刘长林

作品数:6被引量:30H指数:4
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供职机构:武汉工程大学更多>>
发文主题:微波等离子体微波等离子体炬等离子体炬金刚石电场分布更多>>
发文领域:理学电子电信一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊:《低温物理学报》《材料导报》《真空与低温》《强激光与粒子束》更多>>
所获基金:湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目国家自然科学基金更多>>
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常压微波等离子体炬装置的模拟与设计被引量:9
《强激光与粒子束》2011年第6期1504-1508,共5页刘繁 汪建华 王秋良 戴松元 刘长林 
湖北省教育厅项目(Q20081505)
介绍了一台低成本的常压微波等离子体炬设备,给出了该设备构造及喷嘴的设计思路,分析了各种气体的非磁化微波等离子体的击穿电场强度,数值求解了设备中矩形TE103谐振腔中的电磁场分布,应用高频电磁场模拟分析软件HFSS优化了喷嘴在波导...
关键词:微波等离子体炬 常压 数值模拟 电场分布 
大气微波等离子体炬装置设计及实验研究被引量:4
《低温物理学报》2011年第2期112-115,共4页刘长林 汪建华 熊礼威 刘繁 
湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目(项目编号2004419)资助课题~~
大气微波等离子体矩具有无电极放电污染、无需昂贵真空设备和易于连续化加工等特点,具有广阔的应用前景.本文设计了一套基于BJ26波导的微波能利用率高、稳定性好的大气微波等离子体装置.该装置由最高输出功率为800W的2.45GHz程控微波源...
关键词:大气压力 等离子体炬 等离子体波导 放电 
PET材料表面制备氧化硅薄膜的研究被引量:6
《武汉工程大学学报》2010年第5期70-73,共4页刘玉兰 汪建华 熊礼威 刘长林 
为了满足材料在饮料、啤酒等包装领域方面的要求,在PET材料内壁涂覆氧化硅薄膜是一种十分有效的方法.本文分别使用磁控溅射法和微波等离子体化学气相沉积法(PECVD)在PET材料表面制备了氧化硅薄膜,通过结果分析,对两种方法从原理、各自...
关键词:PET 氧化硅薄膜 磁控溅射 PECVD 阻隔性能 
金刚石半导体研究进展被引量:8
《材料导报》2010年第7期117-121,共5页熊礼威 汪建华 满卫东 刘长林 翁俊 
湖北省教育厅项目(Q20081505)
金刚石具有一系列优异的物理化学性能,特别是独特的电学和热学性能,使其在半导体领域具有极佳的应用前景。通过详细评述金刚石的各种性能,以及与其他半导体材料的性能比较,提出了金刚石在半导体器件应用领域的优势。详细介绍了金刚石半...
关键词:金刚石 半导体 掺杂 
ZnO薄膜的制备及p型掺杂研究进展被引量:2
《真空与低温》2009年第2期63-69,共7页刘长林 汪建华 熊礼威 翁俊 王文君 李远 陈冠虎 
湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目(2004419)资助。
氧化锌是一种在声表面波传感器、压电器件以及太阳能电池等方面具有很好应用前景的材料。介绍了目前制备ZnO薄膜的主要方法,综述了ZnO薄膜p型掺杂的研究现状,并对ZnO薄膜的研究进行了展望。
关键词:ZNO薄膜 制备方法 P型掺杂 
微波CVD金刚石热沉片的制备研究被引量:3
《真空与低温》2009年第1期9-13,共5页熊礼威 汪建华 满卫东 谢鹏 孙蕾 吴斌 刘长林 
湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目(2004419)资助。
采用化学气相沉积法(CVD)制备的金刚石薄膜具有接近于天然金刚石的导热性能,是目前最为理想的热沉材料。利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)制备了金刚石热沉片,并在此基础上研究了不同沉积工艺对金刚石热沉片散热性能的影响。采用...
关键词:微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜 热沉片 
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