多孔硅

作品数：1080被引量：1218H指数：12
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ZnS/PS复合体系的白光发射
《Journal of Semiconductors》2007年第z1期119-122,共4页王彩凤 李清山 齐红霞 赵波 吕磊 张立春 
山东省自然科学基金资助项目(批准号:Y2002A09)
用电化学方法制备了一定孔隙率的多孔硅(PS)样品,然后用脉冲激光沉积(PLD)法以多孔硅为衬底生长一层ZnS薄膜.ZnS的带隙较宽,对可见光是透明的,用适当波长的光激发,PS发射的橙红光可以透过ZnS薄膜,与ZnS的蓝绿光相叠加,得到了可见光区较...
关键词：光致发光 白光发射 脉冲激光沉积 ZNS薄膜 多孔硅 
ZnO/PS异质结的光学和电学性质被引量：2
《Journal of Semiconductors》2006年第7期1217-1220,共4页赵波 李清山 张宁 陈达 郑学刚 
山东省自然科学基金资助项目(批准号:Y2002A09)~~
用脉冲激光沉积的方法在多孔硅(PS)衬底上沉积ZnO薄膜,在室温下测量了ZnO/PS异质结的结构及光学和电学性质.X射线衍射仪和扫描电子显微镜测量表明,制备的ZnO薄膜具有一定的c轴取向,但薄膜存在较多缺陷.光致发光谱显示,PS的发光与ZnO的...
关键词：白光发射 多孔硅 ZnO光致发光 能带模型 
适用于高品质射频集成电感的多孔硅新型衬底制备技术被引量：1
《Journal of Semiconductors》2005年第6期1182-1186,共5页周毅 杨利 张国艳 黄如 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60306005)~~
提出了背向选区腐蚀生长多孔硅的集成电感衬底结构.ASITIC模拟证明,该新型衬底结构的集成电感在高频下仍具有较高的品质因子.采用此工艺,在固定腐蚀液配比的条件下,变化电流密度和阳极氧化时间,制备出了高质量的厚膜多孔硅,并测量了多...
关键词：射频集成电路 多孔硅 集成电感 品质因子 
多孔硅新的表面处理技术被引量：5
《Journal of Semiconductors》2005年第2期406-409,共4页虞献文 陈燕艳 应桃开 程存归 郁可 朱自强 
国家自然科学基金 (批准号 :6992 5 40 9);上海市科学技术发展基金 (批准号 :0 15 2 110 66;0 12 2 610 2 8)资助项目~~
对多孔硅施加阳极氧化表面处理技术 ,可有效解决多孔硅干燥时出现龟裂及坍塌 ,破坏原有多孔硅的形貌和本质的问题 .阳极氧化表面处理技术就是使用少量的负离子作用于多孔硅表面 ,满足SI分子化合价的需要 ,消除悬空键 ,促使多孔硅表面性...
关键词：阴极还原 阳极氧化 表面处理技术 厚膜 
多孔硅衬底微波CVD金刚石薄膜的制备及其场电子发射被引量：5
《Journal of Semiconductors》2004年第3期288-291,共4页陈光华 蔡让岐 宋雪梅 贺德衍 
研究了多孔硅衬底微波 CVD金刚石薄膜的制备工艺及其场电子发射特性 .以多孔硅作为生长金刚石突起阵列的模板 ,生长出带多微尖的微晶金刚石晶粒 ,使场电子发射阈值下降 (<1V/ μm) ,发射电流增大 (>90 m A/ cm2 ) ,场发射性能稳定 ,并...
关键词：多孔硅 金刚石薄膜 场电子发射 
多孔硅的干燥方法被引量：6
《Journal of Semiconductors》2003年第6期663-667,共5页虞献文 朱荣锦 朱自强 应桃开 李爱珍 
国家自然科学基金 (批准号 :6992 5 40 9);上海市科学技术发展基金 (批准号 :0 15 2 110 66;0 12 2 610 2 8)资助项目~~
研究了多孔硅的阴极还原表面处理技术 ,通过该技术获得了表面平滑度良好、稳定度高、抗压强度高和耐高温性能好且在空气中可以长期干燥保存的多孔硅样品 .在其表面上可以进行光刻、镀金等工艺 ,因此 。
关键词：多孔硅 阴极还原 表面处理技术 
用多孔硅作牺牲层制备硅基电容式微传声器
《Journal of Semiconductors》2003年第B05期187-191,共5页宁瑾 刘焕章 葛永才 刘忠立 
提出了一种新的硅基电容式微传声器的制备方法，即采用多孔硅牺牲层技术制备声学孔，采用聚酰亚胺膜作声学振膜，采用该方法制备出的电容式微传声器器件，开路灵敏度为107．8dB，在400～10kHz之间，频率响应较为平坦，可以实现语音通信。
关键词：硅基电容式微传声器 多孔硅 牺牲层 聚酰亚胺 
多孔硅技术在硅基微型燃料电池中的应用被引量：1
《Journal of Semiconductors》2003年第B05期198-201,共4页王晓红 谢克文 周俊 刘理天 
多孔硅作为一种新型材料，利用其疏松多孔的特性及与IC加工的兼容性，将其用于硅微质子交换膜燃料电池的研究中，作为其电极扩散层，对多孔硅膜的性能、制备工艺及多孔硅膜表面金属淀积工艺进行了研究，提出一套基于MEMS加工技术和薄膜...
关键词：微型质子交换膜燃料电池 多孔硅 MEMS 
硅基法布里-珀罗微腔的室温发光
《Journal of Semiconductors》2003年第1期68-71,共4页王燕 但亚平 岳瑞峰 刘理天 
国家自然科学基金资助项目 (批准号 :60 1760 3 1)~~
提出了一种新型基于法布里 -珀罗 (F- P)微腔的发光器件结构 .它采用 PECVD方法制备的非晶硅 /二氧化硅结构作为微腔中的布拉格反射腔 ,非晶碳化硅薄膜作为中间光发射层 ,通过对一维方向光子的限制 ,使发光层荧光强度增强 ,谱线变窄 ....
关键词：硅基 法布里-珀罗微腔 室温发光 碳化硅 光致发光 多孔硅 
用于微波/射频集成电路的一种新型低损耗介质——多孔硅及氧化多孔硅厚膜被引量：5
《Journal of Semiconductors》2002年第6期609-613,共5页龙永福 朱自强 赖宗声 忻佩胜 石艳玲 
国家自然科学基金 (批准号 :698760 12 ) ;国家杰出青年基金 (批准号 :6992 5 40 9) ;国家重点基础研究规划 (973 ) (批准号 :G19990 3 3 10 5 );上海市科技发展基金资助项目
提出在单片微波集成电路 (MMIC)中用多孔硅 /氧化多孔硅厚膜作微波无源器件的低损耗介质膜 .研究了厚度为 70μm的多孔硅 /氧化多孔硅厚膜在低阻硅衬底上的形成 ,这层厚膜增加了衬底的电阻率 ,减少了微波的有效介质损耗 .通过测量在低...
关键词：集成电路 微波/射频 多孔硅/氧化多孔硅 介质膜 损耗 
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