江苏省自然科学基金(BK2008197)

作品数：20被引量：57H指数：5
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相关作者：周海卓志国臧跃徐晓明陈西府更多>>
相关机构：盐城工学院江苏大学常州大学安徽理工大学更多>>
相关期刊：《中国机械工程》《机械设计与制造》《制造业自动化》《机械设计》更多>>
相关主题：化学机械抛光蓝宝石衬底抛光垫LED双面研磨更多>>
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飞轮挤压成型过程有限元仿真分析被引量：1
《机械设计与制造》2016年第12期132-134,共3页姚小强 
江苏省自然科学基金项目(BK2008197)
挤压成型是飞轮的一种新型加工方法,不仅加工效率高、成本低,而且可以有效提高飞轮的机械性能。为了分析挤压成型过程,在ANSYS软件中建立了飞轮挤压的二维轴对称模型,对成型过程中飞轮的等效应力、塑性应变和接触压力进行分析。结果表明...
关键词：飞轮 挤压成型 ANSYS 
全自动快速脱缆装置的设计
《机械工程与自动化》2015年第2期115-116,共2页周海 吴春彪 张圆 冯欢 
江苏省自然科学基金资助项目(BK2008197);江苏省"六大人才高峰"项目(2013-ZBZZ-026);江苏省"青蓝工程"项目;江苏省大学生实践创新训练计划重点项目(2013014)
全自动快速脱缆装置由机械部分和控制部分组成,控制系统中的传感器时刻检测缆绳中拉力并传递至单片机,经单片机分析处理,实现对机械装置的自动控制;机械装置由采用两级杠杆原理所设计的机构和气动执行机构等组成,实现脱钩和复位等机械...
关键词：脱缆装置 自动复位 设计 
蓝宝石衬底化学机械抛光中材料去除特性的研究被引量：5
《制造业自动化》2014年第16期86-89,共4页高翔 周海 黄传锦 冯欢 崔志翔 
江苏省产学研前瞻性创新资金项目(BY2014108-04);江苏省"六大人才高峰"(2013-ZBZZ-026);江苏省高校国际科技合作聘专重点项目(G2012029);江苏省自然科学基金项目(BK2008197);江苏省新型环保重点实验室开放课题项目(AE201120);江苏省高校科研成果产业化推进项目(JH10-X048);江苏省生态环境材料重点建设实验室开放项目(EML2012013)
衬底基片的化学机械抛光(CMP)同时兼顾材料去除率及衬底表面质量,在抛光过程中,化学作用与机械作用相辅相成同时参与抛光,化学作用与机械作用的平衡对能否得到满意的衬底表面有重要有意义。针对蓝宝石衬底基片的CMP材料去除率进行了研究...
关键词：蓝宝石衬底 CMP 材料去除率 压力 平衡 
蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤分布研究被引量：9
《中国机械工程》2014年第19期2568-2572,共5页刘道标 徐晓明 周海 卓志国 臧跃 高翔 
江苏省自然科学基金资助项目(BK2008197);江苏省高校科研成果产业化推进项目(JH10-X048);江苏省"青蓝工程"项目;江苏省新型环保重点实验室开放课题资助项目(AE201120);江苏省生态环境材料重点建设实验室开放课题资助项目(EML2012013);国际科技合作聘请外国专家重点项目(G2012029)
在前人对硬脆性材料亚表面损伤预测理论研究的基础上,建立了蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤层深度与表面划痕深度之间的理论模型（DNR）。通过对双面研磨后的衬底晶片进行KOH轻度化学腐蚀并结合VK-X100/X200形状测量激光显微系统,得到了...
关键词：蓝宝石衬底 双面研磨 亚表面损伤 划痕 化学腐蚀 
氧化镓衬底基片化学机械抛光的研究被引量：3
《机械设计与制造》2014年第8期89-91,共3页高翔 周海 张清 张圆 
江苏省自然科学基金项目(BK2008197);江苏省"青蓝工程";江苏省新型环保重点实验室开放课题基金(AE201120);江苏省生态环境材料重点建设实验室开放课题资助(EML2012013);江苏省国际科技合作聘专重点项目;江苏省大学生创新训练计划项目的资助
针对氧化镓衬底基片的化学机械抛光(CMP)进行了研究。介绍了氧化镓衬底基片的化学机械抛光工艺,讨论了影响抛光结果的因素:p H值、温度、压力、磨粒。通过大量的实验,最终确定了优化方案。提出先以粗抛光去除研磨后产生的划痕、凹坑等...
关键词：氧化镓 化学机械抛光 工艺参数 表面质量 去除率 
多级随机载荷作用下机械零件动态疲劳可靠性模型被引量：2
《机械设计与研究》2014年第3期83-86,共4页王正刚 
江苏省自然科学基金资助项目(BK2008197)
针对机械零件承受的多级随机载荷,首先运用等强度退化量原理推导出多级随机载荷下的机械零件剩余强度模型,由此公式利用矩法得到剩余强度在随机载荷循环下的均值和方差。然后,利用得到的剩余强度均值和方差,基于满足正态分布的假设,根...
关键词：随机载荷 剩余强度 动态 可靠性 零件 
蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤双片式角度抛光法检测被引量：6
《现代制造工程》2014年第5期118-122,36,共6页徐晓明 刘道标 周海 卓志国 臧跃 
江苏省自然科学基金项目(BK2008197);江苏省高校科研成果产业化推进项目(JH10-X048);江苏省新型环保重点实验室开放课题基金项目(AE201120);江苏省生态环境材料重点建设实验室开放课题资助项目(EML2012013);国际科技合作聘专重点资助项目
针对传统角度抛光法检测的不足,提出将双片式角度抛光法用于蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤层深度的检测。双片式角度抛光法采用双晶片重合黏结的实验晶片组测量抛光斜面腐蚀裂纹,避免了传统角度抛光法因抛光斜面和原晶片平面分界边缘难...
关键词：角度抛光 蓝宝石 衬底基片 双面研磨 亚表面损伤 裂纹 斜面倾角 
LED用蓝宝石衬底抛光后湿法清洗研究被引量：1
《机械设计与制造》2014年第1期151-153,共3页卓志国 周海 施建国 冯欢 
江苏省自然科学基金项目(BK2008197);江苏省高校科研成果产业化推进项目(JH10-X048);江苏省"青蓝工程";江苏省新型环保重点实验室开放课题基金(AE201120);江苏省生态环境材料重点建设实验室开放课题资助(EML2012013);国际科技合作聘专重点项目的资助(G2012029)
LED被认为是下一代主要照明工具,其以高质量的衬底基片外延GaN层,目前主要用化学机械抛光后的蓝宝石晶片作为衬底,但抛光后的衬底表面布满杂质,这些杂质会导致外延层缺陷,降低发光率甚至使器件失效。探讨了在蓝宝石衬底清洗过程中,HF、...
关键词：HF 氧化剂 表面活性剂 湿法清洗 蓝宝石衬底 
基于双面研磨轨迹优化的LED用SiC衬底加工被引量：2
《制造业自动化》2013年第10期36-37,41,共3页臧跃 周海 徐晓明 卓志国 
江苏省自然科学基金项目(BK2008197);江苏省高校科研成果产业化推进项目(JH10-X048);江苏省"青蓝工程";江苏省新型环保重点实验室开放课题基金(AE201120);江苏省生态环境材料重点建设实验室开放课题资助(EML2012013);国际科技合作聘专重点项目的资助
本文研究了基于双面研磨轨迹优化的LED用SiC衬底加工方法。为了实现对碳化硅衬底的高效低损伤研磨加工,对碳化硅衬底的行星机构双面研磨轨迹进行了优化。通过选择适当的加工参数,使工件处于摆线中间的环带部分,将有助于对工件进行均匀...
关键词：双面研磨轨迹优化 碳化硅衬底 均匀性 材料去除率 
响应面的移动最小二乘法结构可靠性计算被引量：2
《机械设计》2013年第7期10-14,共5页王正刚 
江苏省自然科学基金资助项目(BK2008197)
针对目前在结构可靠性计算中被广泛应用的传统响应面法存在计算量大,精确度不高,容易产生奇异解,必须知道功能函数才能计算等问题。首先根据最小二乘原理,在只需知道设计验算点对应的功能函数值的情况下,利用权函数的紧支性、非负性、...
关键词：移动最小二乘法 响应面函数 结构 可靠性 
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