微传感器

作品数：328被引量：985H指数：15
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基于梳齿间距MEMS工艺误差的微传感器电容与静电力分布模型被引量：1
《仪表技术与传感器》2010年第3期12-14,18,共4页戴强 于奇 束平 杨洪东 张国俊 
国家自然科学基金项目(60576007)
在理论分析与模拟仿真基础上,提出了由于梳齿微细加工误差所引起的电容和静电力概率分布模型。该模型表明电容和静电力均为类高斯分布,它们在一定区段出现的可能性可根据其准期望和准方差确定,且该准期望与无加工误差情况相比均有小于5...
关键词：微传感器 电容分布 静电力分布 概率模型 MEMS工艺误差 
微传感器压力测量系统被引量：2
《仪表技术与传感器》2007年第8期64-65,共2页杨世忠 邢丽娟 
压力是应用最为广泛的物理参数之一,压力测量在工业生产中必不可少。在研究微电容传感器的基础上,分析了压力测量的工作原理,提出一种基于微电容传感器的压力测量的设计方法,给出适合该种传感器的信号检测电路和压力测量系统组成。实践...
关键词：压力 微传感器 电容式 测量 
一种压阻式微压力传感器被引量：24
《仪表技术与传感器》2006年第7期1-2,5,共3页李伟东 吴学忠 李圣怡 
国家自然科学基金资助项目(基金编号:50375154)
微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的微器件之一,它结构简单、用途广。基于压阻效应、惠斯顿电桥等相关知识设计了一种压阻式微压力传感器。为增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。基于一些相关的微加工工艺制定了制...
关键词：微机电系统 压阻式 微传感器 测试系统 
基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计被引量：2
《仪表技术与传感器》2003年第8期6-8,共3页颜黄苹 冯勇建 陈曦 卞剑涛 
采用溶胶-凝胶(Sol gel)法制备氧敏感膜,并对其不同的药品配比进行成膜质量与响应时间的测试与比较。设计一系列实验对该传感器的氧敏感机理进行研究。结合MEMS技术,设计MOSFET氧气微传感器结构,在器件中集成了加热元件和测温元件。实...
关键词：氧敏感膜 微传感器 MEMS 溶胶-凝胶法 设计 氧气传感器 MOSFET 
MEMS传感器性能提高相关技术研究被引量：4
《仪表技术与传感器》2003年第1期8-9,25,共3页黄树森 李昕欣 王跃林 鲍敏杭 
在分析MEMS(微电子机械系统 )传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后 ,提出了MEMS传感器技术实用化的关键———提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构。
关键词：微电子机械系统 微传感器 微执行器 微机械技术 
ANSYS在接触式电容压力传感器非线性分析中的应用被引量：1
《仪表技术与传感器》2002年第3期3-6,共4页卞剑涛 颜黄苹 冯勇建 王亚强 
通过对接触式电容传感器结构原理的分析 ,运用ANSYS对传感器膜片在外加压力作用下的接触和大变形等非线性问题进行分析 ,并基于有限元法编写相应的程序 ,直接得出输出电容与外加压力之间的关系。比较实验结果 ,验证了ANSYS对接触式电容...
关键词：有限元法 微传感器 ANSYS 接触式电容压力传感器 非线性分析 
非接触式压力微传感器的设计
《仪表技术与传感器》2001年第12期4-6,共3页褚丹雷 
就如何利用MEMS技术 ,实现压力微传感器的设计进行详细论述。该传感器利用特殊的机械结构 ,大大改善了传统接触式压力传感器 ,工作区域狭小 ,线性度较差等问题 ,使压力传感器在高载荷条件下 ,由小扰度向大扰度过渡时 ,不产生非线性跳变 ...
关键词：压力微传感器 MEMS 扰度 硅梁 设计 
零点增益可调的电容式微传感器被引量：3
《仪表技术与传感器》2000年第7期6-8,共3页许金海 冯勇建 卓勇 
文中介绍一种可调零点和增益的电容式微型传感器。通过对MOS电流镜电路的深入探讨 ,给出了由MOS电流镜电路组成的零点和增益可调的电容式微型传感器测量电路 ;通过对传感器测量电路的动态过程仿真 ,明确了测量电路的最佳工作频率范围 ;...
关键词：电容式 微传感器 零点增益可调 测量电路 
电容式测压微型传感器被引量：1
《仪表技术与传感器》2000年第1期8-10,共3页许金海 冯勇建 卓勇 
文中主要介绍一种新型电容式测压微传感器的结构及测量电路。通过对测量电路的理论分析、仿真和实验验证,证明这种微型传感器由于采用独特的结构和测量电路,因而具有良好的线性范围和较高的灵敏度。
关键词：微传感器 电容式 压力测量 
在工业应用中日趋重要的微传感器被引量：1
《仪表技术与传感器》1995年第1期8-13,共6页E.Obemeier 林杰 
本文将以几个实例阐明微传感器在近年来的发展以及在工业上的典型应用,文中涉及一个3mbar的微压传感器,一个数字化可编程、有校正功能的1bar集成压力传感器,一个利用热传导原理的微机械气体传感器和一个可测至26GHz的功率传感器。最后...
关键词：微机械技术 气体传感器 功率传感器 微压传感器 
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