云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 原子层沉积

原子层沉积: 作品数：428被引量：575H指数：10; 导出分析报告; 相关领域：电子电信理学更多>>; 相关作者：陈蓉夏洋覃勇卢维尔单斌更多>>; 相关机构：华中科技大学中国科学院微电子研究所朗姆研究公司中国科学院更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金北京市自然科学基金更多>>

利用原子层沉积技术实现有机电致发光器件的薄膜封装被引量：2: 《发光学报》2022年第8期1281-1299,共19页刘春艳王源殷成雨李泽王振宇范思雨姜文龙段羽; 国家自然科学基金(61974054,61675088);吉林省国际科技合作项目(20190701023GH);吉林省科技发展计划(20200401045GX,20190302011G)资助项目。; 有机电致发光器件(Organic light emitting diode,OLED)具有轻薄、便于携带、自发光、能耗低、亮度更大、柔性显示等特点,可以增加显示产品的附加值,因此被科学和产业界广泛关注。然而,OLED器件中的有机材料对空气中的水汽和氧气十分敏...; 关键词：薄膜封装有机电致发光器件原子层沉积柔性显示水汽透过率

中红外仿生复合微纳结构减反射表面研究被引量：3: 《光学学报》2022年第10期247-255,共9页马子烨欧阳名钊付跃刚吴锦双周见红任航张自强; 国家自然科学基金(61705018);中国中央政府地方科技发展基金会(202002037JC);中国111工程(D21009,D17017);吉林省科技发展计划项目(20190302098G);吉林省教育厅科学技术研究项目(JJKH20210814KJ)。; 利用原子层沉积技术共形生长的特点,同时利用自组装掩模刻蚀技术,在单晶硅基底上制备了具有低深宽比和满占空比特点的Al_(2)O_(3)-Si复合微纳结构表面。光谱反射率测试结果表明,在底端满占空比、微结构深宽比接近1:1的情况下,入射角在8...; 关键词：薄膜复合微纳结构表面氧化铝原子层沉积中红外抗反射弹性恢复率

氮钝化对Te掺杂GaSb材料光学性质的影响被引量：4: 《光子学报》2018年第3期57-62,共6页容天宇房丹谷李彬方铉王登魁唐吉龙王新伟王晓华; 国家自然科学基金(Nos.61404009;61474010;61574022;61504012;61674021;11674038);吉林省科技发展计划(Nos.20160519007JH;20160101255JC;20160204074GX;20170520117JH)资助~~; 利用等离子体增强原子层沉积系统,使用氮等离子体对Te掺杂GaSb的表面进行刻蚀,改善样品的发光特性.在室温下(300K),发光强度提高了4倍.在低温光谱测试中,发现了由Te掺杂导致的TeSb施主缺陷相关的发光峰,峰位位置在0.743eV处;此外,带边...; 关键词：光致发光钝化 GASB 等离子体增强原子层沉积氮等离子体

氮δ掺杂Cu_2O薄膜的生长及物性研究被引量：2: 《中国激光》2018年第1期135-139,共5页李微潘景薪王登魁方铉房丹王新伟唐吉龙王晓华孙秀平; 国家自然科学基金(61404009);吉林省科技发展计划(20170520118JH);长春理工大学科技创新基金(XJJLG-2016-14); 采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)技术,以NH3为掺杂源,制备了氮δ掺杂Cu_2O薄膜,研究了N掺杂对Cu_2O薄膜表面形貌、光学及电学性质的影响。研究结果表明,N掺杂引起了晶格畸变,Cu_2O薄膜的表面粗糙度增大;掺杂后Cu_2O薄膜的带隙宽度从2...; 关键词：材料等离子体增强原子层沉积氮δ掺杂 Cu2O薄膜 NH3掺杂源

PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文）被引量：2: 《红外与激光工程》2016年第4期212-215,共4页陈芳方铉王双鹏牛守柱方芳房丹唐吉龙王晓华刘国军魏志鹏; 国家自然科学基金(61076039,61204065,61205193,61307045);高等学校博士学科点专项科研基金(20112216120005);吉林省科技发展计划(20121816,201201116);高功率半导体激光国家重点实验室基金(9140C310101120C031115); 研究通过等离子增强原子层沉积（PEALD）在不同沉积温度下生长的A1N温度对其特性的影响。前驱体是NH3和TMA，在300oC、350oC和370oC沉积温度下分别沉积了200、500、800、1000、1500周期的A1N层，并讨论了A1N薄膜的生长速率、结晶化和表...; 关键词：氮化铝等离子增强原子层沉积生长速率结晶化表面粗糙度沉积温度

扩散掺杂的p型ZnO薄膜的光学性质研究被引量：1: 《光谱学与光谱分析》2015年第7期1787-1790,共4页陈芳房丹王双鹏方铉唐吉龙赵海峰方芳楚学影李金华王菲王晓华刘国军马晓辉魏志鹏; 国家自然科学基金项目(61076039,61204065,61205193,61307045,61404009,61474010);高等学校博士学科点专项科研基金项目(20112216120005);吉林省科技发展计划项目(20121816,201201116);高功率半导体激光国家重点实验室基金项目(9140C310104110C3101,9140C310102130C31107,9140C3101024C310004,9140C310101120C031115)资助; 采用原子层沉积技术(atomic layer deposition)在InP衬底上生长ZnO薄膜,并在不同温度下(500和700℃)进行热退火处理,将P掺杂进入ZnO,得到p型ZnO薄膜。样品的光学特性通过光致发光光谱(photoluminescence,PL)来测定,得出热退火温度是影响...; 关键词：扩散掺杂 P型ZNO P掺杂原子层沉积光致发光

低温原子层沉积氧化铝作为有机电致发光器件的封装薄膜被引量：9: 《发光学报》2014年第9期1087-1092,共6页杨永强段羽陈平赵毅; 科技部国际科技合作项目(2014DFG12390);国家高技术研究发展计划(2011AA03A110);国家重点基础研究发展计划(2010CB327701;2013CB834802);国家自然科学基金(61275024;61274002;61275033;61377206;41001302);吉林省科技发展计划(20140101204JC;20130206020GX;20140520071JH);长春市科技发展计划(13GH02)资助项目; 为了克服传统的原子层深沉积反应温度高于有机材料的玻璃化温度对有机电致发光器件性能产生破坏的缺点,使用低温原子层沉积的方法沉积了Al2O3薄膜,成功地实现了对OLED的薄膜封装。实验中为了抑制环境温度对ALD薄膜均匀性的影响,增加了...; 关键词：原子层沉积薄膜均匀低温

有机/无机/有机结构的封装薄膜水汽透过率研究被引量：4: 《光电子．激光》2014年第9期1721-1726,共6页高强杨丹杨永强陶冶刘云飞段羽陈平; 国家科技计划项目(2014DFG12390);国家高科技研究发展计划(2011AA03A110);国家重点基础研究发展计划(2010CB327701;2013CB834802);国家自然科学基金(61275024;61274002;61275033;6137706;41001302);吉林省科技发展计划(20140101204JC;20140520071JH);长春市国际合作科技计划(13GH02);集成光电子国家重点实验室开放课题(IOSKL2012KF01)资助项目; 为了减少原子层沉积(ALD)方法在氧化物薄膜制备过程中ALD反应气对有机电致发光器件(OLED)性能的影响,利用旋涂光交联聚合物技术,直接在OLED上形成有机/无机/有机3层结构的保护薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)的表面...; 关键词：原子层沉积(ALD) Ca电学测试有机/无机/有机3层封装结构

退火温度对原子层沉积法制备ZnMgO薄膜结构和光学性能的影响被引量：3: 《光谱学与光谱分析》2014年第7期1789-1792,共4页孙冬晓李金华方铉陈新影方芳楚学影魏志鹏王晓华; 国家自然科学基金项目(61006065;61076039;61204065;61205193;61307045);高等学校博士学科点专项科研基金项目(20102216110001;20102216120002;20112216120005);吉林省自然科学基金项目(20101546);吉林省科技发展计划项目(20121816;201201116);吉林省教育厅项目(2011JYT05;2011JYT10;2011JYT11);高功率半导体激光国家重点实验室基金项目(9140C310101120C031115);长春市国际科技合作计划项目(2010CC02);吉林农业大学科研启动基金项目(201238)资助; 针对目前关于退火温度对原子层沉积法(ALD)制备ZnMgO薄膜晶体结构和光学性质影响鲜有报道的现象,进行了相应的实验研究分析。采用ALD在石英衬底上制备ZnMgO合金薄膜,对制得的样品在空气中进行不同温度的退火处理。利用X射线多晶衍射仪(X...; 关键词：原子层沉积 ZNMGO薄膜退火温度

有机电致发光器件的新型薄膜封装技术研究被引量：7: 《光电子．激光》2014年第5期840-844,共5页骆杨李天骄段羽; 国家高科技研究发展计划(2011AA03A110);国家重点基础研究发展计划(2010CB327701);国家自然科学基金(61275024,61274002,60706018,60906021,60977024,60876032,60907013);吉林省科技发展计划(201101034);教育部高等学校博士学科点专项科研基金(20070183088)资助项目; 针对有机电致发光器件(OLED)在空气中水汽和O2作用下寿命下降的问题,提出一种对OLED进行薄膜封装方法。封装薄膜由电子束蒸镀Al2O3薄膜和原子层沉积(ALD,atomic layer deposition)Al2O3薄膜相结合形成。利用Ca薄膜电学测试方法测定封装...; 关键词：薄膜封装水汽透过率(WVTR) 原子层沉积(ALD)

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