微细加工

作品数：948被引量：1802H指数：17
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视网膜前假体中柔性凸起微电极的研制被引量：2
《纳米技术与精密工程》2010年第1期25-30,共6页邢玉梅 惠春 李刚 赵建龙 
国家重点基础研究发展计划"973"资助项目(2005CB724305;2005CB724302);中国博士后科学基金资助项目(20070410724);上海市纳米专项(0852nm01700);上海市科委国际合作专项(8160706000);科技部国际合作项目(2009DFB60160)
采用聚对二甲苯(Parylene C)作为结构材料,借助微细加工技术设计并制作了按6×6矩阵排布的柔性凸起微电极阵列.微电极直径为80μm,引线线宽40μm,电极间距为280μm,引线间距为80μm.电极位点高度约为10μm,呈明显的圆滑凸起结构特征.电...
关键词：视觉修复 视网膜假体 神经刺激 柔性微电极 微细加工 
电子散射参数提取的新方法被引量：1
《微纳电子技术》2010年第2期115-120,共6页赵珉 陈宝钦 谢常青 刘明 牛洁斌 
国家973计划资助项目(2006CB0N0604)
准确提取电子散射参数是确保纳米级电子束光刻邻近效应校正精度的关键。采用了一种不基于线宽测量和非线性曲线拟合的电子散射参数提取的方法。邻近效应校正的近似函数采用双高斯分布,其中η的提取是基于设计线宽变化与相应曝光剂量之...
关键词：电子束光刻 邻近效应校正 电子散射 散射参数 微细加工 抗蚀剂 
多通道柔性神经微电极加工工艺被引量：3
《光学精密工程》2009年第10期2465-2472,共8页邢玉梅 惠春 徐爱兰 李刚 赵建龙 任秋实 
国家973重点基础研究发展规划资助项目(No.2005CB724305;2005CB724302);中国博士后科学基金资助项目(No.20070410724);上海市科委国际合作专项资助项目(No.8160706000);上海市科委纳米专项资助项目(No.0852nm017000)
针对多通道柔性神经微电极的设计及制作,研究了微电极的加工工艺。采用一种新型的柔性聚合物材料——聚对二甲苯(parylene C)作为微电极的基底和绝缘材料,借助微细加工技术,制作了36通道(按6×6矩阵排列)的柔性神经微电极,微电极的尺寸...
关键词：神经微电极 柔性基底 聚对二甲苯 微细加工 
钨丝微电极阵列的简易制备方法
《功能材料与器件学报》2009年第1期20-26,共7页姚源 李刚 张华 周洪波 孙晓娜 朱壮晖 隋晓红 赵建龙 
国家973计划(No.2005CB724305);上海-应用材料研究与发展基金(No.06SA01);上海市自然科学基金(No.07ZR14134)资助项目;上海市优秀学科带头人项目(06XD14037)
本文提出了一种简易、低成本的钨丝微电极阵列制作工艺和方法。该方法采用MEMS工艺制作的玻璃模具实现钨丝阵列的精密有序排列,同时,在钨丝电极表面涂覆一层光敏性的聚酰亚胺作为绝缘层,结合"双面光刻"技术和电化学腐蚀技术实现电极位...
关键词：微细加工 钨丝 微电极阵列 神经探针 双面光刻 
基于Parylene的柔性神经微电极的研制和表征被引量：3
《传感器与微系统》2007年第10期101-102,113,共3页李博 惠春 徐爱兰 邢玉梅 任秋实 
国家"973"计划资助项目(2005CB7243002)
衬底集成的微电极是植入式微系统中的重要部件，起着对神经进行电刺激并记录神经信号的关键作用。采用微细加工技术在新型柔性基底一聚对二甲苯（Parylene）上制作微电极阵列。阐述了Parylene基微电极阵列的加工工艺，并利用光学显微镜...
关键词：柔性基底 神经微电极阵列 聚对二甲苯 微细加工 
微细电火花加工用晶体管脉冲电源的研究被引量：5
《中国机械工程》2006年第20期2094-2097,共4页韩福柱 陈丽 周晓光 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716204);北京市自然科学基金资助项目(3062011)
在传统晶体管脉冲电源的基础上，研制开发了一种适用于微细加工的晶体管脉冲电源，这种脉；中电源可以满足微细加工中粗加工、精加工的不同需要，可实现最小脉宽为50ns的放电电流。通过微细孔加工实验，对所开发的晶体管脉冲电源的加工...
关键词：微细加工 晶体管脉冲电源 RC脉冲电源 微孔加工 
亚微米级叉指型超微带电极阵列的加工和电化学表征被引量：3
《高等学校化学学报》2005年第5期838-840,F012,共4页朱明智 蒋庄德 景蔚萱 
国家重点基础研究发展计划项目(批准号:2003CD716201;2003CD716202)资助.
A gold submicrometer interdigitated ultramicroelectrode array(IDA) was fabricated by conventional photolithographic patterning of multilayered materials. The IDA structure, which consists of 50 pairs of fingers and ha...
关键词：叉指型超微带电极阵列 微细加工技术 循环伏安法 
纳米级精细线条图形的微细加工被引量：1
《Journal of Semiconductors》2004年第12期1722-1725,共4页任黎明 王文平 陈宝钦 周毅 黄如 张兴 
国家重点基础研究专项基金 (批准号 :G2 0 0 0 0 3 65 0 1);国家自然科学基金 (批准号 :90 2 0 70 0 4)资助项目~~
对分辨率极高的电子束光刻技术和高选择比、高各向异性度的 ICP刻蚀技术进行了研究 ,形成一套以负性化学放大胶 SAL- 6 0 1为电子抗蚀剂的电子束光刻及 ICP刻蚀的优化工艺参数 ,并利用这些优化参数结合电子束邻近效应校正等技术制备出...
关键词：微细加工 电子束光刻 邻近效应校正 ICP刻蚀 
近红外波段光子晶体的微细加工方法研究进展被引量：1
《功能材料》2003年第3期242-243,246,共3页汪扬 宋志棠 章宁琳 林成鲁 
国家基础研究重大项目前期研究专项资助项目(2001CCA02800);国家重点基础研究发展规划资助项目(001CB610408)
　光子晶体及其在光电子领域的应用是目前国际上的研究热点之一,是一种新型的光电子功能材料。在近红外光通讯领域中,光子晶体(对应光子晶体晶格常数为亚微米)有非常重要的应用,可以制作许多以前所不能制作的高性能光学器件。如何制备...
关键词：光子晶体 微细加工 光电子功能材料 近红外波段 光学器件 研究进展 
电泳芯片的制作及其进样与分离被引量：10
《分析化学》2001年第5期606-610,共5页汤扬华 叶雄英 周兆英 金亚 冯焱颍 
国家自然科学基金 (No .2 983 3 0 70 );国家重点基础研究发展规划资助项目 (No .G19990 3 3 10 6)
利用微细加工技术研究在玻璃上制作电泳芯片的方法 ,测试了微管道的伏安特性曲线。在该电泳芯片上进行了注样和分离实验 ,采用激光诱导荧光法进行检测 ,利用CCD拍摄了进样和分离的全过程。分析了在电泳芯片上施加不同的电压对样品注样...
关键词：湿法刻蚀 电泳芯片 激光诱导荧光 微细加工技术 电化学检测 进样 分离 
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