微电子机械

作品数：1189被引量：3328H指数：23
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：廖小平黄庆安高杨杨拥军张大成更多>>
相关机构：东南大学中国科学院中国电子科技集团第十三研究所上海交通大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=仪器仪表学报x
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
硅微谐振式加速度计温度补偿方法研究综述被引量：6
《仪器仪表学报》2023年第1期1-15,共15页蒋金玲 张晶 朱欣华 苏岩 周同 
国家重点研发计划(2021YFB3201604);国家自然科学基金(62101263);江苏省自然科学基金(BK20190417);中央高校基本科研业务费专项资金(30920021110)项目资助
硅微谐振式加速度计具有体积小、成本低、动态范围宽、高精度准数字频率信号输出等优势,但零偏、标度因数等关键性能指标受到了温度等因素的制约,尚不能满足高精度导航制导的高性能要求。因此,本文在简要介绍硅微谐振式加速度计温度特...
关键词：硅微谐振式加速度计 有源温度补偿技术 无源温度补偿技术 微电子机械系统 
多晶硅薄膜离面疲劳特性研究被引量：2
《仪器仪表学报》2010年第4期800-805,共6页陈龙龙 宋竞 唐洁影 
国家863计划(2007AA04Z320)资助项目
多晶硅薄膜材料为微电子机械系统（MEMS）器件最重要的材料之一，对其疲劳特性的研究是现阶段失效分析研究的热点和重点。利用表面加工的多晶硅矩形微悬臂梁结构对该问题展开实验研究。通过干法刻蚀在微悬臂梁根部制作纵向应力集中区，...
关键词：微电子机械系统 微悬臂梁 疲劳 离面 粗糙表面 
键合技术在微机械Golay-cell红外探测器中的应用被引量：2
《仪器仪表学报》2006年第8期936-939,共4页赵林林 徐晨 赵慧 霍文晓 沈光地 
北京市教委(KM200310005009)资助项目
介绍多种硅片键合技术及其在基于高莱盒(Golay-cell)原理的微机械红外探测器中的应用。对多种键合方法在该器件中的实验结果进行比较,确定了现阶段最优的键合方法,即采用局部电场屏蔽方法的阳极键合方法,键合成功率在90%以上,并初步实...
关键词：微电子机械系统 高菜盒 红外探测器 键合 
单晶硅微桥式梁力学性能的弯曲测试被引量：5
《仪器仪表学报》2006年第2期176-179,208,共5页韩光平 刘凯 王秀红 
微梁是微电子机械系统（MEMS）中常见的结构，单晶硅是MEMS最基本、最常用的材料之一，其材料力学性能需要精确的评价。应用光刻等技术加工了六组不同尺寸的微桥式梁试件，并进行了弯曲测试，梯形截面的试件可代表矩形、方形等截面的常...
关键词：微电子机械系统 纳米压痕法 力学性能 尺寸效应 弯曲测试 
MEMS微针研究被引量：3
《仪器仪表学报》2006年第z1期185-187,共3页贾书海 李以贵 朱军 孙潇 
武器装备预研基金(51485030105JW0801);教育部"新世纪优秀人才支持计划"(NCET-05-0843);陕西省科技攻关计划(2004K05-G14);西安市工业科技攻关计划(GG05042)资助项目
MEMS微针是目前的一个研究热点,是实现无痛给药、抽血和生化检验集成化的关键。本文探讨了MEMS微针的研究进展,给出了MEMS微针的研究结果,讨论了MEMS微针在实际中应用还应解决的关键问题。
关键词：微电子机械系统(MEMS) 微 针 高深宽比 
新型微机械变形反射镜研究
《仪器仪表学报》2006年第1期91-93,共3页闫金良 赵银女 于芬 
提出一种新型的静电驱动微机械变形反射镜,研究了静电力驱动的静态模型和动态模型。结果表明,驱动器的变形位移随驱动电压的增加出现稳定的非线性增加和不稳定的“拉入”现象;当变形镜由余弦电压驱动时,平衡位移的响应为2倍频的余弦信号...
关键词：变形镜 微电子机械系统 静电力驱动 
纳米接触问题的连续方法建模与计算
《仪器仪表学报》2005年第z2期320-323,共4页张锡义 涂苏龙 樊康旗 
国家自然科学基金(10476019)资助项目。
针对微电子机械系统中的“微碰撞”、“微接触”、“纳米摩擦”等现象,根据Hamaker3个假设和经典弹性理论,采用连续介质力学方法,建立了球-球、球-面接触的弹性物理模型;给出了粘着力引起的球-球、球-面间接触半径的计算方法;指出在分...
关键词：微电子机械系统 纳米接触 Hamaker假设 弹性理论 
微加速度开关力电接触仿真分析被引量：2
《仪器仪表学报》2005年第z2期331-333,共3页田文超 贾建援 陈光焱 赵剑 
国家自然科学基金(10476019)资助项目。
讨论了微加速度开关触点形貌,建立了触点吸附物理模型;根据微观连续介质理论和微观电接触理论,推导出触点间包含斥力项的吸附力和接触电阻数学模型;经仿真分析,得到质量块同基座间的吸附力可以满足质量块同基座间的稳定电接触要求的结论。
关键词：微电子机械系统(MEMS) 微加速度开关 吸附力 接触电阻 
柔性铰链精度特性研究被引量：17
《仪器仪表学报》2004年第z3期107-109,共3页陈贵敏 贾建援 刘小院 勾燕洁 
国家高技术863计划资助项目(2002AA862011)。
推导出了单轴柔性铰链的精度计算公式,它由半个直圆柔性铰链和半个导角柔性铰链构成。提出了柔度精度比这一概念,为定量地比较各种柔性铰链的特性提供了依据。用解析表达式计算了一组椭圆柔性铰链实例的精度和柔度,得到它们的柔度精度比...
关键词：柔性铰链、柔性铰链精度、柔度精度比、微电子机械系统 
混合型柔性铰链研究被引量：14
《仪器仪表学报》2004年第z3期110-112,共3页陈贵敏 贾建援 勾燕洁 
国家高技术863计划资助项目(2002AA862011)
出一种新型的单轴柔性铰链结构型式——混合柔性铰链,它由半个直圆柔性铰链和半个导角柔性铰链构成。提出了柔度应力比这一概念,为定量地比较各种柔性铰链提供了依据。通过有限元方法,分析了一组不同导角半径的混合铰链设计实例,并得到...
关键词：柔性铰链 有限元方法 柔度精度应力 微电子机械系统 
全选清除导出
共3页<123>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部