中国工程物理研究院科技发展基金(2010A0302013)

作品数：14被引量：28H指数：3
导出分析报告
相关作者：高杨官承秋陈颖慧代富席仕伟更多>>
相关机构：中国工程物理研究院电子工程研究所西南科技大学中国工程物理研究院更多>>
相关期刊：《半导体技术》《传感技术学报》《中国惯性技术学报》《微纳电子技术》更多>>
相关主题：微电子机械系统流量传感器声表面波滤波器叉指换能器IDT更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信一般工业技术更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
AlN压电薄膜的制备工艺被引量：2
《微纳电子技术》2013年第8期506-511,共6页陈颖慧 王旭光 席仕伟 施志贵 姚明秋 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题资助项目(2010A0302013);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室课题资助项目(2012CJMZZ00003;2012CJMZZ00006)
采用射频反应磁控溅射法制备了AlN压电薄膜,并分析了制备条件对AlN薄膜性能的影响。为了确定c轴择优取向生长AlN薄膜的制备工艺参数,设计了关于溅射功率、衬底温度、氮氩体积比和气氛压强这四个参数的工艺实验,研究了不同的工艺条件对Al...
关键词：ALN薄膜 射频反应磁控溅射 c轴择优取向 X射线衍射(XRD) 原子力显微镜(AFM) 
ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作被引量：3
《半导体技术》2013年第6期443-447,478,共6页陈颖慧 郑英彬 席仕伟 唐彬 王旭光 张慧 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2010A0302013);中国工程物理研究超精密加工技术重点实验室课题(2012CJMZZ00003;2012CJMZZ00006)
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/...
关键词：射频微机电系统(RFMEMS) 声表面波滤波器(SAW) 金刚石 氧化锌薄膜 叉指换能器(IDT) 
微加速度计动态离心测试数据采集系统设计
《中国惯性技术学报》2013年第3期415-420,共6页高杨 秦燃 官承秋 李枚 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2010A0302013);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题(11ZXZK03)
为了实现惯性导航或制导系统中微加速度计的动态飞行环境模拟考核,需要对精密静态离心机进行相应的机械和电气改造,并研制新的数据采集系统。文中报道了微加速度计动态离心测试数据采集系统的系统设计方案和软硬件实现,该系统基于虚拟...
关键词：微加速度计 离心机测试 数据采集 虚拟仪器 
闭环微加速度计非线性补偿被引量：1
《微纳电子技术》2013年第5期292-297,共6页谢国芬 杜连明 刘显学 唐彬 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题资助项目(2010A0302013);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室资助项目(2012CJMZZ00003)
离心标定修正微加速度计的非线性存在周期长和成本高等缺点,寻找一种可以提高生产效率的修正办法具有重要意义。推导了理想情况下加速度计的工作原理,并对载波带来的附加静电力对测试结果的影响进行了分析。在引入闭环平衡时结构非对称...
关键词：微加速度计 非对称因子 寄生电容 电路零偏 非线性补偿 
热温差型微流量传感器热敏电阻自热的补偿方法被引量：3
《半导体光电》2013年第1期46-51,共6页代富 高杨 官承秋 周斌 何移 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2010A0302013);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题(11ZXZK03)
分析了热温差型微流量传感器的热敏电阻自热对测量的影响和惠斯通电桥作为前端信号采集电路的不足,提出了相应的解决方法。利用ANSYS软件对热敏电阻自热的各种情况进行了仿真,发现当上下游热敏电阻的功率越接近且值越小时,传感器的输出...
关键词：微电子机械系统 流量传感器 有限元 惠斯通电桥 恒流电路 
热温差型微流量传感器的温度补偿方法研究被引量：1
《微纳电子技术》2013年第1期34-39,共6页代富 高杨 官承秋 周斌 何移 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2010A0302013);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题(11ZXZK03)
热温差型微流量传感器的性能受多个因素的影响,如环境温度的变化、供电电源的波动、加热电阻的冷却和导线电阻的引入等。通过ANSYS软件对环境温度及加热电阻温度的改变进行了有限元仿真,发现当两者的温度差值为恒定值时,传感器的输出信...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 流量传感器 有限元分析 加热电阻 温差 恒流电路 
Ka波段DMTL移相器用RFMEMS电容式并联开关研制(英文)被引量：2
《纳米技术与精密工程》2012年第6期491-496,共6页高杨 贾小慧 秦燃 官承秋 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题资助项目(2008A0403016,2010A0302013);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题资助项目(11ZXZK03)
本文设计并制作了一种用于Ka波段分布式MEMS传输线(DMTL)移相器的MEMS电容式并联开关.通过理论计算和工程经验,大致定义了开关的结构尺寸.采用HFSS软件建立了开关的三维电磁场模型并优化了关键结构参数.仿真表明:开关在Ka波段插入损耗小...
关键词：射频MEMS 电容式并联开关 移相器 驱动电压 
手持式微机械陀螺扫频测试仪的实现
《微纳电子技术》2012年第10期673-678,共6页官承秋 高杨 刘显学 代富 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2010A0302013);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题(11ZXZK03)
传统微机械陀螺的扫频测试一般采用价格昂贵的通用测试仪,其存在测试成本高、效率低等缺点。设计了一种基于现场可编程门阵列(FPGA)的手持扫频测试仪,能够自动进行扫频测试并求取被测微机械陀螺的谐振频率与品质因数,通过手动调节直流...
关键词：微机械陀螺 扫频测试 手持式仪器 现场可编程门阵列(FPGA) 直接数字合成器(DDS) 
电阻悬浮的MEMS热膜式气体流量传感器设计被引量：6
《微纳电子技术》2012年第9期596-606,共11页代富 高杨 官承秋 周斌 何移 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2010A0302013);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题资助项目(11ZXZK03)
设计了一种新型电阻悬浮结构的热膜式气体流量传感器,具有测量精度高、灵敏度好、抗压能力强、微加工工艺简单等特点。采用ANSYS软件对传感器芯片在不同流速下的温度场进行了有限元仿真,得出了上下游温差与流速的关系曲线。通过比较热...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 流量传感器 热膜 悬浮结构 有限元 微加工 
剥离工艺制作SAW滤波器IDT的研究被引量：6
《微纳电子技术》2012年第2期124-128,共5页陈颖慧 高杨 郑英彬 赵兴海 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2010A0302013)
研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器...
关键词：声表面波(SAW) 滤波器 叉指换能器(IDT) 剥离 陡直度 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部