒建斌胡元中王慧张朝辉董闯更多>>; 相关机构：清华大学上海交通大学北京交通大学大连理工大学更多>>; 相关期刊：《科学通报》《计算力学学报》《机械科学与技术》《机械工程学报》更多>>; 相关主题：化学机械抛光分子动力学模拟抛光液CMP磁控溅射更多>>; 相关领域：机械工程理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

Ultra-thin a-SiN_x protective overcoats for hard disks and read/write heads: 《Chinese Physics B》2009年第4期1570-1573,共4页丁万昱徐军陆文琪邓新绿董闯; Project supported by the Major Program of the National Natural Science Foundation of China (Grant No 50390060);the National Natural Science Foundation of China (Grant Nos 60576022 and 50572012); This paper reports that amorphous silicon nitride （a-SiNx） overcoats were deposited at room temperature by microwave ECR plasma enhanced unbalanced magnetron sputtering. The 2 nm a-SiNs overcoat has better anti-corr...; 关键词：hard disk overcoat ULTRA-THIN a-SiNx plasma enhanced magnetron sputtering

微波ECR磁控溅射制备SiN_x薄膜的XPS结构研究被引量：6: 《物理学报》2009年第6期4109-4116,共8页丁万昱徐军陆文琪邓新绿董闯; 国家自然科学基金重大项目(批准号:50390060);国家自然科学基金(批准号:60576022;50572012)资助的课题~~; 利用微波电子回旋共振等离子体增强非平衡磁控溅射法在不同N2流量下制备无氢SiNx薄膜.通过X光电子能谱、纳米硬度仪等表征技术,研究了不同N2流量下制备的SiNx薄膜的化学键结构、化学键含量、元素配比及各元素沿深度分布.研究结果表明,N...; 关键词：SINX 磁控溅射 XPS 化学键结构

劈刀运动历程对热超声键合界面变形的影响被引量：3: 《上海交通大学学报》2008年第5期716-719,共4页何俊郭永进林忠钦; 国家自然科学基金重大项目(50390060); 利用有限元分析方法研究在铜金属化晶片上进行金引线热超声键合的过程,建立基于率相关材料特性的热超声键合有限元模型,对键合中的碰撞和超声振动两个键合阶段进行了仿真.通过引入键合界面单元变形量、接触率等参量,得出劈刀运动历程对...; 关键词：热超声键合率效应界面变形键合强度

硅基底上图形化自组装膜的构筑被引量：1: 《高分子材料科学与工程》2008年第4期136-138,共3页彭倚天胡元中王慧; 国家重点基础研究发展计划项目(2003CB716201);国家自然科学基金资助项目(50390060); 为在硅基底上得到不同化学基团修饰的图形,采用传统的光刻技术与自组装相结合的方法,成功地制备了由甲基与氨基末端官能团组成的图形化自组装膜。将图形化自组装膜泡入碳纳米管DMF(N,N-二甲基甲酰胺)分散液中,图形化自组装膜的氨基区域...; 关键词：多壁碳纳米管自组装单层膜(SAMS) 图形化光刻

基片温度对SiNx薄膜结晶状态及机械性能的影响被引量：2: 《物理学报》2008年第8期5170-5175,共6页丁万昱徐军陆文琪邓新绿董闯; 国家自然科学基金重大项目(批准号:50390060);国家自然科学基金(批准号:60576022,50572012)资助的课题~~; 利用微波电子回旋共振增强磁控反应溅射法在不同基片温度下制备无氢SiNx薄膜.通过傅里叶变换红外光谱、透射电子显微镜、台阶仪、纳米硬度仪等表征技术,研究了基片温度对SiNx薄膜结晶状态、晶粒尺寸、晶体取向等结晶性能以及薄膜的生长...; 关键词：SINX 磁控溅射微观结构硬度

脉冲偏压对电弧离子镀非晶氧化钛薄膜性能的影响被引量：4: 《稀有金属材料与工程》2007年第11期1909-1914,共6页张敏林国强董闯闻立时; 国家自然科学基金资助项目(50390060); 用脉冲偏压电弧离子镀技术在玻璃基片上制备均匀透明的氧化钛薄膜，通过改变脉冲偏压幅值，考察其对氧化钛薄膜性能的影响。结果表明，沉积态薄膜为非晶态；脉冲偏压对薄膜性能有明显的影响。随偏压的增加，薄膜厚度、硬度和弹性模量均...; 关键词：非晶氧化钛薄膜脉冲偏压电弧离子镀性能

单壁碳纳米管与石墨基底间摩擦的模拟研究被引量：1: 《润滑与密封》2007年第11期15-17,77,共4页李瑞胡元中王慧; 国家自然科学基金项目(50390060);国家重点基础研究发展规划(2003CB716201); 采用分子动力学模拟方法研究了常温300 K时,公度、不公度情况下,单壁碳纳米管CNT(10,10)在石墨基底上的运动、摩擦行为。计算中首先使碳纳米管在基底上弛豫平衡,而后施加持续时间500 fs的固定外力,撤去外力后碳纳米管在基底上减速至相...; 关键词：碳纳米管公度摩擦分子动力学模拟

热超声键合过程中键合力波动特性仿真研究被引量：2: 《上海交通大学学报》2007年第10期1704-1709,共6页何俊郭永进林忠钦; 国家自然科学基金重大项目(50390060); 利用有限元分析方法研究了在铜金属化晶片上进行金引线热超声键合过程中的键合力变化情况,建立了基于率相关材料特性的热超声键合有限元模型,对键合中的碰撞和超声两个过程进行了仿真分析,并引入平均键合力、键合力标准差值等统计参量...; 关键词：热超声键合键合力波动特性率效应

脉冲偏压电弧离子镀TiO_2薄膜的力学与光学性能被引量：10: 《物理学报》2007年第12期7300-7308,共9页张敏林国强董闯闻立时; 国家自然科学基金(批准号:50390060)资助的课题.~~; 用脉冲偏压电弧离子镀技术在玻璃基片上制备均匀透明的TiO2薄膜.利用X射线衍射仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜、紫外-可见透射光谱仪和纳米压痕仪等手段,对不同脉冲负偏压下合成薄膜的相结构、微观结构、表面形貌、力学和光学性能进...; 关键词：TIO2薄膜脉冲偏压电弧离子镀硬度折射率

润滑膜全氟聚醚的稳定性被引量：3: 《物理学报》2007年第7期4094-4098,共5页李欣胡元中王慧陈辉; 国家自然科学基金(批准号:50390060);国家重点基础研究发展规划(批准号:2003CB716201);高等学校博士学科点专项科研基金(批准号:20060003025)资助的课题.~~; 采用基于粗粒珠簧模型的分子动力学模拟方法,考察了非极性和极性全氟聚醚(perfluoropolyether,PFPE)膜在固体表面的稳定性.随着时间推移,非极性PFPE膜的表面形貌没有明显变化,呈现稳定的状态;而强极性PFPE膜的部分润滑分子发生局域集聚...; 关键词：全氟聚醚膜分子动力学模拟稳定性

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