硅压力传感器

作品数:153被引量:327H指数:8
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扩散硅压力传感器长期稳定性提升试验方法研究被引量:4
《传感技术学报》2020年第1期57-62,共6页刘帅 杜晓辉 朱敏杰 刘丹 任福琴 
国家自然科学基金青年科学基金项目(61704064);总装预先研究项目(31513060109-2)。
扩散硅压力传感器结构简单、集成度高、批量制造兼容性强,是目前MEMS领域研究最多的传感器类型,该类传感器面向航空航天等高端应用的最大技术瓶颈是封装后的传感器长期稳定性,因此相关长期稳定性提升技术已成为学术界和产业界广泛关注...
关键词:微机电系统 长期稳定性 正交试验 扩散硅压力传感器 环境应力 
一种单片集成硅压力传感器的放大控制电路设计被引量:3
《传感技术学报》2006年第05B期1826-1828,1831,共4页曾鹏 张正元 
国防重点实验室重点基金项目资助(A1120060490)
针对单片集成压力传感器信号的识取和处理,提出了一种高增益、全摆幅的运算放大电路.电路采用两级放大,具有对称的输入结构和全摆幅输出结构.将电路通过计算机软件PSPICE进行模拟,在5V的电源电压下,放大电路开环增益可达到110dB,输出范...
关键词:压力传感器 双极型放大器 仪表放大器 
SOI单晶硅压力传感器模拟计算与优化设计被引量:5
《传感技术学报》2003年第1期92-95,共4页倪智琪 姚素英 张生才 赵毅强 张为 张维新 
利用有限元分析方法、借助 ANSYS软件 ,对 SOI单晶硅压力传感器进行一系列的分析和计算机模拟 ,探讨了传感器应变膜在固定宽度或固定面积条件下、宽长比对理论输出的影响 ,以及应变膜厚度对理论输出的影响 ,给出了设计应变膜的优化方案 ...
关键词:硅压力传感器 ANSYS 相对误差 膜厚比 宽长比 
硅压力传感器的非线性分析及优化设计被引量:6
《传感技术学报》2003年第1期39-43,共5页沈桂芬 付世 丁德宏 姚朋军 张宏庆 范军 吕品 
国家医药管理局科研计划基金项目;浙江省重点科研计划基金项目资助 (NO.97110 30 99)
分析了硅压力传感器的线性与非线性 ,讨论了非线性产生的原因 。
关键词:压力传感器 非线性 线性度 内补偿 
双岛结构硅压力传感器的非线性内补偿研究被引量:1
《传感技术学报》1998年第1期1-6,共6页吴宪平 胡美凤 
中科院传感技术国家实验室和国家"八五"重点科技攻关721-0l项目的资助
本文指出采用矩形双岛结构可以实现硅压力传感器的非线性内补偿.用一维近似模型分析计算了矩形双岛结构硅压力传感器硅芯片的应力分布及其与(100)硅各向异性腐蚀深度的关系,指出对已确定了几何尺寸的掩模,可以找到某一最佳腐蚀深度,使...
关键词:压力传感器  非线性补偿 
一种扩散硅压力传感器温度补偿方法——漂移电流源外补偿法被引量:2
《传感技术学报》1997年第1期65-68,共4页孟令昆 曹兆臣 
扩散硅压力传感器温度补偿问题一向被人们关注。常用的补偿法有:在力敏电阻桥中串、并联电阻^([1])或单元补偿网络^([2])、有源温度补偿网络~[3])、恒压供电三极管外补偿法^([4])及可调温度系数的电压源补偿法^([5])等等。文献^([3~5]...
关键词:扩散硅 压力传感器 温度补偿 
硅压力传感器版图的计算机辅助设计
《传感技术学报》1996年第1期7-10,共4页吴静 唐祯安 牛德芳 
介绍利用AutoLisp语言编程实现硅压力传感器版图自动生成的CAD系统,并给出C型压阻式压力传感器版图的设计实例.
关键词:压力传感器 CAD 硅压力传感器 传感器版图 
簧片式硅压力传感器的研制
《传感技术学报》1995年第1期22-26,共5页温明生 唐世洪 刘理天 谢会开 
湖南省教委资助的"八.五"重点科研项目
介绍了采用簧片式硅弹性膜芯片研制成功的压力敏感元件和传感器,利用这种硅芯片已制得灵敏度和量程范围各不相同的性能优良的压力传感器.
关键词: 压力传感器 传感器 研制 
硅压力传感器的灵敏度和非线性分析被引量:4
《传感技术学报》1994年第4期48-51,共4页周南生 居水荣 宫俊 张文敏 
灵敏度和非线性是表征硅压阻式压力传感器性能的两个最重要参数,这是压力传感器的设计目标.最初出现的硅压阻式压力传感器都采用圆形均厚膜设计。
关键词:压力传感器 灵敏度 非线性 硅压阻式 
高性能多晶硅压力传感器的研制
《传感技术学报》1993年第1期1-6,共6页朱秀文 侯曾燏 米健 
本文介绍的高性能多晶硅压力传感器,以重掺杂的LPCVD多晶硅薄膜作应变敏感电阻,用二氧化硅层隔离单晶硅衬底,使其工作温度高达200℃以上,若用恒流源供应惠斯登电桥,即使在没有外电路补偿情况下,灵敏度系数(TDS)也仅1.32×10^(-6)FS/℃,...
关键词:多晶硅 压力传感器 温度系数 
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