微波等离子体化学气相沉积

作品数：154被引量：354H指数：9
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单晶-多晶金刚石的拼接工艺研究
《陶瓷学报》2020年第5期700-707,共8页陈梦唤 易剑 满卫东 江南 
宁波市“科技创新2025”重大专项(2018B10046);国家重点研发计划(2017YFE0128600);宁波市“3315计划”(2019A-18-C);国防重点实验室基金(6142807180511,6142905192806);河南省科技攻关项目(192102210244)。
以多晶金刚石作为支架,单晶金刚石作为镶嵌体,通过微波等离子体化学气相沉积法在950℃和1.0%甲烷浓度下制备了结晶质量较好的单晶-多晶金刚石复合片。利用扫描电子显微镜(SEM)和显微拉曼光谱(Raman)和红外光谱(IR)等对复合片的界面进行...
关键词：金刚石 微波等离子体化学气相沉积 界面 拼接 热导率 
MPCVD法合成单晶金刚石的研究及应用进展被引量：13
《真空与低温》2015年第3期131-138,共8页阳硕 满卫东 赵彦君 何莲 肖雄 
国家自然科学基金(NO.11175137)
单晶金刚石因其优异的物理化学性质,使其成为高新技术领域最有潜力的材料之一。本文首先对CVD(化学气相沉积)法制备单晶金刚石进行了简介,然后对MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)制备单晶金刚石过程中衬底选择、预处理、沉积参数等进行...
关键词：单晶金刚石 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD) 高技术应用 
提高MPCVD金刚石薄膜均匀性的研究被引量：1
《硬质合金》2015年第3期213-220,共8页赵彦君 何莲 阳硕 张文豪 满卫东 
国家自然科学基金(NO.11175137);武汉工程大学第九期校长基金(NO.2014028)
金刚石具有诸多优异的物理和化学性质,使得它在许多高新技术领域如:热沉、光学窗口、光导探测器等方面拥有广阔的应用前景。MPCVD法制备金刚石薄膜具有无极放电、沉积温度低等独特优势,是最具潜力制备高质量均匀金刚石薄膜的方法。文章...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 均匀性 偏压 沉积参数 金刚石薄膜 
MPCVD法制备石墨烯的研究进展
《真空与低温》2014年第4期201-208,共8页游志恒 满卫东 涂昕 阳朔 
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法是近年来发展起来的制备石墨烯的新方法,具有低温生长、基底材料选择广泛、容易掺杂等优点,逐渐成为制备高质量石墨烯的主要方法。首先通过分析制备石墨烯的几种主要方法(微机械剥离法、Si C外延生长...
关键词：石墨烯 制备 微波等离子体化学气相沉积 研究进展 
微波等离子体化学气相沉积法制备石墨烯的研究进展被引量：3
《真空与低温》2014年第2期63-70,76,共9页涂昕 满卫东 游志恒 阳朔 
湖北省自然科学基金:11104211;武汉工程大学第四届研究生创新基金项目:CX201236
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法具有低温生长、基底材料选择广泛、容易掺杂等优点,是大面积、高速率、高质量石墨烯制备的首选。首先通过比较制备石墨烯的几种主要CVD方法得出MPCVD法的优势,然后阐述了MPCVD法制备石墨烯的研究,最...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 石墨烯 研究 应用 
一种提高MPCVD法制备金刚石膜均匀性的方法被引量：3
《硬质合金》2014年第1期23-29,共7页涂昕 满卫东 游志恒 阳朔 
湖北省自然科学基金(11104211)
采用自制的1 kW石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积装置,以氢气和甲烷作为气源在镜面抛光的(100)面单晶硅片上沉积了金刚石薄膜。实验共制得两个样品,其中一个样品在制备的过程中加装了难熔的金属钽环,利用等离子体易吸附于金属钽环表...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 金刚石膜 均匀性 方法 
PCB钻头上金刚石涂层的制备被引量：7
《硬质合金》2009年第1期29-33,共5页谢鹏 汪建华 满卫东 王传新 王升高 李远 
国家自然科学基金(50572075);湖北省教育厅2004年创新团队项目;湖北省教育厅Q20081505项目
本文在直径为0.8mm硬质合金钻头上进行沉积金刚石涂层的研究。在沉积之前,先用硝酸和铁氰化钾进行腐蚀处理,以去除表面的Co。用微波等离子体CVD设备进行金刚石的沉积。在金刚石涂层沉积过程中,钻头尖端在微波电磁场中产生辉光放电现象,...
关键词：金刚石涂层 PCB钻头 微波等离子体化学气相沉积 硬质合金 
甲烷浓度对批量生产金刚石涂层刀片的影响被引量：6
《硬质合金》2008年第3期154-157,共4页满卫东 谢鹏 汪建华 孙蕾 余学超 
湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助项目(2004);湖北省教育厅Q20081505项目;武汉工程大学绿色化工过程省部共建教育部重点实验室2008年度开放基金RGCT200801;武汉工程大学第三届大学生校长基金;武汉工程大学研究生教育创新基金对本研究的支持
采用微波等离子体CVD(MWCVD)法小批量地生产了金刚石涂层刀片,在金刚石薄膜沉积的过程中,研究了碳源浓度对沉积金刚石膜的均匀性的影响。用扫描电子显微镜(SEM)和激光拉曼光谱(Raman)对薄膜的表面形貌和质量进行了表征。结果表明较低的...
关键词：金刚石涂层 硬质合金刀片 微波等离子体化学气相沉积 甲烷浓度 
微波等离子体同质外延修复金刚石的研究被引量：9
《人工晶体学报》2008年第5期1157-1161,共5页满卫东 谢鹏 吴宇琼 孙蕾 汪建华 
湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助项目(2004);湖北省教育厅项目(Q20081505);湖北省新型反应器与绿色化学工艺重点实验室资助课题(RGGT200801)
用微波等离子体化学气相沉积法同质外延生长了有缺陷的金刚石颗粒。在同质外延之前,研究了温度因素对金刚石生长表面形貌的影响,研究表明适宜金刚石同质外延的温度范围非常窄,在1030℃左右;温度低于920℃,大尺寸的金刚石单晶颗粒就很难...
关键词：同质外延 金刚石 微波等离子体化学气相沉积 
微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置的研究进展被引量：9
《真空与低温》2008年第1期1-5,共5页黄建良 汪建华 满卫东 
国家计委新材料领域重大专项项目([2001]475号)资助
综述了各种微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜装置的结构及工作原理,并对它们各自的优缺点做了比较分析;基于MPCVD金刚石膜装置的发展现状,构想设计了一种新型高效的大功率大面积快速沉积CVD金刚石膜装置,并对其可行性做了初步...
关键词：金刚石膜 微波 化学气相沉积 装置 
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