微电子机械

作品数：1189被引量：3328H指数：23
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：廖小平黄庆安高杨杨拥军张大成更多>>
相关机构：东南大学中国科学院中国电子科技集团第十三研究所上海交通大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=传感器与微系统x
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于Si纳米膜的差分结构矢量水听器工艺研究
《传感器与微系统》2024年第3期60-62,75,共4页苗晋威 杨沙沙 齐秉楠 曹文萍 史一明 王任鑫 
国家自然科学基金资助项目(51875535,61927807)。
通过关键工艺步骤,将硅(Si)纳米膜制备在差分结构水听器上作为压敏电阻,利用Si纳米膜的巨压阻效应来提高水听器的灵敏度;利用深Si刻蚀,将Si柱与芯片一体化,减少了差分结构的对准误差,同时抑制海洋洋流带来的振动干扰。设计了相对应的光...
关键词：矢量水听器 抑制振动干扰 硅纳米膜 压敏电阻器 微电子机械系统 
Qplus传感器工艺误差影响的仿真分析被引量：2
《传感器与微系统》2022年第10期5-9,共5页李磊 张明烨 冷兴龙 张凌云 夏洋 刘涛 
国家重点研发计划基金资助项目(2018YFA0704804);中科院关键技术团队基金资助项目(GJJSTD20200003,GJJSTD20200005)。
为了探究微纳加工中的工艺误差对Qplus传感器性能指标的影响,采用基于COMSOL的多物理场有限元数值分析方法建立了包含工艺误差的Qplus传感器仿真模型,评估了湿法刻蚀后侧壁产生的晶棱、双面光刻对准偏差等典型工艺误差对传感器本征频率...
关键词：Qplus传感器 微电子机械系统 工艺误差 有限元仿真 石英单晶 原子力显微镜 
高精度电容式MEMS加速度计系统设计被引量：3
《传感器与微系统》2017年第6期98-101,104,共5页李宗伟 杨燕 熊兴崟 丛宁 辛维 韩可都 
在传统Σ-Δ架构基础上,引入了低精度高速模/数转换器(ADC),将前置放大器输出的模拟电压信号转换为数字信号,有利于简化电容式微电子机械系统(MEMS)加速度计系统模拟接口电路设计。在嵌入ADC的MEMS加速度系统中,采用过采样平均数字算法...
关键词：微电子机械系统 Σ-Δ 模/数转换器 数字环路滤波器 过采样平均 
新型电场传感器应用于输电线电场测量被引量：7
《传感器与微系统》2017年第6期154-156,160,共4页唐立军 彭春荣 顾植彬 常亚东 
国家"863"计划资助项目(2015AA042602);中国南方电网有限责任公司科研项目(K-YN2014-186;YNKJXM00000293)
基于高性能的微电子机械系统(MEMS)工频电场传感器系统开展了高压架空输电线下电场测量应用研究。为了获得电场分布规律,基于模拟电荷法,建立了输电导线的二维电场计算通用模型。传感器系统核心敏感芯片基于电荷感应原理,采用MEMS技术...
关键词：电荷模拟法 工频电场 微电子机械系统 电场传感器 
MEMS执行机构在微小力传感器量值溯源中的应用被引量：6
《传感器与微系统》2016年第11期148-150,153,共4页徐立 郑培亮 李闯 黄振宇 李倩 
国家质检总局科技计划资助项目(2013QK259);广东省公益研究与能力建设专项资金项目(2014A040401044)
对一种基于微电子机械系统(MEMS)执行器结构的非接触式三维微小力装置测量原理、装置结构、标定方法、力学特性及使用方法等进行分析。结果表明:该装置可产生空间任意方向微小力,实现空间非竖直方向微小力传感器量值溯源;利用该装置对...
关键词：微电子机械系统(MEMS)执行器 微小力 传感器 量值溯源 
一种低噪声MEMS加速度计设计与制作被引量：3
《传感器与微系统》2014年第9期88-90,93,共4页宋萌 常洪龙 杜松杰 谢建兵 李鹏程 
国家自然科学基金资助项目(61273052)
为了提高微加速度计的噪声性能,研究了一种基于绝缘体上硅(SOI)技术的单轴MEMS加速度计的设计和加工方案。该微加速度计采用大面积质量块的电容式检测结构,通过增加检测质量,在保证灵敏度的前提下,有效地降低了微加速度计的机械布朗噪声...
关键词：微电子机械系统 加速度计 低噪声 高灵敏度 绝缘体上硅 
现代军用MEMS惯性传感器技术进展被引量：8
《传感器与微系统》2014年第8期4-7,共4页李红光 
现代化军事需求小型惯性传感器。技术已成熟的惯性导航和制导系统包括机械陀螺、环形激光陀螺(RLGs)、光纤陀螺(FOGs)以及半球共振陀螺(HRGs)。现在主要用于军事的还有微机电系统(MEMS)陀螺仪和加速计。采用光子晶体光纤(PCFs)的干涉光...
关键词：微电子机械系统 惯性传感器 MEMS陀螺 MEMS加速计 MEMS惯性测量仪 小型惯性测量仪 集成光波导陀螺 
用于军事赛博物理系统的微能源技术研究现状与发展被引量：2
《传感器与微系统》2013年第8期6-10,17,共6页张博 
随着嵌入式计算、无线通信、网络控制、微系统技术的迅速发展,军事赛博物理系统(MCPS)由于具有广阔的军用前景而成为研究的热点。目前,由于存在能量密度低、容量小、可靠性差、成本高等问题,微能源已经成为限制MCPS发展的瓶颈问题。概述...
关键词：军事赛博物理系统 微能源 微电子机械系统 复合微能源 
热膨胀驱动型微阀的设计与制备被引量：2
《传感器与微系统》2012年第10期100-102,共3页吴元庆 姚素英 
利用IntelliSuite软件对热膨胀驱动微阀进行结构分析设计,讨论了微加热器结构等因素对于微阀的影响。利用SU—8胶成型工艺制备了聚二甲基硅氧烷(PDMS)微阀所需要的模具。热膨胀驱动微阀的制备过程分为:薄膜微加热器的金属淀积、阀腔的...
关键词：微阀 键合 微电子机械系统 
微光电子机械系统技术及其应用被引量：3
《传感器与微系统》2011年第11期1-3,7,共4页李红光 
概述微光电子机械系统(MOEMS)技术发展历史,分析其现状。以美国陆军研究开发和工程指挥部的"战略研究规划"中的7个研究领域为例,分析MOEMS技术应用潜力和未来发展趋势。提出现在MOEMS工程遇到的技术挑战:MOEMS加工工艺,达到全反射的光...
关键词：微光电子机械系统 微电子机械系统 微系统 微结构 小型系统 
全选清除导出
共3页<123>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部