天津市自然科学基金(043600811)

作品数：19被引量：57H指数：5
导出分析报告
相关作者：胡明刘志刚吕宇强梁继然吴淼更多>>
相关机构：天津大学中国科学院更多>>
相关期刊：《稀有金属材料与工程》《功能材料》《无机材料学报》《红外与激光工程》更多>>
相关主题：氧化钒薄膜氧化钒红外探测器电阻温度系数微测辐射热计更多>>
相关领域：理学电子电信一般工业技术化学工程更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
对向靶磁控溅射纳米氧化钒薄膜的热氧化处理被引量：1
《天津大学学报》2009年第8期721-726,共6页梁继然 胡明 陈涛 刘志刚 
国家"863"高技术研究发展计划资助项目(2008AA031401);天津市应用基础及前沿技术研究计划重点资助项目(08JCZDJC17500);天津市自然科学基金资助项目(043600811)
采用直流对向靶磁控溅射方法制备低价态纳米氧化钒薄膜，研究热氧化处理温度和时间对氧化钒薄膜的组分、结构和电阻温度特性的影响采用X射线光电子能谱（XPS）、X射线衍射（XRD）和原子力显微镜（AFM）对氧化钒薄膜的组分、结晶结构和...
关键词：直流对向靶磁控溅射 纳米氧化钒薄膜 热氧化处理 
用对靶磁控溅射附加低温热氧化处理方法制备相变氧化钒薄膜被引量：1
《稀有金属材料与工程》2009年第7期1203-1208,共6页梁继然 胡明 刘志刚 韩雷 
天津市自然科学基金面上项目(043600811);天津市应用基础及前沿技术研究计划重点项目(08JCZDJC17500)
采用直流对靶磁控溅射低价态氧化钒(VO2-x)薄膜再附加热氧化处理的方式,进行具有金属-半导体相变特性氧化钒薄膜的制备。采用X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜中钒的价态与组分、薄膜结晶结构和表面微观...
关键词：相变氧化钒薄膜 低温热氧化 直流对靶磁控溅射 
低温热氧化处理温度与时间对氧化钒薄膜性能的影响
《功能材料》2009年第1期43-47,共5页梁继然 胡明 刘志刚 
天津市自然科学基金面上资助项目(043600811);天津市应用基础及前沿技术研究计划重点资助项目(08JCZDJC17500)
采用直流对靶磁控溅射氧化钒薄膜再附加热氧化处理的方式进行金属－半导体相变特性氧化钒薄膜的制备，研究了低热处理温度下热处理温度与时间对氧化钒薄膜组分、晶体结构和相变性能的影响。新制备的氧化钒薄膜为V2O3和VO的混合相。经30...
关键词：相变氧化钒薄膜 低温热处理 直流对靶磁控溅射 
基于微拉曼光谱技术的氧化介孔硅热导率研究被引量：7
《物理学报》2008年第1期103-110,共8页房振乾 胡明 张伟 张绪瑞 
国家自然科学基金(批准号:60371030);天津市自然科学基金(批准号:043600811)资助的课题~~
利用基于有效介质理论的介孔硅传热机理,提出一个用于分析氧化介孔硅热导率的理论模型,对影响氧化介孔硅有效热导率的因素进行了理论分析,得出用于计算氧化介孔硅有效热导率的计算公式.采用双槽电化学腐蚀法制备介孔硅,利用微拉曼光谱...
关键词：理论模型 氧化介孔硅 微拉曼光谱 有效热导率 
对靶磁控溅射制备VO_x薄膜及其退火研究被引量：1
《传感器与微系统》2007年第7期54-57,共4页韩雷 胡明 吕宇强 梁继然 刘志刚 
天津市自然科学基金资助项目(043600811)
利用对靶磁控溅射法在玻璃基片上制备VOx薄膜,采用正交实验方法研究了镀膜条件对VOx薄膜电阻温度系数(TCR)的影响,得到优化的镀膜工艺参数,主要包括Ar∶O2为48∶0.4、工作压力恒定为2 Pa、基底的温度为室温27℃、溅射功率保持在180W,在...
关键词：氧化钒 薄膜 磁控溅射 退火 电阻温度系数 
非制冷红外微测辐射热计有限元模型的构建
《微纳电子技术》2007年第7期45-47,共3页甄志成 胡明 杨海波 吕宇强 
国家自然科学基金(60371030);天津市自然科学基金(043600811)
根据微加工条件能够制造的单层和双层结构的非制冷红外微测辐射热计的尺寸,进行了有限元建模与分析,寻找出在可接受的性能与成本之间折衷的设计方案,指出气体热导是影响探测单元热导的一个主要因素,并对其进行了理论分析,给出减小气体...
关键词：微机电系统 微桥结构 微测辐射热计 红外成像 
非制冷红外探测器多孔硅绝热层的研究
《微纳电子技术》2007年第7期68-71,共4页杨海波 胡明 吕宇强 甄志成 张绪瑞 张伟 
国家自然科学基金(60371030);天津市自然科学基金项目(043600811)
以多孔硅作为绝热层材料,采用超高真空对靶磁控溅射镀膜法,在多孔硅样品表面和硅基底表面沉积氧化钒薄膜。实验采用电化学腐蚀法制备多孔硅,利用场致发射扫描电子显微镜观测了孔隙率为50%,60%,70%三个多孔硅样品的微观形貌。利用显微喇...
关键词：非制冷红外探测器 氧化钒 多孔硅 绝热层 力学性能 
MEMS技术在非制冷热红外探测器中的应用被引量：2
《传感器与微系统》2007年第1期90-92,96,共4页胡明 吕宇强 颜海洋 吴淼 
国家自然科学基金资助项目(60371030);天津市自然科学基金资助项目(043600811)
微机电系统(MEMS)技术是以实现机电一体化为目标的一项新兴技术,它在红外器件制作中的引入为非制冷红外探测器的实用化开辟了新的途径。目前,应用MEMS技术制作的主要有微测辐射热计微桥结构和微悬臂红外探测器双层悬臂结构2种。对它们...
关键词：微机电系统 红外探测器 微桥 微悬臂 
非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜制备研究被引量：1
《红外与激光工程》2007年第z1期54-58,共5页胡明 梁继然 吴淼 吕宇强 韩雷 刘志刚 
天津市自然科学基金资助项目(043600811)
主要介绍了红外探测器的分类、发展,及基于氧化钒薄膜的热探测器的优势;采用直流对靶磁控溅射法制备氧化钒薄膜,通过设计正交实验,获得了氧化钒薄膜的最佳制备参数,分析了各个制备参数对氧化钒薄膜成分以及TCR的影响,研究了硅衬底上氧...
关键词：氧化钒 电阻温度系数 红外探测器 
退火条件对氧化钒薄膜微观结构的影响被引量：1
《天津大学学报》2006年第12期1495-1498,共4页梁继然 胡明 吕宇强 韩雷 刘志刚 
天津市自然科学基金资助项目(043600811)
采用直流对向靶磁控溅射的方法在S iO2/S i衬底上制备了具有(001)择优取向的V2O5薄膜,利用X射线衍射、场发射扫描电子显微镜和四探针测试方法对退火前后薄膜的表面形貌、物相组分和电阻温度系数进行了测量.结果表明:200℃衬底温度下溅...
关键词：氧化钒薄膜 微观结构 直流磁控溅射 择优取向 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部