多层膜

作品数：1795被引量：2963H指数：17
导出分析报告
相关领域：理学一般工业技术更多>>
相关作者：王占山张众韩秀峰李戈扬陈玲燕更多>>
相关机构：中国科学院陶氏环球技术有限责任公司同济大学上海交通大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=电子显微学报x
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
电子束辐照下LaCoO3/LaMnO3多层膜的结构演化被引量：3
《电子显微学报》2019年第5期464-469,共6页管翔翔 沈希 张静 姚湲 孙继荣 禹日成 
科技部国家重点研发计划支持(Nos.2016YFA0300701,2017YFA0206200);国家自然科学基金资助项目(Nos.11574376,11874413)
本文利用扫描透射电子显微学方法,表征了在压应力铝酸镧及拉应力钛酸锶衬底生长的LaCoO3/LaMnO3多层膜中的应变分布,研究了在电子束辐照作用下LaCoO3/LaMnO3多层膜的结构演化。LaMnO3层中压应变引起的缺陷在电子束辐照下会得到愈合,LaC...
关键词：LACOO3 电子束辐照 应变能 氧空位 
磁控溅射C/W纳米多层膜的微观结构分析
《电子显微学报》2010年第4期328-332,共5页陈迪春 蒋百灵 时惠英 付杨洪 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2009CB724406)
利用非平衡磁控溅射离子镀技术以纯钨靶和纯石墨靶作为溅射源制备了C/W纳米多层膜。采用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对薄膜相组成及其微观组织结构进行了分析。结果表明:W含量约为9 at.%的C/W...
关键词：磁控溅射 C/W多层膜 TEM XPS 
多铁性BiFeO_3/SrTiO_3多层膜的透射电镜研究被引量：1
《电子显微学报》2010年第4期338-343,共6页唐兆俊 王君伟 朱银莲 唐为华 马秀良 
国家自然科学基金面上资助项目(No.50871115及No.50672088);科技部973资助项目(No.2009CB623705)
本文利用透射电子显微镜(TEM)研究了由磁控溅射法生长的多铁性BiFeO3/SrTiO3多层膜的微观结构。衍衬分析及高分辨电子显微(HRTEM)像显示出界面清晰的各个单层。BiFeO3外延生长在SrTiO3(001)衬底上,生长方向沿基体c轴。随着薄膜厚度的增...
关键词：多铁性 多层膜 界面 透射电子显微术 
Cu/Ta/SiO2/Si多层膜纳米压痕与压痕下微观结构的研究
《电子显微学报》2008年第4期282-286,共5页卢茜 吴子景 吴晓京 Weidian Shen 蒋宾 
上海市科委资助项目(No.0552nm049);上海市重点学科建设项目资助(No.:B113)
Cu/Ta/SiO2/Si多层膜结构是目前集成电路制造工艺中的常见结构,其硬度与弹性模量通过纳米压入技术测得。为了表征纳米压痕下的形变微观区域,采用聚焦离子束加工出压痕截面,同时进行扫描电子、扫描离子显微观察,发现样品衬底发生开裂,多...
关键词：Cu/Ta/SiO2/Si多层膜结构 纳米压入技术 压痕下微观结构 
利用原子力显微镜测量复合微胶囊静态弹性性质被引量：1
《电子显微学报》2008年第2期117-121,共5页刘艳芳 王星 葛丽芹 巴龙 
国家自然科学基金资助项目(No.10576008;No.10774022)~~
用层-层组装方法制备了直径约为6μm的聚电解质多层复合微囊,并用原子力显微镜研究了微囊的弹性性质。通过用微球修饰的原子力显微镜探针对微囊加载,在空气和水环境下测量了不同刚性探针加载液体填充微囊的力曲线,利用微囊变形理论模型...
关键词：原子力显微镜 多层膜 微囊 弹性模量 
反应溅射ZrN/AlON纳米多层膜的晶体生长
《电子显微学报》2006年第B08期89-90,共2页岳建岭 董云杉 刘艳 李戈扬 
国家自然科学基金资助项目(No.50571062)
关键词：纳米多层膜 晶体生长 ALON 反应溅射 ZRN Al2O3 高温抗氧化性 技术路线 
VN/SiO_2纳米多层膜的微结构特征与超硬效应
《电子显微学报》2006年第B08期91-92,共2页赵文济 岳建岭 乌晓燕 李戈扬 
国家自然科学基金资助项目(No.50571062)
关键词：纳米多层膜 超硬效应 微结构特征 SIO2 高温抗氧化性 AL2O3 含氧化物 VN 
非晶Si_3N_4在ZrN/Si_3N_4多层膜中的赝晶晶化和生长
《电子显微学报》2006年第B08期93-94,共2页刘艳 董云杉 曾豪 李戈扬 
国家自然科学基金资助项目(No.50571062)
关键词：纳米多层膜 SI3N4 外延生长 非晶态 ZRN 晶化 模板效应 TiN 
电子显微学报第二十四卷(2005年)总目次
《电子显微学报》2005年第6期i0001-i0014,共14页
关键词：HRTEM 电子显微学报 微结构 土壤结构 超微结构观察 扫描电镜观察 透射电镜 FEPT 电子显微分析 纳米晶复合膜 纳米棒 纳米多层膜 高分辨电子显微学 无公度调制结构 碳化硅纳米线 原子力显微镜 目次 
TiN/TiB_2纳米多层膜的共格外延生长
《电子显微学报》2005年第4期275-275,共1页戴嘉维 岳建岭 李戈扬 
上海市专利技术再创新项目(No.03725052).
关键词：纳米多层膜 共格界面 外延生长 TIB2 TiN 超硬效应 纳米多层薄膜 调制周期 生长结构 
全选清除导出
共4页<1234>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部