国家自然科学基金(69836020)

作品数:25被引量:37H指数:4
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相关作者:陈培毅郭维廉钱佩信郑云光邓宁更多>>
相关机构:清华大学天津大学帝国理工学院无锡微电子科研中心更多>>
相关期刊:《微纳电子技术》《光电子.激光》《传感技术学报》《微电子学》更多>>
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Si基Ge量子点光电探测器的研究被引量:5
《半导体光电》2006年第4期379-382,共4页魏榕山 邓宁 王民生 张爽 陈培毅 
国家自然科学基金重点基金项目(69836020);教育部985项目(JZ2001010)
采用UHV/CVD方法在Si(100)衬底上生长了多层的自组织Ge量子点,用AFM对量子点的形貌和尺寸分布进行了研究。材料的低温(10 K)PL谱测试表明,由于量子点的三维限制作用,跟体材料的Ge相比,Ge量子点的NP峰表现出87 meV的蓝移。在此基础上,流...
关键词:UHV/CVD 量子点 量子点红外探测器 暗电流密度 响应度 
以Si_3N_4作增透膜的Si基Ge量子点探测器的研究被引量:2
《传感技术学报》2006年第05A期1771-1774,共4页魏榕山 邓宁 王民生 张爽 陈培毅 刘理天 张璟 
国家自然科学基金重点基金资助(69836020);教育部985基金资助(JZ2001010)
设计并制作了以Si3N4作增透膜的Si基Ge量子点红外探测器.采用气态源分子束外延(GSMBE)方法在Si(100)衬底上生长了20层的自组织Ge量子点.在此基础上,流水制作了p-i-n结构的量子点红外探测器.为了提高探测器的响应度,采用Si3N4作为增透膜...
关键词:增透膜 气态源分子束外延 量子点 量子点红外探测器 暗电流密度 响应度 
Low Voltage Flash Memory Cells Using SiGe Quantum Dots for Enhancing F-N Tunneling
《Journal of Semiconductors》2006年第3期454-458,共5页邓宁 潘立阳 刘志宏 朱军 陈培毅 彭力 
国家自然科学基金资助项目(批准号:69836020)~~
A novel flash memory cell with stacked structure (Si substrate/SiGe quantum dots/tunneling oxide/polySi floating gate) is proposed and demonstrated to achieve enhanced F-N tunneling for both programming and erasing....
关键词:flash memory SiGe quantum dots enhanced F.N tunneling 
Si组分对SiGe量子点形状演化的影响被引量:5
《物理学报》2004年第9期3136-3140,共5页邓宁 陈培毅 李志坚 
国家自然科学基金重点基金 (批准号 :6983 60 2 0 );教育部 985 (批准号 :JZ2 0 0 10 10 );中国博士后科学基金资助的课题~~
研究了自组织生长SiGe岛 (量子点 )中Si组分对形状演化的影响 .采用UHV CVD方法生长了不同Si组分的SiGe岛 ,用AFM对其形状和尺寸分布进行了分析 ,实验结果表明SiGe岛从金字塔形向圆顶形转变的临界体积随Si组分的增大而增大 .通过对量子...
关键词:量子器件 异质外延生长应变自组装 硅锗量子点 临界体积 硅组分 
Electrical Performance of Electron Irradiated SiGe HBT and Si BJT
《Journal of Materials Science & Technology》2004年第6期706-708,共3页WentaoHUANG JilinWANG ZhinongLIU PeiyiCHEN PeihsinTSIEN XiangtiMENG 
This project is financially supported by the National Natural Science Foundation of China(No.10075029 and 69836020);National“863”Advanced Research Project of China(No.2002AA3Z1230).
The change of electrical performances of 1 MeV electron irradiated silicon-germanium (SiGe) heterojunction bipolar transistor (HBT) and Si bipolar junction transistor (BJT) was studied. After electron irradiation, bot...
关键词:Electron irradiation SiGe HBT Si BJT Electrical performance 
SOI近红外Si_(0.8)Ge_(0.2)/Si横向pin探测器的研制被引量:1
《光电子.激光》2003年第12期1277-1280,共4页莫太山 张世林 郭维廉 郭辉 郑云光 
国家自然科学基金资助项目(69836020);国家重点基础研究973资助项目(2002CB311905)
给出了SOI近红外Si0.8Ge0.2/Si横向pin光电探测器的设计和制作过程。对制得的样管进行了典型光电参数的测试。测试结果表明,探测器的响应波长范围为0.4~1.3μm,峰值响应波长在0.93~0.97μm,峰值波长下响应度达0.38μA/μW,与Si光电探...
关键词:SOI 近红外 Si0.8Ge0.2/Si横向pin探测器 响应波长 响应峰值 光电性能 
多层Ge量子点的生长及其光学特性被引量:5
《Journal of Semiconductors》2003年第9期951-954,共4页邓宁 王吉林 黄文韬 陈培毅 李志坚 
国家自然科学基金 (批准号 :6 9836 0 2 0 );教育部985(批准号 :Jz2 0 0 10 10 )资助项目~~
用超高真空化学气相淀积系统在Si(1 0 0 )衬底上生长了多层Ge量子点 .分别用TEM和AFM分析了埋层和最上层量子点的形貌和尺寸 ,研究了量子点层数和Si隔离层厚度对上层Ge量子点的形状和尺寸分布的影响 .观察到样品的低温PL谱线有明显蓝移 ...
关键词:超高真空化学气相淀积 多层锗量子点 PL谱 
Polysilicon Emitter Double Mesa Microwave P ower SiGe HBT被引量:3
《Journal of Semiconductors》2003年第9期897-902,共6页刘志农 熊小义 黄文韬 李高庆 张伟 许军 刘志弘 林惠旺 许平 陈培毅 钱佩信 
国家自然科学基金资助项目 (批准号 :6 9836 0 2 0 )~~
A new 125mm UHV/CVD SiGe/Si epitaxy equipment SGE500 capable of commercialization is constructed and device-level SiGe HBT material is grown.A polysilicon emitter (PolyE) double mesa microwave power SiGe HBT showing e...
关键词:SIGE HBT microwave power amplifer 
横向SOI锗硅光电探测器的数值模拟被引量:2
《半导体光电》2003年第4期242-244,247,共4页莫太山 张世林 郭维廉 郭辉 郑云光 
国家自然科学基金资助项目(69836020).
 采用Atlas对SOI/CMOS兼容横向pin近红外锗硅光探测器进行了模拟分析。结果显示,外延应变SiGe层产生禁带变窄,形成了横向的二维空穴势阱沟道。在3V反向偏压下,电场沿横向均匀分布,光吸收层基本完全耗尽,光生载流子得到有效收集;与Si的...
关键词:SIGE 近红外光电探测器 器件模拟 
近红外Si_(0.8)Ge_(0.2)/Si横向pin探测器的模拟与测试被引量:1
《固体电子学研究与进展》2003年第3期311-315,共5页莫太山 张世林 郭维廉 郭辉 郑云光 
国家自然科学基金资助项目 (批准号 :6983 60 2 0 )
设计了一种新型叉指状近红外 Si0 .8Ge0 .2 / Si pin横向光电探测器。采用半导体器件模拟软件 Atlas分别对该器件平衡条件下物理特性及反向偏压下电场分布、光电特性进行了模拟 ;对实际制作的光电探测器进行了测试 ,结果表明 :其波长响...
关键词:光电集成电路 Si0.8Ge0.2/Si-pin 横向光电探测器 模拟 光电性能 近红外光 
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