教育部“新世纪优秀人才支持计划”(130951862)

作品数：10被引量：13H指数：2
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NOA73材料的微透镜阵列快速制造技术被引量：1
《中国激光》2016年第7期155-161,共7页崔建利 张斌珍 段俊萍 赵龙 南雪莉 刘源 
国家自然科学基金项目(61401405;51475438);山西省基础研究项目(2014011021-4);新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862)
针对传统微透镜阵列制作工艺复杂、成本高、周期长等缺点,研究了一种低成本、高效率制作微透镜阵列的技术方法。以SU-8负性光刻胶为主模结构材料,采用2次紫外斜曝光工艺,加工出主光轴平行于硅基的微透镜阵列作为主模结构。依次采用聚二...
关键词：光学器件 微透镜阵列 NOA73 斜曝光 聚二甲基硅氧烷 软光刻 
小型宽频带六边形缝隙天线的设计被引量：2
《固体电子学研究与进展》2016年第2期132-135 158,共5页葛少雷 张斌珍 段俊萍 南雪莉 崔建利 寇海容 杨昕 
国家自然科学基金资助项目(61401405;51475438);山西省基础研究项目(2014011021-4);新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862)
提出了一种小型宽频带的六边形缝隙天线。通过在接地面的中心位置刻蚀出六边形缝隙并加载和缝隙形状相似的的寄生贴片实现了天线的宽频带。用仿真软件HFSS对天线进行仿真分析,并对天线进行了实际测试。结果表明,所提出的天线的带宽达到...
关键词：六边形缝隙天线 宽频带 寄生贴片 
MEMS射频同轴线的仿真与工艺研究被引量：4
《中北大学学报（自然科学版）》2015年第6期713-718,共6页高荣惠 赵龙 崔建利 张斌珍 
国家自然科学基金资助项目(61401405);国家自然科学基金资助项目(51475438);山西省基础研究项目(2014011021-4);新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862)
以SU-8方形柱作为支撑衬底,初步设计中心频率为38GHz空气填充的微型矩形同轴线,通过HFSS电磁仿真软件对设计的结构进行模拟仿真与优化,并结合实际加工工艺和测试条件,最终确定中心同轴的横截面为200μm×200μm,外壁内表面的横截面为500...
关键词：同轴传输线 光刻 电镀 SU-8 RF MEMS 
基于紫外厚胶的微悬臂结构设计与加工被引量：1
《科学技术与工程》2015年第30期128-131,共4页赵龙 张斌珍 段俊萍 崔建利 
国家自然科学基金(61401405);(51475438);山西省基础研究项目(2014011021-4);新世纪优秀人才支持计划(130951862)资助
研究了一种以SU-8光刻胶为结构材料的微悬臂结构。通过控制紫外光刻过程中的曝光剂量,仅仅使光刻胶的上部分发生交联,下部分的光照强度不足以发生交联反应,制作了厚度从149μm到345μm不等的微悬臂结构,并通过分析得出了悬臂厚度与曝光...
关键词：微悬臂梁 曝光剂量 SU-8 交联反应 紫外光刻 
基于紫外厚胶的探针加工工艺被引量：1
《微纳电子技术》2015年第4期256-260,共5页王伟 张斌珍 贾志浩 段俊萍 崔建利 赵龙 
国家自然科学基金资助项目(61401405;51475438);山西省基础研究资助项目(2014011021-4);新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862)
研究了一种基于紫外厚胶SU-8的亚毫米探针的加工工艺,通过溶液间的界面张力形成微球,再由深紫外光刻形成微柱。这种新技术利用紫外LIGA技术替代较为复杂昂贵的深反应离子刻蚀(DRIE)技术,使用甘油补偿紫外胶与空气之间的折射率差,使紫外...
关键词：微机电系统(MEMS) SU-8胶 探针 坐标测量机 折射率补偿 
基于MEMS开关的射频衰减器的设计制作被引量：2
《微纳电子技术》2015年第3期162-166,203,共6页贾志浩 段俊萍 王伟 毛静 崔建利 赵龙 王明焕 张斌珍 
国家自然科学基金资助项目(61401405;51475438);山西省基础研究项目(2014011021-4);新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862)
提出了一种基于微机电系统(MEMS)开关的射频衰减器的设计方案。首先在DC^20 GHz内,以10 dB衰减量为目标,对整体电路结构进行设计,选择以共面波导(CPW)为传输线,接触式MEMS开关作为控制器件,同时以开关中的电容作为断路时的平衡器件进行...
关键词：MEMS开关 共面波导(CPW) 射频衰减器 UV-LIGA 宽频带 
流式细胞仪系统中液体变焦透镜的设计与制作
《光电子．激光》2015年第2期403-408,共6页贾志浩 段俊萍 王伟 毛静 王明焕 张斌珍 
国家自然基金(61401405,51475438);山西省基础研究(2014011021-4);新世纪优秀人才支持计划(130951862)资助项目
以聚二甲基硅烷(PDMS)为基础,设计制作了一种封闭式液体变焦透镜。通过对PDMS薄膜形变情况的仿真分析,利用Matlab数学建模与ANSYS结构仿真,得到薄膜形变结果,确定了合理的透镜腔体结构。在制备工艺上,首先利用SU-8模型制作了PDMS透镜腔...
关键词：变焦透镜 薄膜形变 聚焦测试 
混有Fe_3O_4纳米颗粒的PDMS薄膜磁力激励变形研究被引量：3
《功能材料》2014年第18期18099-18103,18106,共6页段俊萍 王春水 张斌珍 王万军 
国家自然科学基金资助项目(61176115;91123016);新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862)
采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)为基体,以经硅烷偶联剂(KH-570)处理过的20nm Fe3O4纳米颗粒为填充物,将这两种材料以不同比例进行混合得到磁性PDMS薄膜,对该磁性薄膜受力进行理论分析,用微米X射线三维成像系统测试同一永磁铁激励下不同半径...
关键词：磁性薄膜 FE3O4纳米颗粒 PDMS 薄膜变形 
微型电磁继电器的仿真与加工工艺研究
《电子器件》2014年第6期1057-1061,共5页段俊萍 曹合适 张斌珍 王万军 贾志 
国家自然科学基金项目(61401405;51475438);山西省基础研究项目(2014011021-4);新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862)
设计了一种新型的MEMS微型继电器,该继电器采用电磁驱动方式,继电器大小约为1.2 mm×1 mm×1 mm,驱动力大、体积小、便于集成。用ANSYS和MATLAB仿真分析各参数对微继电器性能的影响,对其进行优化分析和理论验证。该微型继电器能产生最大...
关键词：电磁继电器 电磁驱动 UV-LIGA 电镀 
反面水浴斜曝光法制作三维微透镜阵列
《微纳电子技术》2013年第10期646-651,共6页吴淑娟 张斌珍 王伟 王春水 
国家自然科学基金面上项目(61176115);新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862)
提出一种反面水浴斜曝光的方法用于制作主光轴平行于基底的微透镜阵列。已有的水浴斜曝光法中,由于基底处光刻胶获得曝光剂量较少而不易充分交联固化,在显影时出现与基底粘附不牢固,导致成品率较低。反面水浴斜曝光的方法,是通过光刻以...
关键词：三维 微透镜阵列 主光轴水平 反面水浴曝光 SU-8光刻胶 
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