孙蕾

作品数：13被引量：48H指数：4
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供职机构：武汉工程大学更多>>
发文主题：金刚石金刚石膜微波等离子体金刚石薄膜化学气相沉积更多>>
发文领域：化学工程金属学及工艺一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《工具技术》《真空与低温》《金刚石与磨料磨具工程》《微细加工技术》更多>>
所获基金：湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目国家自然科学基金教育部重点实验室开放基金湖北省教育厅资助项目更多>>
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微波CVD金刚石热沉片的制备研究被引量：3
《真空与低温》2009年第1期9-13,共5页熊礼威 汪建华 满卫东 谢鹏 孙蕾 吴斌 刘长林 
湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目(2004419)资助。
采用化学气相沉积法(CVD)制备的金刚石薄膜具有接近于天然金刚石的导热性能,是目前最为理想的热沉材料。利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)制备了金刚石热沉片,并在此基础上研究了不同沉积工艺对金刚石热沉片散热性能的影响。采用...
关键词：微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜 热沉片 
多晶硅薄膜太阳能电池的研究现状被引量：12
《世界科技研究与发展》2008年第6期688-693,共6页吴斌 汪建华 满卫东 熊礼威 谢鹏 孙蕾 
湖北省教育厅项目(Q20081505等离子体辅助固体接触法图形化CVD金刚石膜的研究);武汉工程大学绿色化工过程省部共建教育部重点实验室2008年度开放基金(RGCT200801)
综述了各类太阳能电池的优缺点和研究应用现状,介绍了多晶硅薄膜太阳能电池的基本结构及制备工艺和多晶硅薄膜的各种不同制备方法及其优缺点,最后对多晶硅薄膜太阳能电池的研究及应用前景进行了展望。
关键词：太阳能电池 多晶硅 薄膜 
图形化CVD金刚石膜的新方法——等离子体辅助固体刻蚀法被引量：1
《金刚石与磨料磨具工程》2008年第6期1-4,8,共5页满卫东 孙蕾 吴宇琼 谢鹏 余学超 汪建华 
国家自然科学基金项目(50572075);湖北省教育厅项目(Q20081505);2008开放基金项目:(RGCT200801)
金刚石膜是一种具有巨大应用潜力的新型功能材料,但是它极高的硬度和化学稳定性使其难以被加工成型,因此如何对金刚石膜表面进行精确的图形化加工是实现制造金刚石器件的关键技术问题之一。在本研究中,我们用微波等离子体化学气相沉积...
关键词：金刚石膜 刻蚀 等离子体 图形化加工 
甲烷浓度对批量生产金刚石涂层刀片的影响被引量：6
《硬质合金》2008年第3期154-157,共4页满卫东 谢鹏 汪建华 孙蕾 余学超 
湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助项目(2004);湖北省教育厅Q20081505项目;武汉工程大学绿色化工过程省部共建教育部重点实验室2008年度开放基金RGCT200801;武汉工程大学第三届大学生校长基金;武汉工程大学研究生教育创新基金对本研究的支持
采用微波等离子体CVD(MWCVD)法小批量地生产了金刚石涂层刀片,在金刚石薄膜沉积的过程中,研究了碳源浓度对沉积金刚石膜的均匀性的影响。用扫描电子显微镜(SEM)和激光拉曼光谱(Raman)对薄膜的表面形貌和质量进行了表征。结果表明较低的...
关键词：金刚石涂层 硬质合金刀片 微波等离子体化学气相沉积 甲烷浓度 
CVD金刚石薄膜半导体材料的研究进展被引量：11
《真空与低温》2008年第3期134-139,171,共7页孙蕾 满卫东 汪建华 谢鹏 熊礼威 李远 
湖北省教育厅Q20081505项目的资助;武汉工程大学绿色化工过程省部共建教育部重点实验室开放基金RGCT200801的资助。
含Ⅲ族与Ⅴ族元素掺杂的金刚石是宽禁带的半导体材料,同时具有优异的物理和化学特性,在电子器件与光电子器件方面的应用具有极大潜力,成为近几年来国内外研究的热点之一。介绍了目前常用的掺杂方法、技术水平及金刚石半导体的应用前景。
关键词：金刚石薄膜 掺杂 半导体 N型 P型 
CVD金刚石膜表面图形化加工技术的研究
《微细加工技术》2008年第3期25-29,共5页满卫东 孙蕾 吴宇琼 谢鹏 余学超 汪建华 
国家自然科学基金资助项目(50572075);湖北省教育厅2004年创新团队项目资助;湖北省教育厅资助项目(Q20081505)
首先用CVD法制备金刚石厚膜,接着在其表面利用氢等离子体辅助刻蚀,然后在铁薄膜的催石墨化作用下,对金刚石膜的表面进行了选择性的刻蚀。结果表明,在氢等离子体的辅助作用下,铁薄膜可以持续对CVD金刚石膜进行刻蚀;如果控制铁薄膜的形状...
关键词：金刚石膜 图形化加工 刻蚀 等离子体 
基片位置对微波等离子体合成金刚石的影响被引量：3
《真空与低温》2008年第3期140-144,共5页满卫东 孙蕾 谢鹏 汪建华 
湖北省教育厅创新团队项目(2004)资助。
用自制的微波功率为5kW的微波等离子体(MPCVD)装置、用H2/CH4/H2O作为反应气体在较高的沉积气压(12.0kPa)条件下,研究了基片放置在等离子体球边缘附近不同位置对CVD金刚石沉积和生长的影响。结果表明,CVD金刚石的形核和生长对环境的要...
关键词：化学气相沉积 金刚石 微波等离子体 生长 
微波等离子体同质外延修复金刚石的研究被引量：9
《人工晶体学报》2008年第5期1157-1161,共5页满卫东 谢鹏 吴宇琼 孙蕾 汪建华 
湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助项目(2004);湖北省教育厅项目(Q20081505);湖北省新型反应器与绿色化学工艺重点实验室资助课题(RGGT200801)
用微波等离子体化学气相沉积法同质外延生长了有缺陷的金刚石颗粒。在同质外延之前,研究了温度因素对金刚石生长表面形貌的影响,研究表明适宜金刚石同质外延的温度范围非常窄,在1030℃左右;温度低于920℃,大尺寸的金刚石单晶颗粒就很难...
关键词：同质外延 金刚石 微波等离子体化学气相沉积 
微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备被引量：4
《金刚石与磨料磨具工程》2008年第2期1-4,共4页满卫东 孙蕾 吴宇琼 谢鹏 余学超 汪建华 
国家自然科学基金资助项目(50572075);湖北省教育厅2004年创新团队项目
由于金刚石具有室温下最高的热导率,因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管(LED)理想的散热材料。本文利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长。用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石...
关键词：微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜 散热片 LED 
关于CVD金刚石表面图形化的研究进展被引量：2
《真空与低温》2008年第2期63-67,共5页满卫东 谢鹏 吴宇琼 孙蕾 汪建华 
国家自然科学基金(No:50572075)资助;湖北省教育厅Q20081505项目(2004)资助
金刚石膜是一种具有巨大应用潜力的新型功能材料, 但是它极高的硬度和良好的化学稳定性使其难以被加工成型, 因此如何对金刚石膜表面进行精确的图形化加工是实现制造金刚石器件的关键技术问题之一。系统地介绍了金刚石表面各种图形化的...
关键词：金刚石 图形化 刻蚀 等离子体 
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